MOCVD ตัวรับเคลือบ SiC

พารามิเตอร์ทางเทคนิค

โครงสร้างคริสตัลฟิล์ม CVD SIC

ความหมายและองค์ประกอบของผลิตภัณฑ์

VETEK MOCVD SiC Coated Susceptor เป็นส่วนประกอบที่รองรับเวเฟอร์ระดับพรีเมียม ซึ่งออกแบบมาโดยเฉพาะสำหรับการประมวลผลเอพิแทกเซียลของเซมิคอนดักเตอร์รุ่นที่สาม เช่น GaN และ SiC ผลิตภัณฑ์นี้รวมคุณสมบัติทางกายภาพที่เหนือกว่าของวัสดุประสิทธิภาพสูงสองชนิดเข้าด้วยกัน:

พื้นผิวกราไฟท์ที่มีความบริสุทธิ์สูง: ผลิตโดยใช้เทคโนโลยีการกดแบบไอโซสแตติกเพื่อให้แน่ใจว่าวัสดุฐานมีความสมบูรณ์ของโครงสร้างที่ยอดเยี่ยม มีความหนาแน่นสูง และมีเสถียรภาพในการประมวลผลด้วยความร้อน

การเคลือบ CVD SiC: ชั้นป้องกันซิลิคอนคาร์ไบด์ (SiC) หนาแน่นและปราศจากความเครียดถูกสร้างขึ้นบนพื้นผิวกราไฟท์ผ่านเทคโนโลยีการสะสมไอสารเคมี (CVD) ขั้นสูง

เหตุใด VETEK จึงเป็นการรับประกันผลตอบแทนของคุณ

ความแม่นยำสูงสุดในการควบคุมความสม่ำเสมอของความร้อน: แตกต่างจากตัวพาแบบทั่วไป ตัวรับ VETEK บรรลุการถ่ายเทความร้อนที่มีการซิงโครไนซ์สูงทั่วทั้งพื้นผิวผ่านการควบคุมความแม่นยำระดับนาโนเมตรของความหนาของสารเคลือบและความต้านทานความร้อน การจัดการระบายความร้อนที่ซับซ้อนนี้ช่วยลดค่าเบี่ยงเบนมาตรฐานความยาวคลื่น (STD) บนพื้นผิวเวเฟอร์ได้อย่างมีประสิทธิภาพ ช่วยเพิ่มคุณภาพเวเฟอร์เดี่ยวและความสม่ำเสมอของแบทช์โดยรวมได้อย่างมาก

การป้องกันระยะยาวด้วยการปนเปื้อนของอนุภาคเป็นศูนย์: ในห้องปฏิกิริยา MOCVD ที่มีก๊าซที่มีฤทธิ์กัดกร่อนสูง แท่นกราไฟท์ธรรมดามีแนวโน้มที่จะเกิดการหลุดล่อนของอนุภาค การเคลือบ CVD SiC ของ VETEK มีความเฉื่อยทางเคมีเป็นพิเศษ โดยทำหน้าที่เป็นเกราะป้องกันที่ปิดผนึกไมโครพอร์ของกราไฟท์ที่ผ่านเข้าไปไม่ได้ ช่วยให้มั่นใจได้ถึงการแยกสารเจือปนของซับสเตรตออกโดยสิ้นเชิง โดยป้องกันการปนเปื้อนใดๆ ของชั้นอีพิแอกเซียลของ GaN หรือ SiC

ความต้านทานต่อความล้าที่ยอดเยี่ยมและอายุการใช้งาน:ด้วยกระบวนการบำบัดส่วนต่อประสานที่เป็นเอกสิทธิ์ของ VETEK การเคลือบ SiC ของเราจึงบรรลุการขยายตัวทางความร้อนที่เหมาะสมที่สุดกับซับสเตรตกราไฟท์ แม้ภายใต้การหมุนเวียนความร้อนความถี่สูงระหว่างอุณหภูมิที่สูงมาก สารเคลือบยังคงการยึดเกาะที่เหนือกว่าโดยไม่ลอกหรือเกิดรอยแตกขนาดเล็ก สิ่งนี้จะช่วยลดความถี่ในการบำรุงรักษาชิ้นส่วนอะไหล่ลงอย่างมากและลดต้นทุนการเป็นเจ้าของโดยรวมของคุณ

การประชุมเชิงปฏิบัติการของเรา