sic ที่มีรูพรุน

Vetek Semiconductor เป็นผู้ผลิตชั้นนำของเซรามิก SIC ที่มีรูพรุนสำหรับอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ ผ่าน ISO9001, Vetek Semiconductor มีการควบคุมคุณภาพที่ดี Vetek Semiconductor มีความมุ่งมั่นที่จะเป็นผู้ริเริ่มและเป็นผู้นำในอุตสาหกรรมเซรามิกที่มีรูพรุน

แผ่นเซรามิก sic ที่มีรูพรุน

เซรามิก sic ที่มีรูพรุนเป็นวัสดุเซรามิกที่ถูกยิงที่อุณหภูมิสูงและมีรูขุมขนที่เชื่อมต่อระหว่างกันหรือปิดอยู่ภายในจำนวนมาก มันยังเป็นที่รู้จักกันว่าถ้วยดูดสูญญากาศ microporous มีขนาดรูขุมขนตั้งแต่ 2 ถึง 100หนึ่ง

เซรามิก sic ที่มีรูพรุนถูกนำมาใช้อย่างกว้างขวางในโลหะวิทยาอุตสาหกรรมเคมีการป้องกันสิ่งแวดล้อมชีววิทยาเซมิคอนดักเตอร์และสาขาอื่น ๆ เซรามิก sic ที่มีรูพรุนสามารถเตรียมได้โดยวิธีการเกิดฟอง, วิธีเจลโซล, วิธีการหล่อเทป, วิธีการเผาที่เป็นของแข็งและวิธีการทำให้เป็นไพโรไลซิส

การเตรียมเซรามิก sic ที่มีรูพรุนโดยวิธีการเผา

คุณสมบัติของเซรามิกซิลิคอนที่มีรูพรุนที่เตรียมโดยวิธีการต่าง ๆ เป็นฟังก์ชั่นของความพรุน

ถ้วยดูดเซรามิก sic ที่มีรูพรุนในการผลิตเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์

เซรามิกที่มีรูพรุนของ Vetek Semiconductor มีบทบาทในการยึดและถือเวเฟอร์ในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ พวกเขามีความหนาแน่นและสม่ำเสมอมีความแข็งแรงสูงการซึมผ่านของอากาศและการดูดซับที่สม่ำเสมอ

พวกเขาแก้ไขปัญหาที่ยากลำบากมากมายเช่นการเยื้องเวเฟอร์และการสลายของชิปไฟฟ้าสถิตและช่วยให้บรรลุการประมวลผลเวเฟอร์คุณภาพสูงมาก

แผนภาพการทำงานของเซรามิก sic ที่มีรูพรุน:

หลักการทำงานของเซรามิก Sic ที่มีรูพรุน: เวเฟอร์ซิลิคอนได้รับการแก้ไขโดยหลักการดูดซับสูญญากาศ ในระหว่างการประมวลผลรูเล็ก ๆ บนเซรามิก sic ที่มีรูพรุนจะใช้ในการสกัดอากาศระหว่างเวเฟอร์ซิลิคอนและพื้นผิวเซรามิกเพื่อให้เวเฟอร์ซิลิกอนและพื้นผิวเซรามิกอยู่ที่ความดันต่ำ

หลังจากการประมวลผลน้ำพลาสมาไหลออกมาจากรูเพื่อป้องกันไม่ให้เวเฟอร์ซิลิคอนยึดติดกับพื้นผิวเซรามิกและในเวลาเดียวกันเวเฟอร์ซิลิกอนและพื้นผิวเซรามิกได้รับการทำความสะอาด

โครงสร้างจุลภาคของเซรามิก sic ที่มีรูพรุน

เน้นข้อดีและคุณสมบัติ:

●ความต้านทานอุณหภูมิสูง

●ความต้านทานต่อการสึกหรอ

●ความต้านทานทางเคมี

●ความแข็งแรงเชิงกลสูง

●ง่ายต่อการสร้างใหม่

●ความต้านทานแรงกระแทกด้วยความร้อนที่ยอดเยี่ยม

รายการ	หน่วย	เซรามิก sic ที่มีรูพรุน
เส้นผ่าศูนย์กลางรูขุมขน	หนึ่ง	10 ~ 30
ความหนาแน่น	g / cm3	1.2 ~ 1.3
พื้นผิวความดี	หนึ่ง	2.5 ~ 3
ค่าการดูดซับอากาศ	KPA	-45
ความแข็งแรงในการโค้งงอ	MPA	30
ค่าคงที่ไดอิเล็กตริก	1MHz	33
การนำความร้อน	w/(m · k)	60 ~ 70

มีข้อกำหนดสูงหลายประการสำหรับเซรามิก sic ที่มีรูพรุน:

1. การดูดซับสูญญากาศที่แข็งแกร่ง

2. ความเรียบเป็นสิ่งสำคัญมากมิฉะนั้นจะมีปัญหาระหว่างการดำเนินการ

3. ไม่มีการเสียรูปและไม่มีสิ่งสกปรกโลหะ

ดังนั้นค่าการดูดซับอากาศของเซรามิก SIC ของ Vetek Semiconductor ถึง -45kpa ในเวลาเดียวกันพวกเขาจะอยู่ที่ 1200 ℃เป็นเวลา 1.5 ชั่วโมงก่อนออกจากโรงงานเพื่อกำจัดสิ่งสกปรกและบรรจุในถุงสูญญากาศ

เซรามิก sic ที่มีรูพรุนมีการใช้กันอย่างแพร่หลายในเทคโนโลยีการประมวลผลเวเฟอร์การถ่ายโอนและลิงก์อื่น ๆ พวกเขาประสบความสำเร็จอย่างมากในการเชื่อมการติดตั้งการติดตั้งการขัดและลิงก์อื่น ๆ