SiC เคลือบชิ้นส่วนกราไฟท์ฮาล์ฟมูน

ในห้องปฏิกิริยาของเตาหลอมการเจริญเติบโตของ sic epitaxial ชิ้นส่วนกราไฟท์ Halfmoon เคลือบ SIC เป็นองค์ประกอบสำคัญสำหรับการเพิ่มประสิทธิภาพการกระจายการไหลของก๊าซการควบคุมสนามความร้อนและความสม่ำเสมอของบรรยากาศ พวกเขามักจะทำจากการเคลือบ sicกราไฟท์ออกแบบเป็นรูปพระจันทร์ครึ่งเสี้ยว ซึ่งอยู่ในส่วนกราไฟท์ด้านบนและด้านล่างของห้องปฏิกิริยา รอบๆ พื้นที่ซับสเตรต

    -ส่วนกราไฟท์ฮาล์ฟมูนตอนบน: ติดตั้งในส่วนบนของห้องปฏิกิริยาใกล้กับทางเข้าก๊าซซึ่งรับผิดชอบในการชี้นำก๊าซปฏิกิริยาที่จะไหลไปยังพื้นผิวพื้นผิว

    -ส่วนล่างของกราไฟท์ Halfmoon: ตั้งอยู่ที่ด้านล่างของห้องปฏิกิริยามักจะอยู่ใต้ตัวยึดพื้นผิวที่ใช้ในการควบคุมทิศทางการไหลของก๊าซและเพิ่มประสิทธิภาพสนามความร้อนและการกระจายก๊าซที่ด้านล่างของพื้นผิว

ในระหว่างกระบวนการ epitaxy sicส่วนกราไฟท์พระจันทร์ครึ่งเสี้ยวด้านบนช่วยนำทางการไหลของก๊าซให้กระจายอย่างเท่าเทียมกันบนซับสเตรต ป้องกันไม่ให้ก๊าซกระทบโดยตรงกับพื้นผิวซับสเตรต และทำให้เกิดความร้อนสูงเกินไปหรือกระแสลมปั่นป่วนในท้องถิ่น ส่วนกราไฟท์พระจันทร์ครึ่งเสี้ยวด้านล่างช่วยให้ก๊าซไหลได้อย่างราบรื่นผ่านซับสเตรต จากนั้นจึงระบายออก ขณะเดียวกันก็ป้องกันไม่ให้ความปั่นป่วนส่งผลต่อความสม่ำเสมอในการเติบโตของชั้นเอพิเทเชียล

ในแง่ของการควบคุมสนามความร้อนชิ้นส่วนกราไฟท์ Halfmoon Coating Halfmoon ช่วยกระจายความร้อนในห้องปฏิกิริยาผ่านรูปร่างและตำแหน่งอย่างสม่ำเสมอ ส่วนของกราไฟท์ Halfmoon สามารถสะท้อนความร้อนจากรังสีของฮีตเตอร์ได้อย่างมีประสิทธิภาพเพื่อให้แน่ใจว่าอุณหภูมิสูงกว่าพื้นผิวมีความเสถียร ส่วนกราไฟท์ครึ่งมูนที่ต่ำกว่ายังมีบทบาทคล้ายกันช่วยกระจายความร้อนต่ำกว่าพื้นผิวผ่านการนำความร้อนเพื่อป้องกันความแตกต่างของอุณหภูมิที่มากเกินไป

การเคลือบ SIC ทำให้ส่วนประกอบทนต่ออุณหภูมิสูงและนำไฟฟ้าด้วยความร้อนดังนั้นชิ้นส่วนครึ่งมูนของ Vetek Semiconductor จึงมีอายุการใช้งานที่ยาวนาน ออกแบบอย่างระมัดระวังชิ้นส่วนกราไฟท์ครึ่งดวงจันทร์ของเราสำหรับ sic epitaxy สามารถรวมเข้ากับเครื่องปฏิกรณ์ epitaxial ได้อย่างราบรื่นช่วยปรับปรุงประสิทธิภาพโดยรวมและความน่าเชื่อถือของกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ ไม่ว่าชิ้นส่วนกราไฟท์ Halfmoon ของ SIC จะต้องการอะไรโปรดติดต่อ Vetek Semiconductor

น้ำทะเลร้านขายชิ้นส่วนกราไฟท์เคลือบ SiC ฮาล์ฟมูน: