เซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์

VeTek Semiconductor เป็นพันธมิตรเชิงนวัตกรรมของคุณในด้านการประมวลผลเซมิคอนดักเตอร์ ด้วยผลงานที่ครอบคลุมของเราในด้านการผสมผสานวัสดุเซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์เกรดเซมิคอนดักเตอร์ ความสามารถในการผลิตส่วนประกอบ และบริการด้านวิศวกรรมการใช้งาน เราสามารถช่วยให้คุณเอาชนะความท้าทายที่สำคัญได้ เซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์ทางเทคนิคทางวิศวกรรมถูกนำมาใช้กันอย่างแพร่หลายในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์เนื่องจากประสิทธิภาพของวัสดุที่โดดเด่น เซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์บริสุทธิ์พิเศษของ VeTek Semiconductor ถูกใช้บ่อยตลอดวงจรการผลิตและการแปรรูปเซมิคอนดักเตอร์

การแพร่กระจายและการประมวลผล LPCVD

VeTek Semiconductor จัดหาส่วนประกอบเซรามิกเชิงวิศวกรรมที่ออกแบบมาโดยเฉพาะสำหรับการแพร่กระจายแบบแบทช์และข้อกำหนด LPCVD รวมถึง:

ส่วนประกอบกระบวนการกัดกรด

ลดการปนเปื้อนและการบำรุงรักษาที่ไม่ได้กำหนดไว้ด้วยส่วนประกอบที่มีความบริสุทธิ์สูงซึ่งออกแบบมาเพื่อความเข้มงวดของกระบวนการกัดด้วยพลาสมา รวมถึง:

การประมวลผลความร้อนอย่างรวดเร็วและส่วนประกอบกระบวนการ epitaxial

VeTek Semiconductor นำเสนอส่วนประกอบวัสดุขั้นสูงที่ปรับแต่งสำหรับการใช้งานการประมวลผลความร้อนที่อุณหภูมิสูงในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ การใช้งานเหล่านี้ครอบคลุมถึง RTP, กระบวนการ Epi, การแพร่กระจาย, ออกซิเดชัน และการหลอมอ่อน เซรามิกทางเทคนิคของเราได้รับการออกแบบให้ทนทานต่อการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิโดยฉับพลัน ให้ประสิทธิภาพที่เชื่อถือได้และสม่ำเสมอ ด้วยส่วนประกอบของ VeTek Semiconductor ผู้ผลิตเซมิคอนดักเตอร์สามารถบรรลุการประมวลผลความร้อนที่มีประสิทธิภาพและมีคุณภาพสูง ซึ่งมีส่วนช่วยให้การผลิตเซมิคอนดักเตอร์โดยรวมประสบความสำเร็จ

หมวดหมู่สินค้า

ไม้พาย SiC Cantilever หลอดกระบวนการ SiC ท่อกระบวนการซิลิคอนคาร์ไบด์ เรือเวเฟอร์แนวตั้ง SiC เรือเวเฟอร์แนวนอน SiC เรือเวเฟอร์สี่เหลี่ยมแนวนอน SiC เรือเวเฟอร์ SiC LPCVD เรือจานแนวนอน SiC แหวนซีลเซรามิก SiC

คุณสมบัติที่สำคัญ

● ความบริสุทธิ์สูงพิเศษ: ปริมาณ SiC >99.96%, ซิลิคอนอิสระ <0.1%, ลดการปนเปื้อนของโลหะ

● ประสิทธิภาพการทำงานที่อุณหภูมิสูงดีเยี่ยม: อุณหภูมิในการทำงานสูงถึง 1600°C (ออกซิไดซ์) / 1700°C (รีดิวซ์)

● ต้านทานการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิอย่างฉับพลันและการขยายตัวเนื่องจากความร้อนต่ำเพื่อประสิทธิภาพที่เชื่อถือได้ภายใต้วงจรความร้อนที่รวดเร็ว

● ความแข็งแรงเชิงกลสูง (แรงอัด >600 MPa) และความเฉื่อยทางเคมีต่อก๊าซและพลาสมาในกระบวนการ

● กลุ่มผลิตภัณฑ์ที่ครอบคลุมสำหรับกระบวนการแพร่/LPCVD การกัด RTP และ epi ตั้งแต่เวเฟอร์โบ๊ทไปจนถึงโฟกัสริงและชิ้นส่วนสั่งทำพิเศษ

● อายุการใช้งานยาวนานและลดการสร้างอนุภาค ช่วยลดความถี่ในการบำรุงรักษาและเพิ่มผลผลิต

ข้อมูลจำเพาะของผลิตภัณฑ์

คุณสมบัติทางกายภาพของซิลิคอนคาร์ไบด์ตกผลึกใหม่

การใช้งาน

เพื่อตอบสนองความต้องการที่หลากหลายของกระบวนการเซมิคอนดักเตอร์ VeTek นำเสนอผลิตภัณฑ์เซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์ที่ตรงเป้าหมาย ตารางต่อไปนี้จำแนกตามพื้นที่การใช้งานหลัก:

สำหรับโซลูชันการจับคู่กระบวนการโดยละเอียด โปรดดูที่เตาออกซิเดชันและการแพร่กระจายหน้าที่เกี่ยวข้อง

ในฐานะผู้ผลิตและจำหน่ายเซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์มืออาชีพในประเทศจีน เรามีโรงงานของเราเอง ไม่ว่าคุณต้องการบริการที่ปรับแต่งตามความต้องการเฉพาะของภูมิภาคของคุณ หรือต้องการซื้อเซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์ขั้นสูงและทนทานที่ผลิตในจีน คุณก็สามารถทำได้ฝากข้อความถึงเรา.