พายเรือเท้าแขนความบริสุทธิ์สูง

Paddle Sic Cantilever ที่มีความบริสุทธิ์สูงเป็นองค์ประกอบสำคัญที่ใช้ในอุปกรณ์ประมวลผลเซมิคอนดักเตอร์ ผลิตภัณฑ์ทำจากวัสดุซิลิกอนคาร์ไบด์ที่มีความบริสุทธิ์สูง (SIC)  ลูกค้าสามารถเลือกวัสดุ SIC ที่ถูกเผาหรือวัสดุ SIC ที่ถูกนำกลับคืนมาได้อย่างอิสระ ด้วยความช่วยเหลือของลักษณะที่ยอดเยี่ยมของความบริสุทธิ์สูงความเสถียรทางความร้อนสูงและความต้านทานการกัดกร่อนจึงถูกนำมาใช้กันอย่างแพร่หลายในกระบวนการเช่นการถ่ายโอนเวเฟอร์การสนับสนุนและการประมวลผลอุณหภูมิสูง

พายเรือเท้าคานความบริสุทธิ์สูงมีบทบาทเฉพาะต่อไปนี้ในกระบวนการประมวลผลเซมิคอนดักเตอร์:

การโอนเวเฟอร์: พายเรือเท้าคานความบริสุทธิ์สูงมักใช้เป็นอุปกรณ์ถ่ายโอนเวเฟอร์ในการแพร่กระจายอุณหภูมิสูงหรือเตาหลอมออกซิเดชัน ความแข็งสูงของมันทำให้ทนต่อการสึกหรอและไม่ง่ายต่อการเปลี่ยนรูปในระหว่างการใช้งานระยะยาวและสามารถมั่นใจได้ว่าเวเฟอร์ยังคงอยู่ในตำแหน่งที่แม่นยำในระหว่างกระบวนการถ่ายโอน เมื่อรวมกับความต้านทานอุณหภูมิสูงและการกัดกร่อนสามารถถ่ายโอนเวเฟอร์เข้าและออกจากหลอดเตาในสภาพแวดล้อมที่อุณหภูมิสูงโดยไม่ทำให้เกิดการปนเปื้อนหรือความเสียหายต่อเวเฟอร์

การสนับสนุนเวเฟอร์: วัสดุ SIC มีค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อนต่ำซึ่งหมายความว่าขนาดของมันจะลดลงน้อยลงเมื่ออุณหภูมิเปลี่ยนแปลงซึ่งช่วยควบคุมการควบคุมที่แม่นยำในกระบวนการ ในการสะสมไอสารเคมี (CVD) หรือกระบวนการสะสมไอทางกายภาพ (PVD) การพายเรือคาน sic ถูกใช้เพื่อสนับสนุนและแก้ไขเวเฟอร์เพื่อให้แน่ใจว่าเวเฟอร์ยังคงมีเสถียรภาพและแบนในระหว่างกระบวนการสะสมซึ่งจะช่วยปรับปรุงความสม่ำเสมอและคุณภาพของฟิล์ม

การประยุกต์กระบวนการอุณหภูมิสูง: ไม้พาย sic Cantilever มีความเสถียรทางความร้อนที่ยอดเยี่ยมและสามารถทนต่ออุณหภูมิสูงถึง 1600 ° C ดังนั้นผลิตภัณฑ์นี้จึงถูกนำมาใช้กันอย่างแพร่หลายในการหลอมอุณหภูมิสูงออกซิเดชันการแพร่กระจายและกระบวนการอื่น ๆ

คุณสมบัติทางกายภาพขั้นพื้นฐานของพายเรือเท้าคานความบริสุทธิ์สูง:

พายเรือเท้าแขนความบริสุทธิ์สูงร้านค้า:

ภาพรวมของห่วงโซ่อุตสาหกรรมชิปชิปเซมิคอนดักเตอร์: