ตัวรับกราไฟท์เคลือบ SiC สำหรับ ASM

ข้อมูลผลิตภัณฑ์ทั่วไป

เงื่อนไขทางธุรกิจผลิตภัณฑ์

✔ใบสมัคร: ซับสเตรตกราไฟท์เคลือบ Veteksemicon SiC เป็นวัสดุสิ้นเปลืองหลักสำหรับอุปกรณ์เอพิแทกเซียลซีรีส์ ASM รองรับเวเฟอร์โดยตรงและให้สนามความร้อนที่สม่ำเสมอและเสถียรในระหว่างการเอพิแทกซีที่มีอุณหภูมิสูง ทำให้เป็นองค์ประกอบหลักในการรับประกันการเติบโตคุณภาพสูงของวัสดุเซมิคอนดักเตอร์ขั้นสูง เช่น GaN และ SiC

✔บริการที่สามารถให้ได้: การวิเคราะห์สถานการณ์การใช้งานของลูกค้า การจับคู่วัสดุ การแก้ปัญหาทางเทคนิค 

✔ประวัติบริษัท：Veteksemicon มีห้องปฏิบัติการ 2 แห่ง ซึ่งเป็นทีมผู้เชี่ยวชาญที่มีประสบการณ์ด้านวัสดุมาเป็นเวลา 20 ปี พร้อมด้วยความสามารถในการวิจัยและพัฒนา การผลิต การทดสอบ และการตรวจสอบ

พารามิเตอร์ทางเทคนิค

ตัวรับกราไฟท์เคลือบ Veteksemicon SiC สำหรับข้อดีหลัก ASM

1. ความบริสุทธิ์สูงและอัตราข้อบกพร่องต่ำ

การใช้ซับสเตรตกราไฟท์พิเศษเกรดอนุภาคละเอียดที่มีความบริสุทธิ์สูง ผสมผสานกับกระบวนการเคลือบไอสารเคมี (CVD) ที่มีการควบคุมอย่างเข้มงวด เรารับประกันว่าการเคลือบมีความหนาแน่น ปราศจากรูเข็ม และปราศจากสิ่งเจือปน ซึ่งช่วยลดความเสี่ยงของการปนเปื้อนของอนุภาคในระหว่างกระบวนการเอพิแทกเซียลได้อย่างมาก โดยให้สภาพแวดล้อมของซับสเตรตที่สะอาดสำหรับการเติบโตของชั้นเอพิแอกเชียลคุณภาพสูง

2. ทนต่อการกัดกร่อนและทนต่อการสึกหรอได้ดีเยี่ยม

การเคลือบไพโรไลติกซิลิคอนคาร์ไบด์มีความแข็งและความเฉื่อยทางเคมีสูงมาก ต้านทานการกัดกร่อนของแหล่งซิลิคอน (เช่น SiH4, SiHCl3) แหล่งคาร์บอน (เช่น C3H8) และก๊าซกัดกร่อน (เช่น HCl, H2) ที่อุณหภูมิสูงได้อย่างมีประสิทธิภาพ ซึ่งช่วยขยายรอบการบำรุงรักษาฐานได้อย่างมาก และลดเวลาหยุดทำงานของเครื่องจักรที่เกิดจากการเปลี่ยนส่วนประกอบ

3. ความสม่ำเสมอทางความร้อนและเสถียรภาพที่ดีเยี่ยม

เราปรับการกระจายสนามความร้อนให้เหมาะสมภายในช่วงอุณหภูมิการทำงานผ่านการออกแบบโครงสร้างพื้นผิวที่แม่นยำและการควบคุมความหนาของชั้นเคลือบ สิ่งนี้แปลโดยตรงเป็นความหนาและความสม่ำเสมอของความต้านทานที่ดีเยี่ยมในเวเฟอร์เอพิแทกเซียล ซึ่งส่งผลให้ผลผลิตการผลิตชิปดีขึ้น

4. มีความแข็งแรงในการยึดเกาะของสารเคลือบได้ดีเยี่ยม

การปรับสภาพพื้นผิวล่วงหน้าและเทคโนโลยีการเคลือบแบบไล่ระดับช่วยให้การเคลือบซิลิกอนคาร์ไบด์สร้างชั้นพันธะที่แข็งแกร่งกับซับสเตรตกราไฟท์ ป้องกันปัญหาการลอก หลุดล่อน หรือการแตกร้าวของสารเคลือบที่อาจเกิดขึ้นในระหว่างการหมุนเวียนด้วยความร้อนในระยะยาวได้อย่างมีประสิทธิภาพ

5. ขนาดที่แม่นยำและการจำลองแบบโครงสร้าง

เรามีความสามารถในการตัดเฉือน CNC และการทดสอบที่ครบถ้วน ทำให้เราสามารถจำลองรูปทรงที่ซับซ้อน ขนาดช่อง และส่วนเชื่อมต่อการติดตั้งของฐานเดิมได้อย่างสมบูรณ์ ทำให้มั่นใจได้ถึงการจับคู่ที่สมบูรณ์แบบและฟังก์ชัน Plug-and-Play กับแพลตฟอร์มของลูกค้า

6. การรับรองการตรวจสอบห่วงโซ่ทางนิเวศวิทยา

ตัวรับกราไฟท์เคลือบ Veteksemicon SiC สำหรับการตรวจสอบห่วงโซ่ทางนิเวศของ ASM ครอบคลุมถึงวัตถุดิบจนถึงการผลิต ผ่านการรับรองมาตรฐานสากล และมีเทคโนโลยีที่ได้รับการจดสิทธิบัตรมากมายเพื่อให้มั่นใจในความน่าเชื่อถือและความยั่งยืนในสาขาเซมิคอนดักเตอร์และพลังงานใหม่

สำหรับข้อกำหนดทางเทคนิคโดยละเอียด เอกสารไวท์เปเปอร์ หรือการเตรียมการทดสอบตัวอย่าง โปรดติดต่อทีมสนับสนุนทางเทคนิคของเราเพื่อสำรวจว่า Veteksemicon สามารถเพิ่มประสิทธิภาพกระบวนการของคุณได้อย่างไร

ฟิลด์แอปพลิเคชันหลัก

ร้านผลิตภัณฑ์วีเทคเซมิคอน