สินค้า
สินค้า

ซิลิกอนคาร์ไบด์ที่เป็นของแข็ง

Vetek Semiconductor Solid Silicon Carbide เป็นส่วนประกอบเซรามิกที่สำคัญในอุปกรณ์การแกะสลักพลาสมาซิลิคอนคาร์ไบด์ที่เป็นของแข็ง (CVD ซิลิกอนคาร์ไบด์) ชิ้นส่วนในอุปกรณ์การแกะสลักรวมถึงวงแหวนโฟกัสหัวฝักบัวแก๊สถาดแหวนขอบ ฯลฯ เนื่องจากปฏิกิริยาต่ำและการนำไฟฟ้าของซิลิกอนคาร์ไบด์ที่เป็นของแข็ง (CVD ซิลิคอนคาร์ไบด์) ไปยังคลอรีน - และก๊าซแกะสลักที่มีฟลูออรีนเป็นวัสดุที่เหมาะสำหรับการแกะสลักพลาสมา


ตัวอย่างเช่นวงแหวนโฟกัสเป็นส่วนสำคัญที่วางอยู่นอกเวเฟอร์และติดต่อโดยตรงกับเวเฟอร์โดยใช้แรงดันไฟฟ้ากับวงแหวนเพื่อโฟกัสพลาสมาที่ผ่านแหวนดังนั้นจึงมุ่งเน้นพลาสมาบนเวเฟอร์เพื่อปรับปรุงความสม่ำเสมอของการประมวลผล แหวนโฟกัสแบบดั้งเดิมทำจากซิลิคอนหรือควอตซ์ซิลิคอนนำไฟฟ้าเป็นวัสดุวงแหวนโฟกัสทั่วไปมันเกือบจะใกล้เคียงกับการนำไฟฟ้าของเวเฟอร์ซิลิคอน แต่การขาดแคลนคือความต้านทานการแกะสลักที่ไม่ดีในพลาสมาที่มีฟลูออรีนที่มีส่วนผสม


Sแหวนโฟกัส olid sicหลักการทำงาน

Working Principle of Solid SiC Focus Ring


การเปรียบเทียบแหวนโฟกัสที่ใช้ SI และวงแหวนโฟกัส CVD SIC::

การเปรียบเทียบแหวนโฟกัสที่ใช้ SI และวงแหวนโฟกัส CVD SIC
รายการ และ CVD sic
ความหนาแน่น (g/cm3) 2.33 3.21
ช่องว่างของวง (EV) 1.12 2.3
การนำความร้อน (w/cm ℃) 1.5 5
CTE (x10-6/℃) 2.6 4
โมดูลัสยืดหยุ่น (เกรดเฉลี่ย) 150 440
ความแข็ง (เกรดเฉลี่ย) 11.4 24.5
ความต้านทานต่อการสึกหรอและการกัดกร่อน ยากจน ยอดเยี่ยม


Vetek Semiconductor นำเสนอชิ้นส่วนซิลิคอนที่เป็นของแข็งขั้นสูง (CVD ซิลิคอนคาร์ไบด์) เช่นแหวนโฟกัส SIC สำหรับอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ ซิลิคอนคาร์ไบด์ที่เป็นของแข็งของเราโฟกัสวงแหวนที่มีประสิทธิภาพสูงกว่าซิลิกอนแบบดั้งเดิมในแง่ของความแข็งแรงเชิงกลความต้านทานทางเคมีการนำความร้อนความทนทานอุณหภูมิสูงและความต้านทานการแกะสลักไอออน


คุณสมบัติที่สำคัญของแหวนโฟกัส SIC ของเรารวมถึง:

ความหนาแน่นสูงสำหรับอัตราการแกะสลักลดลง

ฉนวนกันความร้อนที่ยอดเยี่ยมด้วย bandgap สูง

ค่าการนำความร้อนสูงและค่าสัมประสิทธิ์ต่ำของการขยายตัวทางความร้อน

ความต้านทานต่อแรงกระแทกทางกลและความยืดหยุ่น

ความแข็งสูงความต้านทานการสึกหรอและความต้านทานการกัดกร่อน

ผลิตโดยใช้การสะสมไอสารเคมีที่เพิ่มขึ้นในพลาสมา (PECVD)เทคนิคแหวนโฟกัส SIC ของเราตรงตามความต้องการที่เพิ่มขึ้นของกระบวนการแกะสลักในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ พวกเขาได้รับการออกแบบมาเพื่อทนต่อพลังงานและพลังงานในพลาสมาที่สูงขึ้นโดยเฉพาะในพลาสม่าคู่ที่มีความจุ (CCP)ระบบ

แหวนโฟกัส SIC ของ Vetek Semiconductor ให้ประสิทธิภาพและความน่าเชื่อถือที่ยอดเยี่ยมในการผลิตอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ เลือกส่วนประกอบ SIC ของเราเพื่อคุณภาพและประสิทธิภาพที่เหนือกว่า


