สินค้า
สินค้า

ซิลิกอนคาร์ไบด์ที่เป็นของแข็ง

Vetek Semiconductor Solid Silicon Carbide เป็นส่วนประกอบเซรามิกที่สำคัญในอุปกรณ์การแกะสลักพลาสมาซิลิคอนคาร์ไบด์ที่เป็นของแข็ง (CVD ซิลิกอนคาร์ไบด์) ชิ้นส่วนในอุปกรณ์การแกะสลักรวมถึงวงแหวนโฟกัสหัวฝักบัวแก๊สถาดแหวนขอบ ฯลฯ เนื่องจากปฏิกิริยาต่ำและการนำไฟฟ้าของซิลิกอนคาร์ไบด์ที่เป็นของแข็ง (CVD ซิลิคอนคาร์ไบด์) ไปยังคลอรีน - และก๊าซแกะสลักที่มีฟลูออรีนเป็นวัสดุที่เหมาะสำหรับการแกะสลักพลาสมา


ตัวอย่างเช่นวงแหวนโฟกัสเป็นส่วนสำคัญที่วางอยู่นอกเวเฟอร์และติดต่อโดยตรงกับเวเฟอร์โดยใช้แรงดันไฟฟ้ากับวงแหวนเพื่อโฟกัสพลาสมาที่ผ่านแหวนดังนั้นจึงมุ่งเน้นพลาสมาบนเวเฟอร์เพื่อปรับปรุงความสม่ำเสมอของการประมวลผล แหวนโฟกัสแบบดั้งเดิมทำจากซิลิคอนหรือควอตซ์ซิลิคอนนำไฟฟ้าเป็นวัสดุวงแหวนโฟกัสทั่วไปมันเกือบจะใกล้เคียงกับการนำไฟฟ้าของเวเฟอร์ซิลิคอน แต่การขาดแคลนคือความต้านทานการแกะสลักที่ไม่ดีในพลาสมาที่มีฟลูออรีนที่มีส่วนผสม


Sแหวนโฟกัส olid sicหลักการทำงาน

Working Principle of Solid SiC Focus Ring


การเปรียบเทียบแหวนโฟกัสที่ใช้ SI และวงแหวนโฟกัส CVD SIC::

การเปรียบเทียบแหวนโฟกัสที่ใช้ SI และวงแหวนโฟกัส CVD SIC
รายการ และ CVD sic
ความหนาแน่น (g/cm3) 2.33 3.21
ช่องว่างของวง (EV) 1.12 2.3
การนำความร้อน (w/cm ℃) 1.5 5
CTE (x10-6/℃) 2.6 4
โมดูลัสยืดหยุ่น (เกรดเฉลี่ย) 150 440
ความแข็ง (เกรดเฉลี่ย) 11.4 24.5
ความต้านทานต่อการสึกหรอและการกัดกร่อน ยากจน ยอดเยี่ยม


Vetek Semiconductor นำเสนอชิ้นส่วนซิลิคอนที่เป็นของแข็งขั้นสูง (CVD ซิลิคอนคาร์ไบด์) เช่นแหวนโฟกัส SIC สำหรับอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ ซิลิคอนคาร์ไบด์ที่เป็นของแข็งของเราโฟกัสวงแหวนที่มีประสิทธิภาพสูงกว่าซิลิกอนแบบดั้งเดิมในแง่ของความแข็งแรงเชิงกลความต้านทานทางเคมีการนำความร้อนความทนทานอุณหภูมิสูงและความต้านทานการแกะสลักไอออน


คุณสมบัติที่สำคัญของแหวนโฟกัส SIC ของเรารวมถึง:

ความหนาแน่นสูงสำหรับอัตราการแกะสลักลดลง

ฉนวนกันความร้อนที่ยอดเยี่ยมด้วย bandgap สูง

ค่าการนำความร้อนสูงและค่าสัมประสิทธิ์ต่ำของการขยายตัวทางความร้อน

ความต้านทานต่อแรงกระแทกทางกลและความยืดหยุ่น

ความแข็งสูงความต้านทานการสึกหรอและความต้านทานการกัดกร่อน

ผลิตโดยใช้การสะสมไอสารเคมีที่เพิ่มขึ้นในพลาสมา (PECVD)เทคนิคแหวนโฟกัส SIC ของเราตรงตามความต้องการที่เพิ่มขึ้นของกระบวนการแกะสลักในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ พวกเขาได้รับการออกแบบมาเพื่อทนต่อพลังงานและพลังงานในพลาสมาที่สูงขึ้นโดยเฉพาะในพลาสม่าคู่ที่มีความจุ (CCP)ระบบ

แหวนโฟกัส SIC ของ Vetek Semiconductor ให้ประสิทธิภาพและความน่าเชื่อถือที่ยอดเยี่ยมในการผลิตอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ เลือกส่วนประกอบ SIC ของเราเพื่อคุณภาพและประสิทธิภาพที่เหนือกว่า


View as  
 
หัวฝักบัวกราไฟท์เคลือบ CVD SIC

หัวฝักบัวกราไฟท์เคลือบ CVD SIC

หัวฝักบัวกราไฟท์เคลือบ CVD SIC จาก Veteksemicon เป็นส่วนประกอบประสิทธิภาพสูงที่ออกแบบมาโดยเฉพาะสำหรับกระบวนการสะสมไอสารเคมีเซมิคอนดักเตอร์ (CVD) ผลิตจากกราไฟท์ที่มีความบริสุทธิ์สูงและได้รับการป้องกันด้วยสารเคมีการสะสมของไอสารเคมี (CVD) ซิลิกอนคาร์ไบด์ (SIC) การเคลือบหัวฝักบัวนี้ให้ความทนทานที่โดดเด่นเสถียรภาพความร้อนและความต้านทานต่อก๊าซกระบวนการกัดกร่อน รอคอยการปรึกษาหารือเพิ่มเติมของคุณ
แหวนขอบ sic

แหวนขอบ sic

Veteksemicon Ring SiC Edge ที่มีความบริสุทธิ์สูงออกแบบมาเป็นพิเศษสำหรับอุปกรณ์การแกะสลักเซมิคอนดักเตอร์คุณสมบัติความต้านทานการกัดกร่อนที่โดดเด่นและความเสถียรทางความร้อนเพิ่มผลผลิตเวเฟอร์อย่างมีนัยสำคัญ
วัตถุดิบ CVD ที่บริสุทธิ์สูง

วัตถุดิบ CVD ที่บริสุทธิ์สูง

วัตถุดิบ CVD ความบริสุทธิ์สูงที่จัดทำโดย CVD เป็นแหล่งข้อมูลที่ดีที่สุดสำหรับการเจริญเติบโตของคริสตัลซิลิกอนคาร์ไบด์โดยการขนส่งไอทางกายภาพ ความหนาแน่นของวัตถุดิบ CVD ความบริสุทธิ์สูงที่จัดทำโดย Vetek Semiconductor สูงกว่าอนุภาคขนาดเล็กที่เกิดจากการเผาไหม้ที่เกิดขึ้นเองของ SI และก๊าซที่มี C และ C และไม่จำเป็นต้องใช้เตาเผาเผาโดยเฉพาะและมีอัตราการระเหยเกือบคงที่ มันสามารถเติบโตผลึกเดี่ยว SIC คุณภาพสูงมาก รอคอยการสอบถามของคุณ
ผู้ให้บริการเวเฟอร์ SIC

ผู้ให้บริการเวเฟอร์ SIC

ผู้ให้บริการเวเฟอร์ SIC ของ Vetek Semiconductor ได้รับการออกแบบมาสำหรับสภาพแวดล้อมที่ทนต่ออุณหภูมิสูงและการกัดกร่อนในกระบวนการ epitaxial เซมิคอนดักเตอร์และเหมาะสำหรับกระบวนการผลิตเวเฟอร์ทุกประเภทที่มีความต้องการความบริสุทธิ์สูง Vetek Semiconductor เป็นผู้ให้บริการเวเฟอร์ชั้นนำในประเทศจีนและหวังว่าจะได้เป็นหุ้นส่วนระยะยาวของคุณในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์
หัวฝักบัวรูปแผ่นดิสก์ SIC

หัวฝักบัวรูปแผ่นดิสก์ SIC

Vetek Semiconductor เป็นผู้ผลิตอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ชั้นนำในประเทศจีนและเป็นผู้ผลิตมืออาชีพและซัพพลายเออร์ของหัวฝักบัวรูปแผ่นดิสก์ SIC หัวฝักบัวรูปร่างแผ่นดิสก์ของเราถูกนำมาใช้กันอย่างแพร่หลายในการผลิตการสะสมฟิล์มบางเช่นกระบวนการ CVD เพื่อให้แน่ใจว่าการกระจายของก๊าซปฏิกิริยาอย่างสม่ำเสมอและเป็นหนึ่งในองค์ประกอบหลักของเตาเผา CVD
ส่วนการปิดผนึก sic

ส่วนการปิดผนึก sic

ในฐานะผู้ผลิตผลิตภัณฑ์และโรงงาน SIC ขั้นสูงและโรงงานในประเทศจีน Vetek Semiconducto SIC Sealing เป็นส่วนประกอบการปิดผนึกประสิทธิภาพสูงที่ใช้กันอย่างแพร่หลายในการประมวลผลเซมิคอนดักเตอร์และอุณหภูมิสูงอื่น ๆ และกระบวนการแรงดันสูงอื่น ๆ ยินดีต้อนรับการให้คำปรึกษาเพิ่มเติมของคุณ

Veteksemicon solid silicon carbide is the ideal procurement material for high-temperature, high-strength, and corrosion-resistant components used in semiconductor and industrial applications. As a fully dense, monolithic ceramic, solid silicon carbide (SiC) offers unmatched mechanical rigidity, extreme thermal conductivity, and exceptional chemical durability in harsh processing environments. Veteksemicon’s solid SiC is specifically developed for critical structural applications such as SiC wafer carriers, cantilever paddles, susceptors, and showerheads in semiconductor equipment.


Manufactured through pressureless sintering or reaction bonding, our solid silicon carbide parts exhibit excellent wear resistance and thermal shock performance, even at temperatures above 1600°C. These properties make solid SiC the preferred material for CVD/PECVD systems, diffusion furnaces, and oxidation furnaces, where long-term thermal stability and purity are essential.


Veteksemicon also offers custom-machined SiC parts, enabling tight dimensional tolerances, high surface quality, and application-specific geometries. Additionally, solid SiC is non-reactive in both oxidizing and reducing atmospheres, enhancing its suitability for plasma, vacuum, and corrosive gas environments.


To explore our full range of solid silicon carbide components and discuss your project specifications, please visit the Veteksemicon product detail page or contact us for technical support and quotations.


ในฐานะผู้ผลิตและซัพพลายเออร์มืออาชีพ ซิลิกอนคาร์ไบด์ที่เป็นของแข็ง ในประเทศจีนเรามีโรงงานของเราเอง ไม่ว่าคุณต้องการบริการที่กำหนดเองเพื่อตอบสนองความต้องการเฉพาะของภูมิภาคของคุณหรือต้องการซื้อขั้นสูงและทนทาน ซิลิกอนคาร์ไบด์ที่เป็นของแข็ง ที่ผลิตในประเทศจีนคุณสามารถฝากข้อความถึงเราได้
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept