สินค้า
สินค้า

ซิลิกอนคาร์ไบด์ที่เป็นของแข็ง

Vetek Semiconductor Solid Silicon Carbide เป็นส่วนประกอบเซรามิกที่สำคัญในอุปกรณ์การแกะสลักพลาสมาซิลิคอนคาร์ไบด์ที่เป็นของแข็ง (CVD ซิลิกอนคาร์ไบด์) ชิ้นส่วนในอุปกรณ์การแกะสลักรวมถึงวงแหวนโฟกัสหัวฝักบัวแก๊สถาดแหวนขอบ ฯลฯ เนื่องจากปฏิกิริยาต่ำและการนำไฟฟ้าของซิลิกอนคาร์ไบด์ที่เป็นของแข็ง (CVD ซิลิคอนคาร์ไบด์) ไปยังคลอรีน - และก๊าซแกะสลักที่มีฟลูออรีนเป็นวัสดุที่เหมาะสำหรับการแกะสลักพลาสมา


ตัวอย่างเช่นวงแหวนโฟกัสเป็นส่วนสำคัญที่วางอยู่นอกเวเฟอร์และติดต่อโดยตรงกับเวเฟอร์โดยใช้แรงดันไฟฟ้ากับวงแหวนเพื่อโฟกัสพลาสมาที่ผ่านแหวนดังนั้นจึงมุ่งเน้นพลาสมาบนเวเฟอร์เพื่อปรับปรุงความสม่ำเสมอของการประมวลผล แหวนโฟกัสแบบดั้งเดิมทำจากซิลิคอนหรือควอตซ์ซิลิคอนนำไฟฟ้าเป็นวัสดุวงแหวนโฟกัสทั่วไปมันเกือบจะใกล้เคียงกับการนำไฟฟ้าของเวเฟอร์ซิลิคอน แต่การขาดแคลนคือความต้านทานการแกะสลักที่ไม่ดีในพลาสมาที่มีฟลูออรีนที่มีส่วนผสม


Sแหวนโฟกัส olid sicหลักการทำงาน

Working Principle of Solid SiC Focus Ring


การเปรียบเทียบแหวนโฟกัสที่ใช้ SI และวงแหวนโฟกัส CVD SIC::

การเปรียบเทียบแหวนโฟกัสที่ใช้ SI และวงแหวนโฟกัส CVD SIC
รายการ และ CVD sic
ความหนาแน่น (g/cm3) 2.33 3.21
ช่องว่างของวง (EV) 1.12 2.3
การนำความร้อน (w/cm ℃) 1.5 5
CTE (x10-6/℃) 2.6 4
โมดูลัสยืดหยุ่น (เกรดเฉลี่ย) 150 440
ความแข็ง (เกรดเฉลี่ย) 11.4 24.5
ความต้านทานต่อการสึกหรอและการกัดกร่อน ยากจน ยอดเยี่ยม


Vetek Semiconductor นำเสนอชิ้นส่วนซิลิคอนที่เป็นของแข็งขั้นสูง (CVD ซิลิคอนคาร์ไบด์) เช่นแหวนโฟกัส SIC สำหรับอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ ซิลิคอนคาร์ไบด์ที่เป็นของแข็งของเราโฟกัสวงแหวนที่มีประสิทธิภาพสูงกว่าซิลิกอนแบบดั้งเดิมในแง่ของความแข็งแรงเชิงกลความต้านทานทางเคมีการนำความร้อนความทนทานอุณหภูมิสูงและความต้านทานการแกะสลักไอออน


คุณสมบัติที่สำคัญของแหวนโฟกัส SIC ของเรารวมถึง:

ความหนาแน่นสูงสำหรับอัตราการแกะสลักลดลง

ฉนวนกันความร้อนที่ยอดเยี่ยมด้วย bandgap สูง

ค่าการนำความร้อนสูงและค่าสัมประสิทธิ์ต่ำของการขยายตัวทางความร้อน

ความต้านทานต่อแรงกระแทกทางกลและความยืดหยุ่น

ความแข็งสูงความต้านทานการสึกหรอและความต้านทานการกัดกร่อน

ผลิตโดยใช้การสะสมไอสารเคมีที่เพิ่มขึ้นในพลาสมา (PECVD)เทคนิคแหวนโฟกัส SIC ของเราตรงตามความต้องการที่เพิ่มขึ้นของกระบวนการแกะสลักในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ พวกเขาได้รับการออกแบบมาเพื่อทนต่อพลังงานและพลังงานในพลาสมาที่สูงขึ้นโดยเฉพาะในพลาสม่าคู่ที่มีความจุ (CCP)ระบบ

แหวนโฟกัส SIC ของ Vetek Semiconductor ให้ประสิทธิภาพและความน่าเชื่อถือที่ยอดเยี่ยมในการผลิตอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ เลือกส่วนประกอบ SIC ของเราเพื่อคุณภาพและประสิทธิภาพที่เหนือกว่า


View as  
 
หัวฝักบัวซิลิคอนคาร์ไบด์

หัวฝักบัวซิลิคอนคาร์ไบด์

หัวฝักบัวซิลิคอนคาร์ไบด์มีความทนทานต่ออุณหภูมิสูงที่ยอดเยี่ยมเสถียรภาพทางเคมีการนำความร้อนและประสิทธิภาพการกระจายก๊าซที่ดีซึ่งสามารถบรรลุการกระจายก๊าซที่สม่ำเสมอและปรับปรุงคุณภาพของฟิล์ม ดังนั้นจึงมักจะใช้ในกระบวนการอุณหภูมิสูงเช่นการสะสมไอสารเคมี (CVD) หรือกระบวนการสะสมไอทางกายภาพ (PVD) ยินดีต้อนรับการให้คำปรึกษาเพิ่มเติมของคุณกับเรา Vetek Semiconductor
แหวนซีลซิลิกอนคาร์ไบด์

แหวนซีลซิลิกอนคาร์ไบด์

ในฐานะผู้ผลิตผลิตภัณฑ์แหวนและโรงงานซิลิคอนคาร์ไบด์มืออาชีพในประเทศจีนแหวนซีลซิลิกอนคาร์ไบด์ Vetek Semiconductor ถูกนำมาใช้อย่างกว้างขวางในอุปกรณ์ประมวลผลเซมิคอนดักเตอร์เนื่องจากความต้านทานความร้อนที่ยอดเยี่ยมความต้านทานการกัดกร่อนความแข็งแรงเชิงกลและการนำความร้อน มันเหมาะอย่างยิ่งสำหรับกระบวนการที่เกี่ยวข้องกับอุณหภูมิสูงและก๊าซปฏิกิริยาเช่น CVD, PVD และการแกะสลักพลาสมาและเป็นตัวเลือกวัสดุสำคัญในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ ยินดีต้อนรับคำถามเพิ่มเติมของคุณ
บล็อก CVD SIC สำหรับการเจริญเติบโตของคริสตัล SIC

บล็อก CVD SIC สำหรับการเจริญเติบโตของคริสตัล SIC

บล็อก CVD SIC สำหรับการเจริญเติบโตของคริสตัล SIC เป็นวัตถุดิบที่มีความบริสุทธิ์สูงใหม่ที่พัฒนาโดย Vetek Semiconductor มันมีอัตราส่วนอินพุตเอาท์พุทสูงและสามารถเติบโตผลึกเดี่ยวซิลิกอนคาร์ไบด์ขนาดใหญ่ที่มีคุณภาพสูงซึ่งเป็นวัสดุรุ่นที่สองเพื่อแทนที่ผงที่ใช้ในตลาดในปัจจุบัน ยินดีต้อนรับเพื่อหารือเกี่ยวกับปัญหาทางเทคนิค
Sic Crystal Growth เทคโนโลยีใหม่

Sic Crystal Growth เทคโนโลยีใหม่

Vetek Semiconductor ความบริสุทธิ์สูงเป็นพิเศษซิลิกอนคาร์ไบด์ (SIC) ที่เกิดขึ้นจากการสะสมไอสารเคมี (CVD) แนะนำให้ใช้เป็นวัสดุแหล่งที่มาสำหรับการปลูกผลึกซิลิกอนคาร์ไบด์โดยการขนส่งไอทางกายภาพ (PVT) ในการเติบโตของคริสตัล SIC เทคโนโลยีแหล่งที่มาจะถูกโหลดลงในเบ้าหลอมและอ่อนตัวลงบนผลึกเมล็ด ใช้บล็อก CVD-SIC ที่มีความบริสุทธิ์สูงเป็นแหล่งสำหรับการปลูกคริสตัล SIC ยินดีต้อนรับสู่การจัดตั้งหุ้นส่วนกับเรา
CVD sic shower head

CVD sic shower head

Vetek Semiconductor เป็นผู้ผลิตหัวฝักบัว CVD SIC ชั้นนำและผู้ริเริ่มในประเทศจีนเราได้รับความเชี่ยวชาญในวัสดุ SIC มาหลายปีแล้ว CVD SIC SHOWER Head ได้รับเลือกให้เป็นวัสดุแหวนโฟกัสเนื่องจากความเสถียรทางความร้อนที่ยอดเยี่ยม เราหวังว่าจะได้เป็นหุ้นส่วนระยะยาวของคุณในประเทศจีน
หัวฝักบัว sic

หัวฝักบัว sic

Vetek Semiconductor เป็นผู้ผลิตหัวฝักบัวชั้นนำและผู้ริเริ่มในประเทศจีนเรามีความเชี่ยวชาญในวัสดุ SIC มาหลายปีแล้วหัวฝักบัวอาบน้ำที่ได้รับเลือกให้เป็นวัสดุแหวนโฟกัสเนื่องจากความเสถียรทางความร้อนที่ยอดเยี่ยมความแข็งแรงเชิงกลและการต่อต้านพลาสมา

Veteksemicon solid silicon carbide is the ideal procurement material for high-temperature, high-strength, and corrosion-resistant components used in semiconductor and industrial applications. As a fully dense, monolithic ceramic, solid silicon carbide (SiC) offers unmatched mechanical rigidity, extreme thermal conductivity, and exceptional chemical durability in harsh processing environments. Veteksemicon’s solid SiC is specifically developed for critical structural applications such as SiC wafer carriers, cantilever paddles, susceptors, and showerheads in semiconductor equipment.


Manufactured through pressureless sintering or reaction bonding, our solid silicon carbide parts exhibit excellent wear resistance and thermal shock performance, even at temperatures above 1600°C. These properties make solid SiC the preferred material for CVD/PECVD systems, diffusion furnaces, and oxidation furnaces, where long-term thermal stability and purity are essential.


Veteksemicon also offers custom-machined SiC parts, enabling tight dimensional tolerances, high surface quality, and application-specific geometries. Additionally, solid SiC is non-reactive in both oxidizing and reducing atmospheres, enhancing its suitability for plasma, vacuum, and corrosive gas environments.


To explore our full range of solid silicon carbide components and discuss your project specifications, please visit the Veteksemicon product detail page or contact us for technical support and quotations.


ในฐานะผู้ผลิตและซัพพลายเออร์มืออาชีพ ซิลิกอนคาร์ไบด์ที่เป็นของแข็ง ในประเทศจีนเรามีโรงงานของเราเอง ไม่ว่าคุณต้องการบริการที่กำหนดเองเพื่อตอบสนองความต้องการเฉพาะของภูมิภาคของคุณหรือต้องการซื้อขั้นสูงและทนทาน ซิลิกอนคาร์ไบด์ที่เป็นของแข็ง ที่ผลิตในประเทศจีนคุณสามารถฝากข้อความถึงเราได้
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept