ซิลิกอนไนไตรด์

1. ความเสถียรทางเคมีที่ยอดเยี่ยม

เซรามิกซิลิกอนไนไตรด์มีความเสถียรทางเคมีที่ยอดเยี่ยมและสามารถทนต่อกรดที่มีความหลากหลายอัลคาลิสและก๊าซกัดกร่อน ในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์มักจะต้องจัดการกับสารเคมีกัดกร่อนเซรามิกซิลิกอนไนไตรด์สามารถให้การรับประกันประสิทธิภาพในระยะยาว

2. คุณสมบัติเชิงกลที่ยอดเยี่ยม

เซรามิกซิลิคอนไนไตรด์มีความแข็งสูงความแข็งแรงในการอัดและความต้านทานการสึกหรอสามารถทนต่อความเครียดเชิงกลและการสึกหรอของพื้นผิวไม่ใช่เรื่องง่ายที่จะเปลี่ยนรูปหรือแตก คุณสมบัติเชิงกลนี้ทำให้เหมาะมากเป็นวัสดุสำหรับโครงสร้างและชิ้นส่วนกระบวนการในอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์

3. ความเสถียรอุณหภูมิสูง

เซรามิกซิลิคอนไนไตรด์สามารถรักษาความมั่นคงในสภาพแวดล้อมที่อุณหภูมิสูงไม่ง่ายที่จะอ่อนลงหรือละลายและสามารถทนต่อการประมวลผลและการจัดการอุณหภูมิสูงในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ สิ่งนี้ช่วยให้สามารถใช้ในการผลิตส่วนประกอบสำคัญของอุปกรณ์กระบวนการอุณหภูมิสูงเช่นกริปเปอร์ส่วนประกอบห้องปฏิกิริยาและอื่น ๆ

4. คุณสมบัติฉนวนที่ยอดเยี่ยม

คุณสมบัติฉนวนมีความสำคัญในการผลิตอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ เซรามิกซิลิคอนไนไตรด์มีคุณสมบัติฉนวนที่ดีซึ่งสามารถแยกและป้องกันส่วนประกอบวงจรได้อย่างมีประสิทธิภาพจากการรั่วไหลในปัจจุบันหรือสัญญาณรบกวนแม่เหล็กไฟฟ้าช่วยปรับปรุงความเสถียรและความน่าเชื่อถือของอุปกรณ์

5. การนำความร้อนและการนำความร้อน

เซรามิกซิลิคอนไนไตรด์มีค่าการนำความร้อนสูงสามารถดำเนินการและกระจายความร้อนที่เกิดจากอุปกรณ์ได้อย่างมีประสิทธิภาพช่วยรักษาความเสถียรของอุณหภูมิของอุปกรณ์ในกระบวนการปฏิบัติการ สิ่งนี้มีความสำคัญต่อการทำงานของอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ที่มีประสิทธิภาพสูง

1. chucks ไฟฟ้าสถิตและส่วนประกอบห้องแกะสลัก

เซรามิกซิลิคอนไนไตรด์มักใช้เป็นวัสดุสำหรับ chucks ไฟฟ้าสถิตและส่วนประกอบห้องแกะสลักในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์เนื่องจากความเสถียรทางเคมีที่ยอดเยี่ยมและความต้านทานอุณหภูมิสูง chucks ไฟฟ้าสถิตใช้ในการแก้ไขและทำให้เวเฟอร์หรือพื้นผิวมีเสถียรภาพในขณะที่ส่วนประกอบห้องแกะสลักถูกใช้เพื่อทนต่อก๊าซที่มีการกัดกร่อนและสภาพแวดล้อมที่อุณหภูมิสูง

2. แผ่นกระจายก๊าซและตัวสะท้อนแสง

เซรามิกซิลิกอนไนไตรด์ยังใช้ในการผลิตอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ในแผ่นกระจายก๊าซและตัวสะท้อนแสง แผ่นกระจายก๊าซใช้เพื่อกระจายก๊าซปฏิกิริยาหรือป้องกันอย่างสม่ำเสมอในห้องปฏิกิริยาในขณะที่ตัวสะท้อนแสงจะใช้เพื่อเพิ่มประสิทธิภาพการกระจายและการสะท้อนของแสงภายในห้องปฏิกิริยาเพื่อปรับปรุงประสิทธิภาพการเกิดปฏิกิริยาและความสม่ำเสมอ

3. ผู้ถือและส่วนประกอบความร้อน

เซรามิกซิลิกอนไนไตรด์มักใช้เป็นผู้ถือและส่วนประกอบการจัดการความร้อนในอุปกรณ์การผลิตเซมิคอนดักเตอร์ ส่วนประกอบเหล่านี้ต้องมีความแข็งแรงเชิงกลที่ดีความต้านทานการสึกหรอและการนำความร้อนเพื่อให้แน่ใจว่าอุปกรณ์ที่มีเสถียรภาพและความแม่นยำในการประมวลผลอุปกรณ์

4. แผ่นการขัดด้วยเครื่องจักรกล (CMP)

เซรามิกซิลิคอนไนไตรด์ถูกนำมาใช้อย่างกว้างขวางเป็นวัสดุแผ่นในกระบวนการขัดกลไกเคมี (CMP) มันมีความเรียบและความต้านทานการสึกหรอที่ยอดเยี่ยมและสามารถให้การสนับสนุนที่มั่นคงในระหว่างกระบวนการขัดเพื่อให้แน่ใจว่าความเรียบและความแม่นยำของพื้นผิวเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์