สินค้า

เรือกราไฟท์ Veteksemicon สำหรับ PECVD ได้รับการผลิตด้วยเครื่องจักรอย่างแม่นยำจากกราไฟท์ที่มีความบริสุทธิ์สูงและออกแบบมาโดยเฉพาะสำหรับกระบวนการสะสมไอสารเคมีที่เสริมพลาสมา ด้วยความเข้าใจอย่างลึกซึ้งเกี่ยวกับวัสดุสนามความร้อนของเซมิคอนดักเตอร์และความสามารถในการตัดเฉือนที่มีความแม่นยำ เราจึงนำเสนอเรือกราไฟท์ที่มีเสถียรภาพทางความร้อนเป็นพิเศษ การนำไฟฟ้าที่ดีเยี่ยม และอายุการใช้งานที่ยาวนาน เรือเหล่านี้ได้รับการออกแบบเพื่อให้แน่ใจว่าการสะสมของฟิล์มบางมีความสม่ำเสมอสูงบนแผ่นเวเฟอร์ทุกชิ้นในสภาพแวดล้อมกระบวนการ PECVD ที่มีความต้องการสูง ซึ่งช่วยเพิ่มผลผลิตและความสามารถในการผลิตของกระบวนการ

แหวนกราไฟท์เคลือบ CVD TaC โดย Veteksemicon ได้รับการออกแบบทางวิศวกรรมเพื่อตอบสนองความต้องการขั้นสุดยอดของการประมวลผลแผ่นเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ ด้วยการใช้เทคโนโลยีการสะสมไอสารเคมี (CVD) การเคลือบแทนทาลัมคาร์ไบด์ (TaC) ที่มีความหนาแน่นและสม่ำเสมอถูกนำไปใช้กับซับสเตรตกราไฟท์ที่มีความบริสุทธิ์สูง ทำให้มีความแข็ง ทนทานต่อการสึกหรอ และความเฉื่อยทางเคมีเป็นพิเศษ ในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ แหวนกราไฟท์เคลือบ CVD TaC ถูกนำมาใช้กันอย่างแพร่หลายใน MOCVD, การกัด, การแพร่ และช่องการเจริญเติบโตแบบเอปิแอกเซียล โดยทำหน้าที่เป็นส่วนประกอบทางโครงสร้างหรือการปิดผนึกที่สำคัญสำหรับตัวพาเวเฟอร์, ตัวรับ และส่วนประกอบการป้องกัน รอคอยที่จะให้คำปรึกษาเพิ่มเติมของคุณ

วงแหวนกราไฟท์เคลือบ TaC ที่มีรูพรุนที่ผลิตโดย VETEK ใช้ซับสเตรตกราไฟท์ที่มีรูพรุนน้ำหนักเบา และเคลือบด้วยการเคลือบแทนทาลัมคาร์ไบด์ที่มีความบริสุทธิ์สูง ซึ่งมีความทนทานต่ออุณหภูมิสูง ก๊าซที่มีฤทธิ์กัดกร่อน และการกัดเซาะของพลาสมาได้ดีเยี่ยม

พายซิลิคอนคาร์ไบด์ Cantilever จาก Veteksemicon ได้รับการออกแบบมาเพื่อการประมวลผลเวเฟอร์ขั้นสูงในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ ผลิตจาก SiC ที่มีความบริสุทธิ์สูง มีเสถียรภาพทางความร้อนที่โดดเด่น ความแข็งแรงเชิงกลที่เหนือกว่า และทนทานต่ออุณหภูมิสูงและสภาพแวดล้อมที่มีฤทธิ์กัดกร่อนได้ดีเยี่ยม คุณสมบัติเหล่านี้ช่วยให้มั่นใจได้ถึงการจัดการเวเฟอร์ที่แม่นยำ อายุการใช้งานที่ยาวนานขึ้น และประสิทธิภาพที่เชื่อถือได้ในกระบวนการต่างๆ เช่น MOCVD, Epitaxy และการแพร่กระจาย ยินดีให้คำปรึกษา

หัวดูดสูญญากาศเซรามิก Veteksemicon SiC สำหรับเวเฟอร์ได้รับการออกแบบทางวิศวกรรมเพื่อให้มีความแม่นยำและความน่าเชื่อถือเป็นพิเศษในการประมวลผลเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ ผลิตจากซิลิคอนคาร์ไบด์ที่มีความบริสุทธิ์สูง ช่วยให้มั่นใจได้ถึงการนำความร้อน ทนต่อสารเคมี และความแข็งแรงเชิงกลที่เหนือกว่า ทำให้เหมาะสำหรับการใช้งานที่มีความต้องการสูง เช่น การกัด การสะสม และการพิมพ์หิน พื้นผิวเรียบเป็นพิเศษรับประกันการรองรับแผ่นเวเฟอร์ที่มั่นคง ลดข้อบกพร่องและปรับปรุงผลผลิตของกระบวนการ หัวจับสุญญากาศนี้เป็นตัวเลือกที่เชื่อถือได้สำหรับการจัดการเวเฟอร์ประสิทธิภาพสูง

วงแหวนโฟกัส SiC แข็งของ Veteksemi ช่วยปรับปรุงความสม่ำเสมอในการแกะสลักและความเสถียรของกระบวนการได้อย่างมาก โดยการควบคุมสนามไฟฟ้าและการไหลเวียนของอากาศที่ขอบเวเฟอร์อย่างแม่นยำ มีการใช้กันอย่างแพร่หลายในกระบวนการแกะสลักที่แม่นยำสำหรับวัสดุซิลิคอน ไดอิเล็กทริก และสารกึ่งตัวนำแบบผสม และเป็นส่วนประกอบสำคัญในการรับประกันผลผลิตจำนวนมากและการทำงานของอุปกรณ์ที่เชื่อถือได้ในระยะยาว