View as  
 
ตัวรับถังเคลือบ SiC สำหรับ LPE PE2061S

ตัวรับถังเคลือบ SiC สำหรับ LPE PE2061S

ในฐานะหนึ่งในโรงงานผลิตเวเฟอร์ไวเฟอร์ชั้นนำในประเทศจีน Vetek Semiconductor มีความคืบหน้าอย่างต่อเนื่องในผลิตภัณฑ์ไวเฟอร์ไวเปอร์และได้กลายเป็นตัวเลือกแรกสำหรับผู้ผลิตเวเฟอร์ epitaxial จำนวนมาก SIC Coated Barrel Veperceptor สำหรับ LPE PE2061s ที่จัดทำโดย Vetek Semiconductor ได้รับการออกแบบมาสำหรับเวเฟอร์ LPE PE2061S 4 ' ผู้ไวมีการเคลือบซิลิกอนคาร์ไบด์ที่ทนทานซึ่งช่วยปรับปรุงประสิทธิภาพและความทนทานในระหว่างกระบวนการ LPE (Elipme Epitaxy) ยินดีต้อนรับคำถามของคุณเราหวังว่าจะได้เป็นหุ้นส่วนระยะยาวของคุณ
หัวฝักบัวแก๊ส Solid SiC

หัวฝักบัวแก๊ส Solid SiC

หัวฝักบัวแก๊ส SIC ของแข็งมีบทบาทสำคัญในการทำชุดก๊าซในกระบวนการ CVD ดังนั้นจึงมั่นใจได้ว่าการให้ความร้อนอย่างสม่ำเสมอของสารตั้งต้น Vetek Semiconductor มีส่วนร่วมอย่างลึกซึ้งในสาขาอุปกรณ์ SIC ของแข็งเป็นเวลาหลายปีและสามารถให้บริการหัวฝักบัวแก๊ส SIC ที่กำหนดเองได้ ไม่ว่าความต้องการของคุณคืออะไรเราหวังว่าจะได้สอบถามรายละเอียดเพิ่มเติมของคุณ
กระบวนการสะสมไอสารเคมี

กระบวนการสะสมไอสารเคมี

Vetek Semiconductor มีความมุ่งมั่นในการวิจัยและพัฒนาและผลิตวัสดุเซมิคอนดักเตอร์ขั้นสูง วันนี้ Vetek Semiconductor มีความคืบหน้าอย่างมากในกระบวนการสะสมไอน้ำของ Solid SiC Edge Ring Products และสามารถให้ลูกค้าได้รับวงแหวน SIC Edge ที่ปรับแต่งได้สูง วงแหวนขอบ SIC ของแข็งให้ความสม่ำเสมอของการแกะสลักที่ดีขึ้นและการวางตำแหน่งเวเฟอร์ที่แม่นยำเมื่อใช้กับชัคไฟฟ้าสถิตเพื่อให้มั่นใจว่าผลลัพธ์การแกะสลักที่สอดคล้องและเชื่อถือได้ รอคอยการสอบถามของคุณและเป็นพันธมิตรระยะยาวของกันและกัน
แหวนโฟกัสแบบ SIC SIC

แหวนโฟกัสแบบ SIC SIC

วงแหวนการแกะสลักแบบ SIC SIC เป็นหนึ่งในองค์ประกอบหลักของกระบวนการแกะสลักเวเฟอร์ซึ่งมีบทบาทในการแก้ไขเวเฟอร์โฟกัสพลาสมาและปรับปรุงความสม่ำเสมอของเวเฟอร์เวเฟอร์ ในฐานะผู้ผลิตวงแหวนที่มุ่งเน้น SIC ชั้นนำในประเทศจีน Vetek Semiconductor มีเทคโนโลยีขั้นสูงและกระบวนการที่เป็นผู้ใหญ่และผลิตวงแหวนการแกะสลักแบบ SIC ที่เป็นของแข็งซึ่งตอบสนองความต้องการของลูกค้าปลายทางตามความต้องการของลูกค้า เราหวังว่าจะได้สอบถามและเป็นพันธมิตรระยะยาวของกันและกัน

Veteksemicon solid silicon carbide is the ideal procurement material for high-temperature, high-strength, and corrosion-resistant components used in semiconductor and industrial applications. As a fully dense, monolithic ceramic, solid silicon carbide (SiC) offers unmatched mechanical rigidity, extreme thermal conductivity, and exceptional chemical durability in harsh processing environments. Veteksemicon’s solid SiC is specifically developed for critical structural applications such as SiC wafer carriers, cantilever paddles, susceptors, and showerheads in semiconductor equipment.


Manufactured through pressureless sintering or reaction bonding, our solid silicon carbide parts exhibit excellent wear resistance and thermal shock performance, even at temperatures above 1600°C. These properties make solid SiC the preferred material for CVD/PECVD systems, diffusion furnaces, and oxidation furnaces, where long-term thermal stability and purity are essential.


Veteksemicon also offers custom-machined SiC parts, enabling tight dimensional tolerances, high surface quality, and application-specific geometries. Additionally, solid SiC is non-reactive in both oxidizing and reducing atmospheres, enhancing its suitability for plasma, vacuum, and corrosive gas environments.


To explore our full range of solid silicon carbide components and discuss your project specifications, please visit the Veteksemicon product detail page or contact us for technical support and quotations.


ในฐานะผู้ผลิตและซัพพลายเออร์มืออาชีพ ซิลิกอนคาร์ไบด์ที่เป็นของแข็ง ในประเทศจีนเรามีโรงงานของเราเอง ไม่ว่าคุณต้องการบริการที่กำหนดเองเพื่อตอบสนองความต้องการเฉพาะของภูมิภาคของคุณหรือต้องการซื้อขั้นสูงและทนทาน ซิลิกอนคาร์ไบด์ที่เป็นของแข็ง ที่ผลิตในประเทศจีนคุณสามารถฝากข้อความถึงเราได้
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept