คิวอาร์โค้ด
เกี่ยวกับเรา
สินค้า
ติดต่อเรา

โทรศัพท์

แฟกซ์
+86-579-87223657

อีเมล

ที่อยู่
ถนน Wangda, ถนน Ziyang, เขต Wuyi, เมือง Jinhua, จังหวัดเจ้อเจียง, จีน
VeTek Semiconductor เชี่ยวชาญในการผลิตผลิตภัณฑ์เคลือบซิลิคอนคาร์ไบด์บริสุทธิ์พิเศษ สารเคลือบเหล่านี้ได้รับการออกแบบมาเพื่อใช้กับกราไฟท์บริสุทธิ์ เซรามิก และส่วนประกอบโลหะทนไฟ
การเคลือบที่มีความบริสุทธิ์สูงของเรามีเป้าหมายหลักเพื่อใช้ในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์และอิเล็กทรอนิกส์ ทำหน้าที่เป็นชั้นป้องกันสำหรับพาหะเวเฟอร์ ตัวรับ และองค์ประกอบความร้อน ปกป้องจากสภาพแวดล้อมที่มีฤทธิ์กัดกร่อนและเกิดปฏิกิริยาที่พบในกระบวนการ เช่น MOCVD และ EPI กระบวนการเหล่านี้เป็นส่วนสำคัญในการประมวลผลเวเฟอร์และการผลิตอุปกรณ์ นอกจากนี้ การเคลือบของเรายังเหมาะอย่างยิ่งสำหรับการใช้งานในเตาสุญญากาศและการทำความร้อนตัวอย่าง ซึ่งต้องเผชิญกับสภาพแวดล้อมที่เป็นสุญญากาศ ปฏิกิริยา และออกซิเจนสูง
ที่ VeTek Semiconductor เรานำเสนอโซลูชันที่ครอบคลุมพร้อมความสามารถของร้านขายเครื่องจักรขั้นสูงของเรา ซึ่งช่วยให้เราสามารถผลิตส่วนประกอบพื้นฐานโดยใช้กราไฟท์ เซรามิก หรือโลหะทนไฟ และใช้การเคลือบเซรามิก SiC หรือ TaC ภายในบริษัทได้ นอกจากนี้เรายังให้บริการเคลือบชิ้นส่วนที่ลูกค้าจัดหามา เพื่อให้มั่นใจว่ามีความยืดหยุ่นในการตอบสนองความต้องการที่หลากหลาย
ผลิตภัณฑ์เคลือบซิลิคอนคาร์ไบด์ของเราถูกนำมาใช้กันอย่างแพร่หลายใน Si epitaxy, SiC epitaxy, ระบบ MOCVD, กระบวนการ RTP/RTA, กระบวนการแกะสลัก, กระบวนการแกะสลัก ICP/PSS, กระบวนการของ LED ประเภทต่างๆ รวมถึง LED สีน้ำเงินและสีเขียว, UV LED และ Deep-UV LED ฯลฯ ซึ่งปรับให้เข้ากับอุปกรณ์จาก LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI และอื่นๆ
| คุณสมบัติทางกายภาพพื้นฐานของการเคลือบ CVD SiC | |
| คุณสมบัติ | ค่าทั่วไป |
| โครงสร้างคริสตัล | โพลีคริสตัลไลน์เฟส FCC β ส่วนใหญ่เน้น (111) |
| ความหนาแน่นของการเคลือบ SiC | 3.21 ก./ซม.³ |
| การเคลือบ SiCความแข็ง | ความแข็ง 2,500 วิกเกอร์ส (โหลด 500 กรัม) |
| เกรน SiZe | 2~10ไมโครเมตร |
| ความบริสุทธิ์ของสารเคมี | 99.99995% |
| ความจุความร้อน | 640 เจ·กก-1·เค-1 |
| อุณหภูมิระเหิด | 2,700 ℃ |
| ความแข็งแรงของแรงดัดงอ | 415 MPa RT 4 จุด |
| โมดูลัสของยัง | 430 Gpa 4pt โค้งงอ 1300 ℃ |
| การนำความร้อน | 300W·ม-1·เค-1 |
| การขยายความร้อน (CTE) | 4.5×10-6K-1 |








+86-579-87223657


ถนน Wangda, ถนน Ziyang, เขต Wuyi, เมือง Jinhua, จังหวัดเจ้อเจียง, จีน
ลิขสิทธิ์ © 2024 VeTek Semiconductor Technology Co., Ltd. สงวนลิขสิทธิ์
Links | Sitemap | RSS | XML | Privacy Policy |
