เรือซิลิกอนคาสเซ็ตต์

เรือซิลิคอนคาสเซ็ตต์ที่ Veteksemicon นำเสนอได้รับการออกแบบทางวิศวกรรมสำหรับข้อกำหนดด้านความร้อน กลไก และการปนเปื้อนที่เข้มงวดของการผลิตแผ่นเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์สมัยใหม่ ผลิตจากโมโนคริสตัลไลน์หรือโพลีซิลิคอนที่มีความบริสุทธิ์สูงเป็นพิเศษ และผ่านกระบวนการตามมาตรฐานความสะอาดชั้นนำของอุตสาหกรรม Silicon Cassette Boat ทำหน้าที่เป็นระบบพาหะที่สำคัญสำหรับเวเฟอร์ที่เกิดปฏิกิริยาออกซิเดชัน การแพร่กระจาย การหลอมเหลว และวงจรความร้อนอื่นๆ บนเตาเผา คุณสมบัติวัสดุภายในของมัน ได้แก่ ความเฉื่อยทางเคมีที่อุณหภูมิสูง การขยายตัวทางความร้อนที่สอดคล้องกับเวเฟอร์ซิลิคอน และความเข้มข้นของสิ่งเจือปนของโลหะที่ต่ำมาก ช่วยให้สามารถลดการสร้างอนุภาคและความเครียดจากความร้อนให้เหลือน้อยที่สุด ทำให้มั่นใจได้ถึงความสม่ำเสมอและความสามารถในการทำซ้ำซึ่งจำเป็นสำหรับการผลิตโหนดระดับต่ำกว่าไมครอนและขั้นสูง

ภายในแพลตฟอร์มเตาเผาแนวตั้งและแนวนอน เรือซิลิคอนคาสเซ็ตต์ให้ระยะห่างของเวเฟอร์ที่แม่นยำและการรองรับเชิงกลที่มั่นคง ช่วยให้ถ่ายเทความร้อนได้สม่ำเสมอและการไหลของก๊าซสม่ำเสมอทั่วทั้งชุด ด้วยการขจัดปฏิสัมพันธ์ข้ามวัสดุที่มักเกี่ยวข้องกับตัวพาควอตซ์หรือเซรามิก จะช่วยปกป้องพื้นผิวเวเฟอร์จากการปนเปื้อนในระหว่างการแช่ที่อุณหภูมิสูงเป็นเวลานาน แม้ที่อุณหภูมิใกล้ถึง 1200°C การจัดตำแหน่งวัสดุระหว่างตัวพาและซับสเตรตยังช่วยลดเส้นลื่น รอยแตกขนาดเล็ก และการบิดเบี้ยว ทำให้เรือมีข้อได้เปรียบเป็นพิเศษสำหรับการใช้งาน เช่น การเจริญเติบโตของออกไซด์หนา การแพร่กระจายของไดรฟ์เข้า การหลอมการฝังที่อุณหภูมิสูง และการประมวลผล epitaxx ของอุปกรณ์ไฟฟ้า

ออกแบบมาเพื่อผสานรวมเข้ากับระบบการโหลดอัตโนมัติ โมดูลถ่ายโอน FOUP สู่เตาหลอม และการจัดการแผ่นเวเฟอร์ด้วยหุ่นยนต์ได้อย่างราบรื่น เรือ Silicon Cassette Boat ของ Veteksemicon รองรับสภาพแวดล้อมการผลิตทั้ง 200 มม. และ 300 มม. และสอดคล้องกับข้อกำหนด OEM ของเตาเผาระดับแนวหน้า ความแม่นยำของมิติสูง รูปทรงของสล็อตที่ปรับให้เหมาะสม และการตกแต่งพื้นผิวขั้นสูง มีส่วนทำให้มีความสม่ำเสมอทางความร้อนที่เหนือกว่า ลดข้อบกพร่อง และอายุการใช้งานที่ยาวนานขึ้น ซึ่งเป็นปัจจัยที่ช่วยเพิ่มผลผลิตของกระบวนการและเวลาทำงานของอุปกรณ์ได้โดยตรง

ด้วยการสนับสนุนจากความเชี่ยวชาญด้านวัสดุศาสตร์ของ Veteksemicon และการจัดการคุณภาพที่เข้มงวด เรือ Silicon Cassette Boat มอบประสิทธิภาพที่เสถียรตลอดรอบความร้อนหลายรอบ การไหลของอนุภาคต่ำ และพฤติกรรมที่คาดการณ์ได้ในบรรยากาศที่มีอุณหภูมิสูง เช่น O₂, H₂, N₂ หรือก๊าซเฉื่อยผสม สำหรับโรงงานที่ต้องการการควบคุมการปนเปื้อนที่เพิ่มขึ้น โปรไฟล์ความร้อนที่คาดการณ์ได้ และความเข้ากันได้กับการผลิตอุปกรณ์ยุคถัดไป Silicon Cassette Boat ช่วยเพิ่มความน่าเชื่อถือของกระบวนการ ปรับปรุงความสม่ำเสมอในระดับเวเฟอร์ และช่วยให้สามารถผลิตเซมิคอนดักเตอร์ในปริมาณมากได้อย่างสม่ำเสมอ