แหวนเคลือบ PG (กราไฟท์ไพโรไลติก)

คุณสมบัติที่สำคัญ

• การนำความร้อนสูงเป็นพิเศษ – ค่าการนำความร้อนในระนาบสำหรับไพโรไลติกกราไฟท์สามารถสูงถึง 1000–1800 W/m·K ซึ่งหมายความว่าความร้อนจะกระจายอย่างรวดเร็วและทั่วถึงทั่วทั้งวงแหวน

• ความเสถียรของสนามความร้อนที่เหนือกว่า – การออกแบบช่วยลดการไล่ระดับอุณหภูมิและยับยั้งจุดร้อนในท้องถิ่นได้อย่างเป็นธรรมชาติ แม้ในระบบที่มีอุณหภูมิสูงที่ซับซ้อน

• ต้านทานการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิอย่างฉับพลัน – ด้วยค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวเนื่องจากความร้อนต่ำ วงแหวนจึงคงรูปร่างไว้โดยผ่านวงจรการให้ความร้อนและความเย็นซ้ำๆ โดยไม่บิดเบี้ยว

• ความสามารถในอุณหภูมิสูง – ทำงานได้อย่างน่าเชื่อถือในบรรยากาศเฉื่อยที่อุณหภูมิเกิน 2500°C

• ความบริสุทธิ์สูง การปนเปื้อนต่ำ – ชั้นคาร์บอนที่ได้จาก CVD นั้นสะอาดเป็นพิเศษ โดยรักษาสิ่งเจือปนที่เป็นโลหะและการไหลของอนุภาคให้น้อยที่สุด

• อายุการใช้งานยาวนาน – การจัดการระบายความร้อนที่ดีขึ้นจะชะลอการสึกหรอของวัสดุ ดังนั้นคุณจึงสามารถยืดอายุการใช้งานของชิ้นส่วนแต่ละชิ้นได้

• การออกแบบที่ปรับแต่งได้ – เรามีเส้นผ่านศูนย์กลาง ความหนา และข้อกำหนดการเคลือบที่หลากหลาย เพื่อให้ตรงกับเครื่องมือเซมิคอนดักเตอร์และความต้องการของกระบวนการที่แตกต่างกัน

แหวนเคลือบ PG กับแหวนเคลือบ PyC

เลือกใช้ PG หากสิ่งสำคัญที่สุดของคุณคือการนำความร้อนและความสม่ำเสมอของอุณหภูมิ

เลือก PyC เมื่อคุณกังวลเกี่ยวกับความต้านทานการกัดกร่อน การสร้างอนุภาคน้อยที่สุด และความคุ้มค่าด้านต้นทุน

การใช้งาน

วงแหวนเคลือบ PG เหล่านี้มีการใช้งานแล้วกับอุปกรณ์หลากหลายประเภท ซึ่งรวมถึง:

• ระบบการเติบโตของคริสตัล PVT SiC

• ส่วนประกอบสนามความร้อนของเซมิคอนดักเตอร์

• เครื่องมือการเติบโตของคริสตัล SiC

• เตาสุญญากาศอุณหภูมิสูง

• ระบบประมวลผลความร้อนอย่างรวดเร็ว (RTP)

• เตาหลอม

• เตาแพร่กระจาย

• โครงสร้างป้องกันเครื่องทำความร้อน

• แผ่นกันความร้อน

• กองฉนวนกันความร้อน

• และกระบวนการเซมิคอนดักเตอร์ที่มีอุณหภูมิสูงพิเศษอื่นๆ

ทำไมต้องร่วมงานกับ VETEK?

• เราไม่ใช่คนกลาง ทุกอย่างตั้งแต่การตัดเฉือนกราไฟท์ไปจนถึงการเคลือบขั้นสุดท้ายได้รับการจัดการภายในโรงงานของเราเอง

• ความสามารถภายในของเราครอบคลุมถึงการทำให้บริสุทธิ์ การตัดเฉือน CNC การสะสมการเคลือบ และการตรวจสอบอย่างเต็มรูปแบบ ทั้งหมดนี้อยู่ภายใต้หลังคาเดียวกัน

• เรามีรากฐานที่ลึกซึ้งในวัสดุเซมิคอนดักเตอร์และอิเล็กทรอนิกส์กำลัง ดังนั้นเราจึงเข้าใจความต้องการในโลกแห่งความเป็นจริงของกระบวนการของคุณ

• ผลงานการเคลือบของเราประกอบด้วย SiC, TaC, PyC และการออกแบบสนามความร้อนแบบกำหนดเอง—เราไม่ได้จำกัดอยู่เพียงเทคโนโลยีเดียว

• ต้องการโซลูชันแบบกำหนดเองหรือไม่? เพียงแชร์ภาพวาดหรือรุ่นอุปกรณ์ของคุณ แล้วทีมวิศวกรของเราจะทำงานร่วมกับคุณโดยตรง

• เรารักษาห่วงโซ่อุปทานที่มั่นคงและประวัติการส่งมอบตรงเวลาสำหรับลูกค้าทั่วโลก

• สรุป: เรานำเสนอแหล่งเดียวที่เชื่อถือได้สำหรับส่วนประกอบสนามความร้อนของเซมิคอนดักเตอร์และวัสดุที่มีคาร์บอนขั้นสูง ตั้งแต่แนวความคิดไปจนถึงการผลิต