ข่าวอุตสาหกรรม

วัสดุที่มีความบริสุทธิ์สูงเป็นสิ่งจำเป็นสำหรับการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ กระบวนการเหล่านี้เกี่ยวข้องกับความร้อนจัดและสารเคมีที่มีฤทธิ์กัดกร่อน CVD-SiC (ซิลิคอนคาร์ไบด์การสะสมไอสารเคมี) ให้ความเสถียรและความแข็งแกร่งที่จำเป็น ขณะนี้เป็นตัวเลือกหลักสำหรับชิ้นส่วนอุปกรณ์ขั้นสูงเนื่องจากมีความบริสุทธิ์และความหนาแน่นสูง

ในโลกของเซมิคอนดักเตอร์ซิลิคอนคาร์ไบด์ (SiC) สปอตไลต์ส่วนใหญ่จะส่องไปที่เครื่องปฏิกรณ์แบบเอปิแทกเซียลขนาด 8 นิ้ว หรือความซับซ้อนของการขัดเวเฟอร์ อย่างไรก็ตาม หากเราติดตามห่วงโซ่อุปทานย้อนกลับไปตั้งแต่เริ่มต้น—ภายในเตาขนส่งไอทางกายภาพ (PVT)— "การปฏิวัติวัสดุ" ขั้นพื้นฐานกำลังเกิดขึ้นอย่างเงียบ ๆ

ในยุคแห่งวิวัฒนาการอย่างรวดเร็วของ MEMS (ระบบเครื่องกลไฟฟ้าไมโคร) การเลือกวัสดุเพียโซอิเล็กทริกที่เหมาะสมคือการตัดสินใจครั้งสำคัญสำหรับประสิทธิภาพของอุปกรณ์ เวเฟอร์ฟิล์มบาง PZT (Lead Zirconate Titanate) กลายเป็นตัวเลือกชั้นนำเหนือทางเลือกอื่น เช่น AlN (อะลูมิเนียมไนไตรด์) ที่ให้การเชื่อมต่อระบบเครื่องกลไฟฟ้าที่เหนือกว่าสำหรับเซ็นเซอร์และแอคทูเอเตอร์ที่ล้ำสมัย

เนื่องจากการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ยังคงพัฒนาไปสู่โหนดกระบวนการขั้นสูง การบูรณาการที่สูงขึ้น และสถาปัตยกรรมที่ซับซ้อน ปัจจัยชี้ขาดสำหรับผลผลิตของเวเฟอร์จึงอยู่ระหว่างการเปลี่ยนแปลงเล็กน้อย สำหรับการผลิตแผ่นเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์แบบกำหนดเอง จุดทะลุทะลวงเพื่อให้ได้ผลผลิตไม่ได้อยู่ที่กระบวนการหลักเพียงอย่างเดียวอีกต่อไป เช่น การพิมพ์หินหรือการแกะสลัก ตัวรับที่มีความบริสุทธิ์สูงกำลังกลายเป็นตัวแปรสำคัญที่ส่งผลต่อความเสถียรและความสม่ำเสมอของกระบวนการมากขึ้นเรื่อยๆ

ในโลกของเซมิคอนดักเตอร์แบบแถบความถี่กว้าง (WBG) หากกระบวนการผลิตขั้นสูงคือ "จิตวิญญาณ" ตัวรับกราไฟต์ก็คือ "แกนหลัก" และการเคลือบผิวของมันคือ "ผิวหนัง" ที่สำคัญ

ในโลกของอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์กำลังที่มีเดิมพันสูง ซิลิคอนคาร์ไบด์ (SiC) และแกลเลียมไนไตรด์ (GaN) กำลังเป็นหัวหอกในการปฏิวัติ ตั้งแต่ยานพาหนะไฟฟ้า (EV) ไปจนถึงโครงสร้างพื้นฐานด้านพลังงานหมุนเวียน อย่างไรก็ตาม ความแข็งและความเฉื่อยทางเคมีในตำนานของวัสดุเหล่านี้ทำให้เกิดปัญหาคอขวดในการผลิตที่น่าเกรงขาม