Silicon Carbide Sic Wafer Boat

Veteksemicon Sic Wafer Boat เป็นผู้ให้บริการหลักที่ออกแบบมาโดยเฉพาะสำหรับกระบวนการเซมิคอนดักเตอร์อุณหภูมิสูง การใช้กราไฟท์ที่มีความบริสุทธิ์สูงเป็นสารตั้งต้นผลิตภัณฑ์นี้ใช้เทคโนโลยีการสะสมไอสารเคมีที่จดสิทธิบัตรเพื่อสร้างชั้นป้องกันซิลิกอนคาร์ไบด์ที่มีความหนาแน่นและไม่มีรูพรุนบนพื้นผิว

เลเยอร์นี้รวมค่าการนำความร้อนที่ยอดเยี่ยมของกราไฟท์เข้ากับความต้านทานการกัดกร่อนที่ยอดเยี่ยมของซิลิกอนคาร์ไบด์ การเคลือบที่ควบคุมอย่างเข้มงวดมีความหนา80-120μmต้านทานการกัดกร่อนจากบรรยากาศที่เป็นกรดและอัลคาไลน์ได้อย่างมีประสิทธิภาพลดความเสี่ยงของการปนเปื้อนของโลหะอย่างมีนัยสำคัญ มันรักษาความมั่นคงของโครงสร้างและความสมบูรณ์ของมิติแม้ในสภาพแวดล้อมที่อุณหภูมิสูงให้การป้องกันที่เชื่อถือได้และการสนับสนุนเวเฟอร์ในระหว่างกระบวนการที่สำคัญเช่นการเกิดออกซิเดชันการแพร่กระจายและการเจริญเติบโตของ epitaxial ซึ่งขยายอายุการใช้งานเวเฟอร์ได้อย่างมีประสิทธิภาพมากกว่าสามเท่าของเรือกราไฟท์ธรรมดา

ⅰ. พารามิเตอร์ทางเทคนิค

ⅱ. Veteksemicon Sic Wafer Boat Core ข้อได้เปรียบ

• ความต้านทานการกัดกร่อนที่ยอดเยี่ยม

การเคลือบ SIC บนเรือเวเฟอร์ Veteksemicon ถูกฝากโดยใช้กระบวนการ CVD อุณหภูมิสูงที่เป็นกรรมสิทธิ์ของเราทำให้เกิดโครงสร้างที่หนาแน่นและสม่ำเสมอซึ่งปราศจากรูขุมขนและรอยแตกอย่างสมบูรณ์ สิ่งกีดขวางที่เป็นของแข็งนี้แยกเวเฟอร์ออกจากสภาพแวดล้อมของเตาเผาได้อย่างมีประสิทธิภาพ บรรยากาศออกซิไดซ์ที่แข็งแกร่งสารประกอบฟลูออไรด์และก๊าซกัดกร่อนอื่น ๆ นั้นไม่สามารถใช้งานได้กับชั้นป้องกันนี้ ซึ่งหมายความว่าเวเฟอร์ของคุณได้รับการปกป้องจากการปนเปื้อนในขณะที่เรือเองยังคงไม่บุบสลายผ่านกระบวนการที่รุนแรงซ้ำ ๆ และยืดอายุการใช้งานอย่างมีนัยสำคัญ

• วัสดุความบริสุทธิ์สูงเป็นพิเศษ

เราเข้าใจว่าแม้แต่การปนเปื้อนเพียงเล็กน้อยก็สามารถทำให้เวเฟอร์ทั้งหมดไร้ประโยชน์ ดังนั้น Veteksemicon จึงควบคุมวัตถุดิบอย่างเข้มงวดโดยใช้กราไฟท์ที่ถูกกดด้วย isostatically ด้วยความบริสุทธิ์เกิน 99.9995% เป็นสารตั้งต้น การเคลือบ SIC ที่วางอยู่บนพื้นผิวนี้ยังได้รับความบริสุทธิ์ 99.999% ด้วยสิ่งสกปรกที่สำคัญเช่นโซเดียมโพแทสเซียมเหล็กและโลหะหนักที่เก็บไว้ในระดับต่ำมาก (PPB) ความบริสุทธิ์ที่ใกล้เข้ามานี้ทำให้มั่นใจได้ว่าไม่มีสารปนเปื้อนที่มีการปล่อยออกมาที่อุณหภูมิสูงโดยพื้นฐานการกำจัดความเสี่ยงของการลดลงของประสิทธิภาพของอุปกรณ์เนื่องจากปัญหาที่เกี่ยวข้องกับผู้ให้บริการ

• ความเสถียรทางความร้อนที่ยอดเยี่ยม

การผลิตเซมิคอนดักเตอร์ต้องการกระบวนการความร้อนที่สอดคล้องกันอย่างมาก Veteksemicon Wafer Boat ของการขยายตัวทางความร้อนได้รับการออกแบบอย่างพิถีพิถันเพื่อให้ตรงกับเวเฟอร์ซิลิคอนอย่างใกล้ชิด ในระหว่างการทำความร้อนและความเย็นอย่างรวดเร็วเรือและเวเฟอร์เคลื่อนที่ในการซิงค์ลดความเสี่ยงของข้อบกพร่องของตาข่ายและการแปรปรวนที่เกิดจากความเครียดจากความร้อน มันสามารถทนต่ออุณหภูมิการทำงานอย่างต่อเนื่องสูงถึง 1600 ℃รักษาความแข็งแรงเชิงกลที่ยอดเยี่ยมและความเสถียรของมิติแม้ที่อุณหภูมิสูงเหล่านี้ สิ่งนี้ทำให้มั่นใจได้ว่าการทำซ้ำและความน่าเชื่อถือในทุกกระบวนการที่ดำเนินการให้รากฐานที่มั่นคงสำหรับการควบคุมความอดทนในการผลิตชิป

• ความแข็งแรงเชิงกลที่ทนทาน

มูลค่าของผลิตภัณฑ์ของเราไม่เพียง แต่ในการลงทุนครั้งแรก แต่ยังรวมถึงค่าใช้จ่ายในระยะยาวของการเป็นเจ้าของ เมื่อเปรียบเทียบกับส่วนประกอบควอตซ์หรือกราไฟท์แบบดั้งเดิม Veteksemicon Sic Wafer Boats มีการสึกหรอที่ยอดเยี่ยมและความต้านทานต่อแรงกระแทก ความแข็งของพื้นผิวสูงของพวกเขาต่อต้านรอยขีดข่วนและเศษซากในระหว่างการจัดการและทำความสะอาด ความเหนียวนี้ช่วยให้พวกเขาสามารถทนต่อวัฏจักรกระบวนการอุณหภูมิสูงกว่า 200 รอบและขั้นตอนการทำความสะอาดที่จำเป็นลดต้นทุนการจัดหาค่าใช้จ่ายสินค้าคงคลังและการหยุดทำงานของอุปกรณ์ที่เกี่ยวข้องกับการเปลี่ยนส่วนประกอบบ่อยครั้ง

• การรับรองการตรวจสอบห่วงโซ่นิเวศวิทยา

Veteksemicon Sic Wafer Boat 'การตรวจสอบทางนิเวศวิทยาของเรือครอบคลุมวัตถุดิบในการผลิตได้ผ่านการรับรองมาตรฐานสากลและมีเทคโนโลยีที่ได้รับการจดสิทธิบัตรจำนวนมากเพื่อให้แน่ใจว่ามีความน่าเชื่อถือและความยั่งยืนในเซมิคอนดักเตอร์และสาขาพลังงานใหม่

ⅲ. ฟิลด์แอปพลิเคชันหลัก

สำหรับข้อมูลจำเพาะทางเทคนิคโดยละเอียดเอกสารสีขาวหรือการเตรียมการทดสอบตัวอย่างโปรดติดต่อทีมสนับสนุนด้านเทคนิคของเราเพื่อสำรวจว่า Veteksemicon สามารถเพิ่มประสิทธิภาพกระบวนการของคุณได้อย่างไร

คลังสินค้าผลิตภัณฑ์ Veteksemicon