ซิลิคอนคาร์ไบด์ที่เป็นของแข็ง

โซลิดซิลิคอนคาร์ไบด์ของ VeTek Semiconductor เป็นส่วนประกอบเซรามิกที่สำคัญในอุปกรณ์แกะสลักพลาสม่า ซิลิคอนคาร์ไบด์ที่เป็นของแข็ง (ซีวีดี ซิลิคอน คาร์ไบด์) ชิ้นส่วนในอุปกรณ์แกะสลักได้แก่วงแหวนโฟกัส, หัวฝักบัวแก๊ส, ถาด, วงแหวนขอบ ฯลฯ เนื่องจากซิลิคอนคาร์ไบด์ที่เป็นของแข็ง (ซิลิกอนคาร์ไบด์ CVD) มีปฏิกิริยาและการนำไฟฟ้าต่ำต่อคลอรีน - และก๊าซกัดกร่อนที่มีฟลูออรีน จึงเป็นวัสดุที่เหมาะสำหรับอุปกรณ์กัดพลาสม่าที่เน้นวงแหวนและอื่น ๆ ส่วนประกอบ

ตัวอย่างเช่น วงแหวนโฟกัสเป็นส่วนสำคัญที่วางอยู่นอกเวเฟอร์และสัมผัสโดยตรงกับเวเฟอร์ โดยการใช้แรงดันไฟฟ้ากับวงแหวนเพื่อโฟกัสพลาสมาที่ผ่านวงแหวน จึงเน้นพลาสมาบนเวเฟอร์เพื่อปรับปรุงความสม่ำเสมอของ กำลังประมวลผล. วงแหวนโฟกัสแบบเดิมทำจากซิลิคอนหรือควอตซ์ซิลิคอนนำไฟฟ้าเป็นวัสดุวงแหวนโฟกัสทั่วไป ซึ่งเกือบจะใกล้เคียงกับค่าการนำไฟฟ้าของเวเฟอร์ซิลิคอน แต่การขาดแคลนความต้านทานการแกะสลักในพลาสมาที่มีฟลูออรีนไม่ดี การแกะสลักวัสดุชิ้นส่วนเครื่องจักรที่มักใช้เป็นระยะเวลาหนึ่ง จะมีความร้ายแรง ปรากฏการณ์การกัดกร่อนทำให้ประสิทธิภาพการผลิตลดลงอย่างมาก

Sวงแหวนโฟกัส SiC แบบโอลด์หลักการทำงาน：

การเปรียบเทียบวงแหวนโฟกัสแบบ Si และวงแหวนโฟกัส CVD SiC：