SIC เคลือบดาวเคราะห์

SIC Coated Planetary Vexceptor เป็นผู้ให้บริการดาวเคราะห์ที่เคลือบด้วยซิลิกอนคาร์ไบด์ (SIC)ซึ่งส่วนใหญ่จะใช้ในกระบวนการสะสมวัสดุเซมิคอนดักเตอร์เช่นการสะสมไอสารเคมีอินทรีย์ (MOCVD), epitaxy ลำแสงโมเลกุล (MBE) ฯลฯ ฟังก์ชั่นหลักคือการพกพาและหมุนเวเฟอร์เพื่อให้แน่ใจว่าวัสดุสม่ำเสมอ ฟังก์ชั่นหลักของมันคือการพกพาและหมุนเวเฟอร์เพื่อให้แน่ใจว่าวัสดุสม่ำเสมอและความสอดคล้องของสนามความร้อนในระหว่างการสะสมและการเคลือบ SIC ให้ผู้ให้บริการที่มีความต้านทานอุณหภูมิสูงที่ยอดเยี่ยมความต้านทานการกัดกร่อนและการนำความร้อนสำหรับเซมิคอนดักเตอร์ที่มีความแม่นยำสูงเวเฟอร์กำลังประมวลผล.

สถานการณ์แอปพลิเคชันหลักสำหรับ SIC เคลือบดาวเคราะห์

กระบวนการเติบโตของ epitaxial MOCVD

ในกระบวนการ MOCVD ไวรัส SIC ที่เคลือบด้วย SIC ส่วนใหญ่จะใช้ในการพกเวเฟอร์ของซิลิกอน (SI), ซิลิกอนคาร์ไบด์ (SIC), แกลเลียมไนไตรด์ (GAN), แกลเลียมอาร์เซซินด์ (GAAS) และวัสดุอื่น ๆ

● ข้อกำหนดการทำงาน: การวางตำแหน่งที่แม่นยำและการหมุนของเวเฟอร์แบบซิงโครไนซ์เพื่อให้แน่ใจว่าการกระจายของวัสดุที่มีไอระเหยที่สม่ำเสมอบนพื้นผิวเวเฟอร์และเพิ่มความสม่ำเสมอของความหนาและองค์ประกอบของฟิล์ม

● ข้อได้เปรียบ: การเคลือบ SIC นั้นทนต่อการกัดกร่อนสูงและสามารถทนต่อการกัดเซาะของสารตั้งต้นโลหะอินทรีย์ที่มีปฏิกิริยาสูงเช่น Trimethylgallium (TMGA) และ Trimethylindium (TMIN) ยืดอายุการใช้งาน

การผลิตอุปกรณ์พลังงานซิลิคอนคาร์ไบด์ (SIC)

SIC Coated Planetary Veperceptor นั้นใช้กันอย่างแพร่หลายในการเจริญเติบโตของ epitaxial ของอุปกรณ์พลังงาน SIC เช่น MOSFET, IGBT, SBD และอุปกรณ์อื่น ๆ

● ข้อกำหนดการทำงาน: จัดเตรียมแพลตฟอร์มการปรับสมดุลความร้อนที่มั่นคงในสภาพแวดล้อมที่อุณหภูมิสูงเพื่อให้แน่ใจว่าคุณภาพการตกผลึกของชั้น epitaxial และการควบคุมข้อบกพร่อง

● ข้อได้เปรียบ: การเคลือบ SIC ทนทานต่ออุณหภูมิสูง (> 1600 ° C) และมีค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อน (4.0 × 10^-6 K^-1) ใกล้กับเวเฟอร์ซิลิกอนคาร์ไบด์ซึ่งช่วยลดความเครียดจากความร้อนและปรับปรุงคุณภาพและความเสถียรของชั้น epitaxial

อัลตราไวโอเลตลึก (DUV) และการผลิต Epitaxial LED อัลตราไวโอเลต

SIC Coated Planetary Veperceptor เหมาะสำหรับการเจริญเติบโตของวัสดุเช่นแกลเลียมไนไตรด์ (GAN) และอลูมิเนียมแกลเลียมไนไตรด์ (ALGAN) และใช้กันอย่างแพร่หลายในการผลิต UV-LEDS และ LED ไมโคร

● ข้อกำหนดการทำงาน: รักษาการควบคุมอุณหภูมิที่แม่นยำและการกระจายการไหลของอากาศที่สม่ำเสมอเพื่อให้แน่ใจว่ามีความแม่นยำของความยาวคลื่นและประสิทธิภาพของอุปกรณ์

● ข้อได้เปรียบ: ค่าการนำความร้อนสูงและความต้านทานต่อการออกซิเดชั่นช่วยให้มีความเสถียรที่ดีเยี่ยมที่อุณหภูมิสูงในระยะเวลาการทำงานเป็นเวลานานช่วยปรับปรุงประสิทธิภาพการส่องสว่างและความสอดคล้องของชิป LED

เลือก vekemicon

Veteksemicon sic sic -coated planetary vensceptor ได้แสดงให้เห็นถึงข้อได้เปรียบที่ไม่สามารถถูกแทนที่ได้ในอุณหภูมิสูงสภาพแวดล้อมการผลิตเซมิคอนดักเตอร์กัดกร่อนผ่านคุณสมบัติวัสดุที่เป็นเอกลักษณ์และการออกแบบเชิงกล และผลิตภัณฑ์ไวรัสดาวเคราะห์หลักของเราคือ SIC Coated Planetary VexceptorALD Planetary Vexceptor, TAC การเคลือบดาวเคราะห์และอื่น ๆ ในเวลาเดียวกัน Veteksemicon มุ่งมั่นที่จะให้บริการผลิตภัณฑ์และบริการทางเทคนิคที่กำหนดเองให้กับอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ เราหวังเป็นอย่างยิ่งว่าจะได้เป็นหุ้นส่วนระยะยาวของคุณในประเทศจีน