การเคลือบซิลิคอนคาร์ไบด์

VeTek Semiconductor เชี่ยวชาญในการผลิตผลิตภัณฑ์เคลือบซิลิคอนคาร์ไบด์บริสุทธิ์พิเศษ สารเคลือบเหล่านี้ได้รับการออกแบบมาเพื่อใช้กับกราไฟท์บริสุทธิ์ เซรามิก และส่วนประกอบโลหะทนไฟ

การเคลือบที่มีความบริสุทธิ์สูงของเรามีเป้าหมายหลักเพื่อใช้ในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์และอิเล็กทรอนิกส์ ทำหน้าที่เป็นชั้นป้องกันสำหรับพาหะเวเฟอร์ ตัวรับ และองค์ประกอบความร้อน ปกป้องจากสภาพแวดล้อมที่มีฤทธิ์กัดกร่อนและเกิดปฏิกิริยาที่พบในกระบวนการ เช่น MOCVD และ EPI กระบวนการเหล่านี้เป็นส่วนสำคัญในการประมวลผลเวเฟอร์และการผลิตอุปกรณ์ นอกจากนี้ การเคลือบของเรายังเหมาะอย่างยิ่งสำหรับการใช้งานในเตาสุญญากาศและการทำความร้อนตัวอย่าง ซึ่งต้องเผชิญกับสภาพแวดล้อมที่เป็นสุญญากาศ ปฏิกิริยา และออกซิเจนสูง

ที่ VeTek Semiconductor เรานำเสนอโซลูชันที่ครอบคลุมพร้อมความสามารถของร้านขายเครื่องจักรขั้นสูงของเรา ซึ่งช่วยให้เราสามารถผลิตส่วนประกอบพื้นฐานโดยใช้กราไฟท์ เซรามิก หรือโลหะทนไฟ และใช้การเคลือบเซรามิก SiC หรือ TaC ภายในบริษัทได้ นอกจากนี้เรายังให้บริการเคลือบชิ้นส่วนที่ลูกค้าจัดหามา เพื่อให้มั่นใจว่ามีความยืดหยุ่นในการตอบสนองความต้องการที่หลากหลาย

ผลิตภัณฑ์เคลือบซิลิคอนคาร์ไบด์ของเราถูกนำมาใช้กันอย่างแพร่หลายใน Si epitaxy, SiC epitaxy, ระบบ MOCVD, กระบวนการ RTP/RTA, กระบวนการแกะสลัก, กระบวนการแกะสลัก ICP/PSS, กระบวนการของ LED ประเภทต่างๆ รวมถึง LED สีน้ำเงินและสีเขียว, UV LED และ Deep-UV LED ฯลฯ ซึ่งปรับให้เข้ากับอุปกรณ์จาก LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI และอื่นๆ

ชิ้นส่วนเครื่องปฏิกรณ์ที่เราสามารถทำได้:

การเคลือบซิลิคอนคาร์ไบด์มีข้อดีที่เป็นเอกลักษณ์หลายประการ:

Silicon Carbide Coating several unique advantages

พารามิเตอร์การเคลือบซิลิคอนคาร์ไบด์ VeTek Semiconductor

คุณสมบัติทางกายภาพพื้นฐานของการเคลือบ CVD SiC
คุณสมบัติ	ค่าทั่วไป
โครงสร้างคริสตัล	โพลีคริสตัลไลน์เฟส FCC β ส่วนใหญ่เน้น (111)
ความหนาแน่นของการเคลือบ SiC	3.21 ก./ซม.³
การเคลือบ SiCความแข็ง	ความแข็ง 2,500 วิกเกอร์ส (โหลด 500 กรัม)
เกรน SiZe	2~10ไมโครเมตร
ความบริสุทธิ์ของสารเคมี	99.99995%
ความจุความร้อน	640 เจ·กก^-1·เค^-1
อุณหภูมิระเหิด	2,700 ℃
ความแข็งแรงของแรงดัดงอ	415 MPa RT 4 จุด
โมดูลัสของยัง	430 Gpa 4pt โค้งงอ 1300 ℃
การนำความร้อน	300W·ม^-1·เค^-1
การขยายความร้อน (CTE)	4.5×10-6K^-1

