ตัวพาเวเฟอร์เคลือบ SiC

Vetek Semiconductor เชี่ยวชาญในการผลิตและจำหน่ายตัวพาเวเฟอร์เคลือบ SiC ประสิทธิภาพสูง และมุ่งมั่นที่จะนำเสนอโซลูชั่นเทคโนโลยีและผลิตภัณฑ์ขั้นสูงแก่อุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์

ในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ ตัวพาเวเฟอร์เคลือบ SiC ของ Vetek Semiconductor เป็นส่วนประกอบสำคัญในอุปกรณ์การสะสมไอสารเคมี (CVD) โดยเฉพาะอย่างยิ่งในอุปกรณ์การสะสมไอสารเคมีอินทรีย์ (MOCVD) หน้าที่หลักคือการรองรับและให้ความร้อนแก่ซับสเตรตผลึกเดี่ยวเพื่อให้ชั้นเอปิเทกเซียลสามารถเติบโตได้สม่ำเสมอ นี่เป็นสิ่งสำคัญสำหรับการผลิตอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์คุณภาพสูง

ความต้านทานการกัดกร่อนของการเคลือบ SiC นั้นดีมาก ซึ่งสามารถปกป้องฐานกราไฟท์จากก๊าซที่มีฤทธิ์กัดกร่อนได้อย่างมีประสิทธิภาพ สิ่งนี้มีความสำคัญอย่างยิ่งในสภาพแวดล้อมที่มีอุณหภูมิสูงและมีฤทธิ์กัดกร่อน นอกจากนี้ การนำความร้อนของวัสดุ SiC ยังดีเยี่ยมอีกด้วย ซึ่งสามารถนำความร้อนได้อย่างสม่ำเสมอและรับประกันการกระจายอุณหภูมิที่สม่ำเสมอ ซึ่งจะช่วยปรับปรุงคุณภาพการเติบโตของวัสดุส่วนนอก

การเคลือบ SiC จะรักษาความเสถียรทางเคมีในอุณหภูมิสูงและบรรยากาศที่มีฤทธิ์กัดกร่อน หลีกเลี่ยงปัญหาการเคลือบล้มเหลว ที่สำคัญกว่านั้น ค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวเนื่องจากความร้อนของ SiC นั้นคล้ายคลึงกับค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวของกราไฟท์ ซึ่งสามารถหลีกเลี่ยงปัญหาการไหลของสารเคลือบเนื่องจากการขยายตัวและการหดตัวจากความร้อน และรับประกันความเสถียรและความน่าเชื่อถือในระยะยาวของสารเคลือบ

คุณสมบัติทางกายภาพพื้นฐานของตัวพาเวเฟอร์เคลือบ SiC:

ร้านผลิต:

ภาพรวมของห่วงโซ่อุตสาหกรรม epitaxy ชิปเซมิคอนดักเตอร์: