ผู้ให้บริการเวเฟอร์ดาวเทียม Aixtron

Aixtron Satellite Wafer Carrier เป็นส่วนหนึ่งของอุปกรณ์ Aixtron MOCVD ซึ่งใช้เป็นพิเศษเพื่อพกเวเฟอร์สำหรับการเติบโตของ epitaxial เหมาะอย่างยิ่งสำหรับไฟล์การเจริญเติบโตของ epitaxialกระบวนการของอุปกรณ์ GAN และ SILICON Carbide (SIC) การออกแบบ "ดาวเทียม" ที่เป็นเอกลักษณ์ของมันไม่เพียง แต่ช่วยให้มั่นใจได้ถึงความสม่ำเสมอของการไหลของก๊าซ แต่ยังช่วยเพิ่มความสม่ำเสมอของการสะสมของฟิล์มบนพื้นผิวเวเฟอร์

Aixtron'sผู้ให้บริการเวเฟอร์มักจะทำจากซิลิกอนคาร์ไบด์ (SIC)หรือกราไฟท์เคลือบ CVD ในหมู่พวกเขาซิลิคอนคาร์ไบด์ (SIC) มีค่าการนำความร้อนที่ยอดเยี่ยมความต้านทานอุณหภูมิสูงและค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อนต่ำ กราไฟท์เคลือบ CVD เป็นกราไฟท์ที่เคลือบด้วยฟิล์มซิลิกอนคาร์ไบด์ผ่านกระบวนการสะสมไอสารเคมี (CVD) ซึ่งสามารถเพิ่มความต้านทานการกัดกร่อนและความแข็งแรงเชิงกล วัสดุกราไฟท์ SIC และสารเคลือบสามารถทนต่ออุณหภูมิสูงถึง 1,400 ° C - 1,600 ° C และมีความเสถียรทางความร้อนที่ดีเยี่ยมที่อุณหภูมิสูงซึ่งเป็นสิ่งสำคัญสำหรับกระบวนการเจริญเติบโตของ epitaxial

ผู้ให้บริการเวเฟอร์ดาวเทียม Aixtron ส่วนใหญ่ใช้ในการพกพาและหมุนเวเฟอร์ในกระบวนการ MOCVDเพื่อให้แน่ใจว่าการไหลของก๊าซที่สม่ำเสมอและการสะสมที่สม่ำเสมอในระหว่างการเติบโตของ epitaxialฟังก์ชั่นเฉพาะมีดังนี้:

●การหมุนเวเฟอร์และการสะสมสม่ำเสมอ: ผ่านการหมุนของผู้ให้บริการดาวเทียม Aixtron เวเฟอร์สามารถรักษาการเคลื่อนไหวที่มั่นคงในระหว่างการเจริญเติบโตของ epitaxial ทำให้ก๊าซไหลอย่างสม่ำเสมอเหนือพื้นผิวเวเฟอร์เพื่อให้แน่ใจว่าการสะสมของวัสดุสม่ำเสมอ

●แบริ่งอุณหภูมิสูงและความเสถียร: วัสดุซิลิกอนคาร์ไบด์หรือวัสดุกราไฟท์เคลือบสามารถทนต่ออุณหภูมิสูงถึง 1,400 ° C - 1,600 ° C คุณลักษณะนี้ช่วยให้มั่นใจได้ว่าเวเฟอร์จะไม่เปลี่ยนรูปในระหว่างการเจริญเติบโตของ epitaxial อุณหภูมิสูงในขณะที่ป้องกันการขยายตัวทางความร้อนของผู้ให้บริการเองจากการส่งผลกระทบต่อกระบวนการ epitaxial

●ลดการสร้างอนุภาค: วัสดุพาหะคุณภาพสูง (เช่น SIC) มีพื้นผิวที่ราบรื่นซึ่งลดการสร้างอนุภาคในระหว่างการสะสมของไอซึ่งช่วยลดความเป็นไปได้ของการปนเปื้อนซึ่งเป็นสิ่งสำคัญสำหรับการผลิตวัสดุเซมิคอนดักเตอร์คุณภาพสูงที่มีคุณภาพสูง

ผู้ให้บริการเวเฟอร์ดาวเทียม Aixtron ของ Veteksemicon มีให้บริการในขนาด 100 มม., 150 มม., 200 มม. และขนาดใหญ่ขึ้นและสามารถให้บริการผลิตภัณฑ์ที่กำหนดเองตามความต้องการอุปกรณ์และกระบวนการของคุณ เราหวังเป็นอย่างยิ่งว่าจะได้เป็นหุ้นส่วนระยะยาวของคุณในประเทศจีน

ข้อมูล SEM ของโครงสร้างผลึกฟิล์ม CVD SIC：

Aixtron Satellite Wafer Carrier Productions: