วัสดุและการออกแบบ

การเลือกวัสดุพิมพ์และการผสมการเคลือบที่เข้ากันเป็นกุญแจสำคัญในการป้องกันความล้มเหลวของส่วนประกอบก่อนเวลาอันควร ลดการปนเปื้อนของอนุภาค และเพิ่มผลผลิตเวเฟอร์สูงสุด เรามอบโซลูชันการออกแบบวัสดุและโครงสร้างที่ปรับให้เหมาะสมตามกรอบเวลากระบวนการเฉพาะของลูกค้า (อุณหภูมิในการทำงาน เคมีของก๊าซปฏิกิริยา อัตราทางลาด)

ความสามารถในการออกแบบหลักของเรา:

การจับคู่ความเครียด CTE ที่เข้มงวด:สำหรับการหมุนเวียนความร้อนอย่างรวดเร็ว (>100 °C/นาที) เราจะจับคู่กราฟอุณหภูมิ CTE ของซับสเตรตกราไฟท์ที่มีความบริสุทธิ์สูงและการเคลือบ CVD อย่างแม่นยำ ซึ่งจะช่วยลดความเสี่ยงเบื้องต้นของการหลุดล่อนของสารเคลือบและการแตกร้าวระดับไมโคร
การเลือกการเคลือบเฉพาะสถานการณ์ตามกระบวนการ:การเคลือบ CVD SiC สำหรับ Si/SiC epitaxy (Epi), MOCVD และสภาพแวดล้อมการกัดด้วยพลาสมา การเคลือบ CVD TaC สำหรับสภาวะที่มีอุณหภูมิสูงกว่าและมีการกัดกร่อนอย่างรุนแรง (เช่น การเติบโตของ PVT ผลึกเดี่ยว SiC)
การเพิ่มประสิทธิภาพความต้านทานและการนำความร้อนที่ควบคุมได้:การควบคุมที่แม่นยำของความต้านทานรวมและการนำความร้อนของซับสเตรตและการเคลือบ เพื่อตอบสนองข้อกำหนดทางไฟฟ้าและสนามความร้อนเฉพาะของหัวจับไฟฟ้าสถิต RF, ESC หรือโซนทำความร้อน
การควบคุมแหล่งที่มาของการปนเปื้อนและการลด CoO:ชั้นสะสม CVD ที่มีความบริสุทธิ์สูงจะผนึกกราไฟท์ที่มีรูพรุนอย่างหนาแน่น ลดการหลุดออกของอนุภาคได้อย่างมาก การแพร่กระจายของสิ่งเจือปนของโลหะพิเศษ และความเสี่ยงจากการปล่อยก๊าซที่อุณหภูมิสูง

การเปรียบเทียบการเลือกการเคลือบโดยทั่วไป (คำแนะนำโดยย่อ)

การเคลือบผิว	ทิศทางการใช้งานทั่วไป	ข้อดีหลัก
ซีวีดี SiC	Si/SiC epitaxy (Epi), MOCVD, การกัดพลาสมาบางส่วน	มีความบริสุทธิ์สูง มีเสถียรภาพทางความร้อนที่ดี ทนต่อการกัดกร่อนของสารเคมี คุ้มค่าต่อต้นทุนโดยรวมสูง
CVD TaC	การเติบโตผลึกเดี่ยว SiC อุณหภูมิสูง (PVT) ส่วนประกอบรับน้ำหนักที่อุณหภูมิสูงมาก	ระดับอุณหภูมิที่สูงขึ้น (>1600 °C) ทนทานต่อการกัดกร่อนสูง ต้านทานการเกิดออกซิเดชันได้ดีเยี่ยม

กรณีจริงและผลประโยชน์ของลูกค้า (ประสบการณ์):

ผู้ผลิต SiC epitaxy (Epi) ชั้นนำ:ส่วนประกอบดั้งเดิมใช้การเคลือบ CVD TaC ที่ไม่ตรงกัน ส่งผลให้เกิดความเครียดที่พื้นผิวมากเกินไป และรอยแตกขนาดเล็กบ่อยครั้งที่อุณหภูมิสูง เราทำการจำลองทางอุณหพลศาสตร์อีกครั้งและเปลี่ยนไปใช้ aสารตั้งต้นกราไฟท์ที่มีความบริสุทธิ์สูงชนิดพิเศษที่จับคู่ด้วย CTE + ชั้นบัฟเฟอร์ + การเคลือบ ซีวีดี SiCสารละลาย. ผลลัพธ์: อายุการใช้งานส่วนประกอบโดยเฉลี่ยเพิ่มขึ้นจาก 200 ชั่วโมงเป็น 850 ชั่วโมง ความถี่ในการเปลี่ยนต่อปีต่อเครื่องมือลดลงจาก 40 เป็น 9 ครั้ง ประหยัดต้นทุน O&M ของอุปกรณ์แบบครบวงจรได้เกิน 650,000 หยวนต่อปี