โครงสร้างคริสตัลฟิล์ม CVD SIC

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE

ตัวรับ Epi ที่เคลือบด้วยซิลิคอนคาร์ไบด์ ตัวพาเวเฟอร์เคลือบ SiC ฝาครอบดาวเทียมเคลือบ SiC สำหรับ MOCVD CVD SiC การเคลือบเวเฟอร์ Epi Susceptor องค์ประกอบความร้อนเคลือบ CVD SiC ผู้ให้บริการเวเฟอร์ดาวเทียม Aixtron ตัวรับ Epi เคลือบ SiC SiC เคลือบชิ้นส่วนกราไฟท์ฮาล์ฟมูน

CVD ซิลิคอนคาร์ไบด์ (SiC) เคลือบกราไฟท์ RTP RTA Carrier

ตัวพา RTP RTA ที่เคลือบด้วยกราไฟท์เคลือบ CVD CVD ของ VETEK CVD ได้รับการออกแบบมาเพื่อระบบการประมวลผลด้วยความร้อนอย่างรวดเร็ว (RTP) และระบบหลอมความร้อนอย่างรวดเร็ว (RTA) ที่ใช้ในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ ผลิตจากกราไฟท์ไอโซสแตติกที่มีความบริสุทธิ์สูงพร้อมการเคลือบ CVD SiC ที่หนาแน่น ให้ความเสถียรทางความร้อนที่โดดเด่น ความสม่ำเสมอของอุณหภูมิที่ดีเยี่ยม ความทนทานต่อสารเคมีที่เหนือกว่า และการสร้างอนุภาคต่ำเป็นพิเศษ ออกแบบมาเพื่อทนต่อรอบการให้ความร้อนและความเย็นอย่างรวดเร็วซ้ำๆ ตัวพาช่วยให้มั่นใจได้ถึงการรองรับแผ่นเวเฟอร์ที่เชื่อถือได้และประสิทธิภาพของกระบวนการที่มั่นคงสำหรับการอบอ่อนแผ่นเวเฟอร์ซิลิคอนและการใช้งานเซมิคอนดักเตอร์อุณหภูมิสูงอื่นๆ

ตัวรับ RTP ที่เคลือบด้วยซิลิคอนคาร์ไบด์ CVD (SiC)

ตัวรับ RTP ที่เคลือบ CVD SiC จาก VeTek Semiconductor ทำหน้าที่ประมวลผลด้วยความร้อนอย่างรวดเร็ว (RTP) และอุปกรณ์หลอมความร้อนอย่างรวดเร็ว (RTA) ที่ใช้ตลอดการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ วัสดุพิมพ์ถูกตัดเฉือนจากไอโซสแตติกกราไฟต์ที่มีความบริสุทธิ์สูง โดยมีชั้นซิลิคอนคาร์ไบด์ (SiC) CVD หนาแน่นทับอยู่ โครงสร้างนี้ให้ค่าการนำความร้อนสูง ความเฉื่อยทางเคมีที่แข็งแกร่ง และความเสถียรของมิติที่ยั่งยืนภายใต้การหมุนเวียนที่อุณหภูมิสูงซ้ำๆ

CVD ซิลิคอนคาร์ไบด์(SiC) หัวฝักบัวเคลือบกราไฟท์

หากคุณเคยเผชิญกับการไหลของก๊าซที่ไม่สม่ำเสมอหรือการปนเปื้อนของอนุภาคในห้องสะสม หัวฝักบัวกราไฟท์เคลือบ VETEK CVD SiC ได้รับการออกแบบมาเพื่อแก้ปัญหานั้น โดยเริ่มต้นด้วยกราไฟท์ไอโซสแตติกที่มีความบริสุทธิ์สูงเพื่อความเสถียรทางความร้อนและการตัดเฉือนที่ง่ายดาย จากนั้นจึงได้รับการเคลือบ CVD ซิลิคอนคาร์ไบด์ (SiC) หนาแน่นที่ผนึกพื้นผิว ต้านทานก๊าซที่มีฤทธิ์กัดกร่อน (เช่น HCl หรือ NF₃) และป้องกันการปล่อยก๊าซออกมา ผลลัพธ์ที่ได้คือแผ่นกระจายก๊าซที่ให้การไหลสม่ำเสมอทั่วทั้งแผ่นเวเฟอร์ จัดการกับเอพิแทกซีที่อุณหภูมิสูง และมีอายุการใช้งานยาวนานกว่ากราไฟต์เปลือยหรือควอตซ์อย่างมาก ทำให้เป็นส่วนประกอบที่เชื่อถือได้สำหรับกระบวนการ CVD, PECVD, MOCVD, ซิลิคอนเอพิแทกซี และ SiC เอพิแทกซี นอกจากนี้เรายังมีรูปแบบและขนาดรูแบบกำหนดเอง เนื่องจากไม่มีเครื่องปฏิกรณ์สองเครื่องที่เหมือนกันทุกประการ

วงแหวนโฟกัส SiC แบบทึบ

ออกแบบมาเพื่อล้อมรอบโซนการติดตามเวเฟอร์ Solid SiC Focus Ring ช่วยให้มั่นใจได้ถึงการกระจายพลาสมาเชิงเส้นและโปรไฟล์การกัดจากขอบถึงกึ่งกลางที่แม่นยำ ส่วนประกอบ β-SiC ระดับพรีเมียมเหล่านี้สร้างขึ้นโดย Vetek Semiconductor (Wuyi Tianyao New Material Technology Co., LTD) โดยใช้เทคโนโลยี Chemical Vapor Deposition (CVD) ที่เป็นเอกสิทธิ์ ด้วยการระเหยวัตถุดิบให้เป็นเมทริกซ์ที่มีความหนาแน่นและไม่มีสารยึดเกาะ Vetek จะกำจัดช่องว่างขนาดเล็กที่มีรูพรุนซึ่งพบได้ทั่วไปในวัสดุรุ่นเก่า เมื่อเปรียบเทียบกับการป้องกันควอตซ์หรือซิลิคอนมาตรฐาน ส่วนประกอบ CVD SiC ของเราทนทานต่อก๊าซฮาโลเจนที่มีฤทธิ์กัดกร่อนได้ดีกว่ามาก โดยปกป้องเวเฟอร์ในลอจิกต่ำกว่า 7 นาโนเมตรในระดับลึกและการผลิตชิปหน่วยความจำหนาแน่น รอคอยที่จะสอบถามรายละเอียดเพิ่มเติมของคุณ

AMAT 0200-03201 CVD SiC Wafer Lift Pin

AMAT 0200-03201 Wafer Lift Pin จาก VeTek นี้เริ่มต้นด้วยกราไฟท์ที่มีความบริสุทธิ์สูง จากนั้นเราจะเพิ่มการเคลือบ CVD SiC ที่มีความหนาแน่นสูงที่ด้านบน ผลิตขึ้นสำหรับระบบเอพิแทกซีขนาด 300 มม. และเครื่องปฏิกรณ์ Applied Materials EPI ทำไมต้องกราไฟท์และ SiC กราไฟท์ทนความร้อนได้ดีจริงๆ ชั้น SiC รับก๊าซที่มีฤทธิ์กัดกร่อนและไม่เสื่อมสภาพเร็ว การออกแบบผนังบาง? นั่นเพื่อการยกและวางตำแหน่งเวเฟอร์ที่สะอาดขึ้น อนุภาคน้อยลง และอายุการใช้งานของชิ้นส่วนยาวนานขึ้นภายใต้อุณหภูมิสูง นอกจากนี้เรายังสร้างชิ้นส่วนกราไฟท์เคลือบ SiC ที่คล้ายกันสำหรับระบบ ASM, Aixtron และ LPE รอคอยที่จะสอบถามของคุณ

ตัวพาเวเฟอร์สำหรับ VEECO MOCVD (LED Epitaxy)

Vetek Semiconductor ผลิตแผ่นเวเฟอร์สำหรับระบบ VEECO MOCVD ซึ่งสร้างขึ้นโดยเฉพาะสำหรับงาน LED epitaxy เช่น GaN LED, LED สีน้ำเงิน-เขียว และการเติบโตของ LED UV แบบลึก ตัวพาเหล่านี้เริ่มต้นด้วยกราไฟต์ที่มีความบริสุทธิ์สูงและได้รับการเคลือบซิลิคอนคาร์ไบด์ (SiC) CVD ที่มีความหนาแน่นสูง การรวมกันดังกล่าวสามารถทนทานได้ดีภายใต้อุณหภูมิสูงที่คุณเห็นใน MOCVD ซึ่งมีเสถียรภาพทางความร้อนที่ดี ทนต่อการกัดกร่อน และการเคลือบมีอายุการใช้งานยาวนาน