คิวอาร์โค้ด

เกี่ยวกับเรา
สินค้า
ติดต่อเรา
โทรศัพท์
แฟกซ์
+86-579-87223657
อีเมล
ที่อยู่
Wangda Road, Ziyang Street, Wuyi County, Jinhua City, มณฑลเจ้อเจียง, จีน, จีน
Vetek Semiconductor Solid Silicon Carbide เป็นส่วนประกอบเซรามิกที่สำคัญในอุปกรณ์การแกะสลักพลาสมาซิลิคอนคาร์ไบด์ที่เป็นของแข็ง (CVD ซิลิกอนคาร์ไบด์) ชิ้นส่วนในอุปกรณ์การแกะสลักรวมถึงวงแหวนโฟกัสหัวฝักบัวแก๊สถาดแหวนขอบ ฯลฯ เนื่องจากปฏิกิริยาต่ำและการนำไฟฟ้าของซิลิกอนคาร์ไบด์ที่เป็นของแข็ง (CVD ซิลิคอนคาร์ไบด์) ไปยังคลอรีน - และก๊าซแกะสลักที่มีฟลูออรีนเป็นวัสดุที่เหมาะสำหรับการแกะสลักพลาสมา
ตัวอย่างเช่นวงแหวนโฟกัสเป็นส่วนสำคัญที่วางอยู่นอกเวเฟอร์และติดต่อโดยตรงกับเวเฟอร์โดยใช้แรงดันไฟฟ้ากับวงแหวนเพื่อโฟกัสพลาสมาที่ผ่านแหวนดังนั้นจึงมุ่งเน้นพลาสมาบนเวเฟอร์เพื่อปรับปรุงความสม่ำเสมอของการประมวลผล แหวนโฟกัสแบบดั้งเดิมทำจากซิลิคอนหรือควอตซ์ซิลิคอนนำไฟฟ้าเป็นวัสดุวงแหวนโฟกัสทั่วไปมันเกือบจะใกล้เคียงกับการนำไฟฟ้าของเวเฟอร์ซิลิคอน แต่การขาดแคลนคือความต้านทานการแกะสลักที่ไม่ดีในพลาสมาที่มีฟลูออรีนที่มีส่วนผสม
Sแหวนโฟกัส olid sicหลักการทำงาน:
การเปรียบเทียบแหวนโฟกัสที่ใช้ SI และวงแหวนโฟกัส CVD SIC::
การเปรียบเทียบแหวนโฟกัสที่ใช้ SI และวงแหวนโฟกัส CVD SIC | ||
รายการ | และ | CVD sic |
ความหนาแน่น (g/cm3) | 2.33 | 3.21 |
ช่องว่างของวง (EV) | 1.12 | 2.3 |
การนำความร้อน (w/cm ℃) | 1.5 | 5 |
CTE (x10-6/℃) | 2.6 | 4 |
โมดูลัสยืดหยุ่น (เกรดเฉลี่ย) | 150 | 440 |
ความแข็ง (เกรดเฉลี่ย) | 11.4 | 24.5 |
ความต้านทานต่อการสึกหรอและการกัดกร่อน | ยากจน | ยอดเยี่ยม |
Vetek Semiconductor นำเสนอชิ้นส่วนซิลิคอนที่เป็นของแข็งขั้นสูง (CVD ซิลิคอนคาร์ไบด์) เช่นแหวนโฟกัส SIC สำหรับอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ ซิลิคอนคาร์ไบด์ที่เป็นของแข็งของเราโฟกัสวงแหวนที่มีประสิทธิภาพสูงกว่าซิลิกอนแบบดั้งเดิมในแง่ของความแข็งแรงเชิงกลความต้านทานทางเคมีการนำความร้อนความทนทานอุณหภูมิสูงและความต้านทานการแกะสลักไอออน
ความหนาแน่นสูงสำหรับอัตราการแกะสลักลดลง
ฉนวนกันความร้อนที่ยอดเยี่ยมด้วย bandgap สูง
ค่าการนำความร้อนสูงและค่าสัมประสิทธิ์ต่ำของการขยายตัวทางความร้อน
ความต้านทานต่อแรงกระแทกทางกลและความยืดหยุ่น
ความแข็งสูงความต้านทานการสึกหรอและความต้านทานการกัดกร่อน
ผลิตโดยใช้การสะสมไอสารเคมีที่เพิ่มขึ้นในพลาสมา (PECVD)เทคนิคแหวนโฟกัส SIC ของเราตรงตามความต้องการที่เพิ่มขึ้นของกระบวนการแกะสลักในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ พวกเขาได้รับการออกแบบมาเพื่อทนต่อพลังงานและพลังงานในพลาสมาที่สูงขึ้นโดยเฉพาะในพลาสม่าคู่ที่มีความจุ (CCP)ระบบ
แหวนโฟกัส SIC ของ Vetek Semiconductor ให้ประสิทธิภาพและความน่าเชื่อถือที่ยอดเยี่ยมในการผลิตอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ เลือกส่วนประกอบ SIC ของเราเพื่อคุณภาพและประสิทธิภาพที่เหนือกว่า
Veteksemicon solid silicon carbide is the ideal procurement material for high-temperature, high-strength, and corrosion-resistant components used in semiconductor and industrial applications. As a fully dense, monolithic ceramic, solid silicon carbide (SiC) offers unmatched mechanical rigidity, extreme thermal conductivity, and exceptional chemical durability in harsh processing environments. Veteksemicon’s solid SiC is specifically developed for critical structural applications such as SiC wafer carriers, cantilever paddles, susceptors, and showerheads in semiconductor equipment.
Manufactured through pressureless sintering or reaction bonding, our solid silicon carbide parts exhibit excellent wear resistance and thermal shock performance, even at temperatures above 1600°C. These properties make solid SiC the preferred material for CVD/PECVD systems, diffusion furnaces, and oxidation furnaces, where long-term thermal stability and purity are essential.
Veteksemicon also offers custom-machined SiC parts, enabling tight dimensional tolerances, high surface quality, and application-specific geometries. Additionally, solid SiC is non-reactive in both oxidizing and reducing atmospheres, enhancing its suitability for plasma, vacuum, and corrosive gas environments.
To explore our full range of solid silicon carbide components and discuss your project specifications, please visit the Veteksemicon product detail page or contact us for technical support and quotations.
+86-579-87223657
Wangda Road, Ziyang Street, Wuyi County, Jinhua City, มณฑลเจ้อเจียง, จีน, จีน
ลิขสิทธิ์© 2024 Vetek Semiconductor Technology Co. , Ltd. สงวนลิขสิทธิ์
Links | Sitemap | RSS | XML | Privacy Policy |