GDMS purity analysis report for TaC coating

GDMS purity analysis report for SiC coating

รายงานการวิเคราะห์ความบริสุทธิ์ GDMS สำหรับการเคลือบ TaC และ SiC

คำถามที่พบบ่อย

1. ถาม: ฉันควรเลือกระหว่างการเคลือบ CVD SiC และการเคลือบ CVD TaC อย่างไร

▼

ตอบ:ดูอุณหภูมิกระบวนการและความเข้มข้นของการกัดกร่อนในเฟสก๊าซของคุณ หากอุณหภูมิกระบวนการต่ำกว่า 1000 °C และส่วนใหญ่เกี่ยวข้องกับการกัดด้วย Cl₂/F₂ หรือการกัดผิวแบบธรรมดา ให้เลือกซีวีดี SiCเพื่อประสิทธิภาพด้านต้นทุนที่ดีที่สุด หากอุณหภูมิกระบวนการสูงกว่า 1200 °C และเกี่ยวข้องกับบรรยากาศที่มีการกัดกร่อนอย่างรุนแรง (เช่น การเติบโตของผลึกเดี่ยว SiC PVT) เราขอแนะนำCVD TaCซึ่งมีความทนทานต่ออุณหภูมิและการกัดกร่อนที่เหนือกว่า เราสามารถจัดทำรายงานคำแนะนำการเลือกฟรีตามพารามิเตอร์กระบวนการเฉพาะของคุณ

2. ถาม: คุณรองรับการสร้างต้นแบบชิ้นเดียว / ชุดเล็กหรือไม่? ระยะเวลารอคอยคืออะไร?

▼

ตอบ:ใช่! สำหรับต้นแบบวิศวกรรมย้อนกลับขั้นต่ำคือ 1 ชิ้น. สำหรับชิ้นส่วนธรรมดาทั่วไป ตั้งแต่การรับตัวอย่างไปจนถึงการส่งมอบชิ้นส่วนที่แมป ระยะเวลาดำเนินการที่เร็วที่สุดคือโดยประมาณ10–15 วันทำการ; สำหรับชิ้นส่วนที่เกี่ยวข้องกับกระบวนการเคลือบที่ซับซ้อนจะอยู่ที่ประมาณ20–25 วันทำการ. ติดต่อวิศวกรของเราเพื่อการประเมินที่รวดเร็ว

3. ถาม: อะไรเป็นสาเหตุให้เกิดการหลุดร่อนของการเคลือบ CVD บนชิ้นส่วนกราไฟท์ระหว่างการใช้งาน จะแก้ได้ไหม?

▼

ตอบ:90% ของการแยกชั้นเกิดจากการไม่ตรงกันระหว่างค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อน (CTE) ของซับสเตรตกราไฟท์และการเคลือบ ซึ่งนำไปสู่การหลุดลอกเมื่อล้าภายใต้การให้ความร้อน/ความเย็นอย่างรวดเร็ว วิธีแก้ปัญหาของเรา: ขั้นแรกให้วัดเส้นโค้ง CTE ของชิ้นส่วนเดิมของคุณอย่างแม่นยำ จากนั้นจึงปรับความหนาแน่นของพื้นผิวและการไล่ระดับอุณหภูมิการสะสมเป็นพิเศษ เพื่อให้ CTE ทั้งสองเข้ากันได้สูง สามารถปรับปรุงความแข็งแรงของพันธะได้มากกว่า1.5 เท่าระดับทั่วไปของอุตสาหกรรม

4. ถาม: คุณสามารถให้ CoA (ใบรับรองการวิเคราะห์) สำหรับผลิตภัณฑ์ได้หรือไม่? ประกอบด้วยข้อมูลอะไรบ้าง?

▼

ตอบ:สินค้าที่จัดส่งทุกชิ้นมีมาตรฐานด้วยหมายเลขซีเรียลเฉพาะ + รายงาน CoA ฉบับเต็ม. รายงานประกอบด้วย: ข้อมูลการตรวจสอบ CMM มิติที่สำคัญ แผนที่การกระจายความหนาของชั้นเคลือบแบบหลายจุด ค่าความหยาบพื้นผิว (Ra) และข้อสรุปการวิเคราะห์ความบริสุทธิ์ของวัสดุ (GDMS)