เรือเวเฟอร์ซิลิคอนคาร์ไบด์สำหรับเตาแนวนอน

เรือเวเฟอร์ซิลิคอนคาร์ไบด์คุณภาพสูงสำหรับเตาแนวนอนนำเสนอโดย VeTek Semiconductor ผู้ผลิตในจีน ซื้อเรือเวเฟอร์ซิลิคอนคาร์ไบด์สำหรับเตาแนวนอนซึ่งมีคุณภาพสูงโดยตรงจากโรงงานในราคาต่ำ เรือเวเฟอร์ซิลิคอนคาร์ไบด์สำหรับเตาแนวนอนใช้ในท่อเตาเผาสำหรับการโหลดและถ่ายโอนเวเฟอร์ระหว่างการบำบัดที่อุณหภูมิสูง เนื่องจากคุณสมบัติที่ดีเยี่ยมของวัสดุซิลิกอนคาร์ไบด์ เช่น ทนต่ออุณหภูมิสูง ทนต่อการกัดกร่อนของสารเคมี และเสถียรภาพทางความร้อน จึงมีการใช้กันอย่างแพร่หลายในกระบวนการบำบัดความร้อนต่างๆ เช่น การแพร่กระจาย ออกซิเดชัน CVD และการอบอ่อน

เรือเวเฟอร์ซิลิคอนคาร์ไบด์สำหรับเตาแนวนอนทำจากวัสดุซิลิกอนคาร์ไบด์และมีลักษณะดังต่อไปนี้:

1. มีความแข็งและทนต่อการสึกหรอสูง: ซิลิคอนคาร์ไบด์มีความแข็งรองจากเพชรเท่านั้น ทำให้ทนทานต่อการสึกหรอได้สูง ช่วยให้เรือซิลิกอนคาร์ไบด์ทนต่อแรงกระแทกและแรงเสียดทานทางกลซ้ำๆ ได้ ช่วยยืดอายุการใช้งาน

2. ทนต่ออุณหภูมิสูง: ซิลิคอนคาร์ไบด์มีจุดหลอมเหลวที่ 2,730°C ทำให้เรือซิลิคอนคาร์ไบด์เหมาะสำหรับสภาพแวดล้อมที่มีอุณหภูมิสูงและกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ต่างๆ เช่น การออกซิเดชันและการแพร่กระจายที่อุณหภูมิสูง

3. ค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวเนื่องจากความร้อนต่ำ: ซิลิคอนคาร์ไบด์มีค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวเนื่องจากความร้อนต่ำ ซึ่งช่วยรักษาความเสถียรของมิติที่อุณหภูมิสูง ป้องกันการเสียรูปของเรือ และส่งผลต่อความแม่นยำในการประมวลผลของแผ่นเวเฟอร์

4. ความเสถียรทางเคมีที่ดี: ซิลิคอนคาร์ไบด์ทนทานต่อสารเคมีส่วนใหญ่และไม่ทำปฏิกิริยากับสารละลายกรดและด่างทั่วไป จึงมั่นใจในความปลอดภัยและความสะอาดของเวเฟอร์

เราสามารถผลิตเรือเวเฟอร์ซิลิคอนคาร์ไบด์ประเภทต่างๆ ได้ เช่น เรือเวเฟอร์แนวนอน เรือเวเฟอร์แนวตั้ง และเรือที่กำหนดเองอื่นๆ

เราใช้ซิลิกอนคาร์ไบด์ตกผลึกที่มีความบริสุทธิ์สูงโดยมีพารามิเตอร์ด้านล่าง:

การใช้งาน

เรือเวเฟอร์ซิลิคอนคาร์ไบด์สำหรับเตาเผาแนวนอนพบการใช้งานที่หลากหลายในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์และไฟฟ้าโซลาร์เซลล์:

การทำความสะอาดและการแกะสลักแผ่นเวเฟอร์

การแพร่กระจายและออกซิเดชัน

การชุบด้วยไฟฟ้าและการแกะสลัก

การขัดเงาด้วยสารเคมี (CMP)

การรักษาความร้อน

การถ่ายโอนและการเก็บรักษาเวเฟอร์

ร้านผลิตเซมิคอนดักเตอร์ VeTek：