ตัวรับ Epi เคลือบ SiC

Vetek Semiconductor เป็นผู้ผลิตมืออาชีพในประเทศจีนสำหรับการเคลือบ EPI ที่ดำเนินการ

SiC Coating Epi Susceptor ของ VeTek Semiconductor ผลิตจากกราไฟท์และซิลิคอนคาร์ไบด์ ผลิตภัณฑ์การเคลือบ SiC นี้ใช้กราไฟท์นำเข้า ซึ่งมีประสิทธิภาพที่เสถียรกว่าและมีอายุการใช้งานยาวนาน และได้รับการยกย่องอย่างสูงจากลูกค้าในยุโรปและอเมริกาของเรา ในเวลาเดียวกัน ความเข้มข้นของตัวรับ SiC Coating Epi ต่ำกว่า 5ppm และความสม่ำเสมอดีมาก หลังจากการอัพเกรดทางเทคโนโลยีอย่างต่อเนื่อง VeTek Semiconductor จะใช้กระบวนการใหม่เพื่อสร้างการจับคู่ที่ดีระหว่างค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อนของการเคลือบ SiC และวัสดุกราไฟท์

SIC Coating EPI venceptor ถูกนำมาใช้เป็นพิเศษในอุณหภูมิสูงและสภาพแวดล้อมการกัดกร่อนในอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ SIC Coating EPI venceptor มักใช้ในอุปกรณ์เช่น Aixtron โดยเฉพาะอย่างยิ่งในกระบวนการ Epitaxy (DUV Epitaxy) ที่มีบทบาทสำคัญ

ในกระบวนการ epitaxy อัลตราไวโอเลตระดับลึก (DUV Epitaxy) ผสมผสานกับความต้านทานต่ออุณหภูมิสูงและความต้านทานการกัดกร่อนที่ยอดเยี่ยมของ SiC Coating Epi Susceptor โดยปกติแล้ว SiC Coating Epi Susceptor จะถูกติดตั้งรอบๆ ห้องปฏิกิริยาในอุปกรณ์ AIXTRON ในฐานะตัวพาระหว่างกระบวนการ epitaxy จาก ทำให้อุปกรณ์เสียหายหรือปนเปื้อน

SIC Coating EPI Vexceptor นี้ออกแบบมาสำหรับ epitaxy อัลตราไวโอเลตลึก เราควบคุมซิลิคอนคาร์ไบด์ coatin อย่างเคร่งครัดรวมเทคโนโลยีชั้นบัฟเฟอร์เพื่อลดปัญหาที่เกิดจากความแตกต่างในค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อนระหว่างการเคลือบกราไฟท์และการเคลือบซิลิกอนคาร์ไบด์ซึ่งจะขยายอายุการใช้งานของผลิตภัณฑ์ ปัจจุบันผลิตภัณฑ์ของเราได้รับรางวัลมากมายและได้รับการยอมรับว่าเป็นหนึ่งในสิ่งที่ดีที่สุดในตลาดในประเทศ

ในฐานะผู้นำอุตสาหกรรมด้านผลิตภัณฑ์เคลือบ SiC VeTek Semiconductor สนับสนุนบริการปรับแต่งผลิตภัณฑ์และราคาผลิตภัณฑ์ที่น่าพอใจ และหวังว่าจะได้รับคำปรึกษาเพิ่มเติมจากคุณ

ข้อมูล SEM ของภาพยนตร์ CVD SIC:

Vetek Semiconductor sic skating skot skots skots sproducts ร้านค้า:

ภาพรวมของห่วงโซ่อุตสาหกรรมชิปเซมิคอนดักเตอร์ Epitaxy: