สินค้า

Halfmoon เป็นส่วนประกอบกราไฟท์ที่ใช้ในเครื่องปฏิกรณ์ LPE SiC โดยส่วนใหญ่จะติดตั้งรอบๆ โซนร้อนของห้องเพาะเลี้ยง แม้ว่าจะไม่ได้สัมผัสแผ่นเวเฟอร์โดยตรง แต่ก็ยังมีบทบาทต่อความเสถียรในการไหลของก๊าซและการทำงานของเครื่องปฏิกรณ์ในระหว่างการเจริญเติบโตของเยื่อบุผิว ในการจัดการกับอุณหภูมิสูงและสภาวะกระบวนการที่เกิดปฏิกิริยา ส่วนประกอบมักจะได้รับการปกป้องด้วยการเคลือบ CVD SiC ในขณะที่การเคลือบ TaC ก็มีจำหน่ายสำหรับการใช้งานบางประเภทเช่นกัน VETEK ยังจำหน่ายฉนวนสักหลาดกราไฟท์และชิ้นส่วนกราไฟท์เคลือบอื่นๆ สำหรับระบบ epitaxy SiC

วงแหวนด้านบน SiC epi ขนาด 8 นิ้วเป็นชิ้นส่วนฮาร์ดแวร์สำหรับเครื่องปฏิกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ ทำงานภายในระบบ Si/SiC epitaxy และระบบ MOCVD/CVD วงแหวนนี้จะรักษาความร้อนภายในห้องให้คงที่ นอกจากนี้ยังควบคุมการไหลของก๊าซ วัสดุเป็นซิลิคอนคาร์ไบด์ CVD ที่มีความบริสุทธิ์สูง ไม่มีปัญหาเรื่องก๊าซกราไฟท์ไหลออกมา นอกจากนี้ยังช่วยลดการปนเปื้อนของอนุภาคในระหว่างการผลิตเรายินดีรับฟังข้อซักถามของคุณ

VETEK ได้พัฒนาผ้าสักหลาดคาร์บอนไฟเบอร์ของเราโดยใช้การผสมผสานระหว่างการสางที่มีความแม่นยำและเทคโนโลยีแอร์เจ็ท เราสามารถรับประกันโครงสร้างเส้นใยที่มีความสม่ำเสมอสูงตลอดทั้งวัสดุ สร้างขึ้นเพื่อให้ทนต่อความร้อนจัดของเตาอุตสาหกรรมในขณะที่ยังคงน้ำหนักเบาอย่างไม่น่าเชื่อ ด้วยมวลความร้อนที่ต่ำและพื้นผิวที่ยืดหยุ่น จึงติดตั้งได้ง่ายและแนบสนิทกับมุมเตา ซึ่งช่วยเพิ่มประสิทธิภาพการใช้พลังงานสูงสุดในทุกรอบ

คุณภาพของวัสดุต้นทางเป็นปัจจัยหลักที่จำกัดผลผลิตของเวเฟอร์ในการผลิตผลึกเดี่ยว SiC CVD SiC Bulk ความบริสุทธิ์สูง 7N ของ VETEK นำเสนอทางเลือกโพลีคริสตัลไลน์ความหนาแน่นสูงแทนผงแบบดั้งเดิม ได้รับการออกแบบทางวิศวกรรมมาโดยเฉพาะสำหรับการขนส่งไอทางกายภาพ (PVT) ด้วยการใช้แบบฟอร์ม CVD จำนวนมาก เราจะกำจัดข้อบกพร่องในการเติบโตทั่วไปและปรับปรุงปริมาณงานของเตาเผาได้อย่างมาก รอคอยที่จะสอบถามของคุณ

ในการผลิตขั้นสูง เช่น การแพร่กระจาย การออกซิเดชัน หรือ LPCVD เรือเวเฟอร์ไม่ได้เป็นเพียงตัวยึดเท่านั้น แต่ยังเป็นส่วนสำคัญของสภาพแวดล้อมทางความร้อนอีกด้วย ที่อุณหภูมิสูงถึง 1,000°C ถึง 1,400°C วัสดุมาตรฐานมักจะล้มเหลวเนื่องจากการบิดเบี้ยวหรือก๊าซรั่วไหล โซลูชัน SiC-on-SiC ของ VETEK (ซับสเตรตที่มีความบริสุทธิ์สูงพร้อมการเคลือบ CVD หนาแน่น) ได้รับการออกแบบมาเป็นพิเศษเพื่อทำให้ตัวแปรความร้อนสูงเหล่านี้คงที่

สภาพแวดล้อมที่มีอุณหภูมิสูงและมีปฏิกิริยาทางเคมีของ MOCVD การปกป้องห้องปฏิกิริยา และความแม่นยำในการควบคุมกระบวนการเป็นสิ่งสำคัญยิ่ง VETEK นำเสนอส่วนประกอบควอตซ์ทึบแสง (สีขาวขุ่น) ระดับพรีเมียม ซึ่งได้รับการออกแบบมาเป็นพิเศษเพื่อทำหน้าที่เป็น "ห้องปลอดเชื้อ" และ "ประตูที่แม่นยำ" ภายในอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ของคุณ ส่วนประกอบเหล่านี้นำเสนอโซลูชันที่คุ้มค่าแต่มีประสิทธิภาพสูงสำหรับการจัดการการแผ่รังสีความร้อนและป้องกันการปนเปื้อน