กราไฟท์ที่มีรูพรุนคืออะไร? - เวเทค เซมิคอนดักเตอร์

กราไฟท์ที่มีรูพรุนเป็นวัสดุคาร์บอนเชิงวิศวกรรมที่มีเครือข่ายของรูพรุนภายในโครงสร้างกราไฟท์ ลักษณะสำคัญ ได้แก่ ความพรุน การกระจายขนาดรูพรุน การซึมผ่าน ความหนาแน่นรวม และคุณสมบัติทางความร้อน ในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ ส่วนประกอบกราไฟท์ที่มีรูพรุนที่มีความบริสุทธิ์สูงที่เลือกสรรมาจะถูกใช้ในระบบการเติบโตของผลึกของการขนส่งไอทางกายภาพ (PVT) ของซิลิคอนคาร์ไบด์ (SiC) เพื่อรองรับฟังก์ชันการขนส่งก๊าซและสนามความร้อนเฉพาะ ประสิทธิภาพของวัสดุขึ้นอยู่กับเกรดกราไฟท์ โครงสร้างรูพรุน ความบริสุทธิ์ และสภาวะการทำงาน

โครงสร้างรูพรุนของกราไฟท์

กราไฟท์ที่มีรูพรุนเป็นผลิตภัณฑ์ที่มีโครงสร้างเป็นรูพรุนที่ทำจากกราไฟท์เป็นวัสดุฐาน วัสดุทำจากกราไฟท์ที่มีความบริสุทธิ์สูง พารามิเตอร์ทางกายภาพของกราไฟท์ที่มีรูพรุนของ VeTek Semiconductor แตกต่างกันไปตามกระบวนการผลิตและการใช้งานเฉพาะ ต่อไปนี้เป็นพารามิเตอร์ทางกายภาพทั่วไป:

กราไฟท์ที่มีรูพรุนทำจากกราไฟท์ที่มีความบริสุทธิ์สูงและมีค่าการนำไฟฟ้า การนำความร้อน ทนต่ออุณหภูมิสูง ทนต่อการเกิดออกซิเดชัน ความเสถียรทางเคมี และคุณสมบัติอื่นๆ ที่ดีเยี่ยม มีการใช้กันอย่างแพร่หลายในอุตสาหกรรมแปรรูปเซมิคอนดักเตอร์

ในกระบวนการแปรรูปเซมิคอนดักเตอร์ แกรไฟต์ที่มีรูพรุนถูกนำมาใช้กันอย่างแพร่หลายในด้านต่อไปนี้:

เมื่อใช้ร่วมกับ Porous Graphite ที่มีความทนทานต่ออุณหภูมิสูงและมีเสถียรภาพทางเคมีได้ดีเยี่ยม เช่น ทนต่อการกัดกร่อนที่ดีต่อสารเคมีส่วนใหญ่ เช่น กรด ด่าง และตัวทำละลาย Porous Graphite จึงมักใช้ในอุปกรณ์การเผาผนึกที่อุณหภูมิสูงและการบำบัดความร้อน ตัวอย่างเช่น กราไฟท์ที่มีรูพรุนสามารถใช้เป็นวัสดุซับใน วัสดุฉนวน หรือวัสดุรองรับสำหรับเตาเผาที่มีอุณหภูมิสูงได้

นอกจากนี้,

ส่วนประกอบกราไฟท์ที่มีรูพรุนของ SiC Crystalมีค่าการนำไฟฟ้าที่ดีเยี่ยมและความเสถียรทางความร้อนเพื่อให้สนามความร้อนสม่ำเสมอและคุณสมบัติทางไฟฟ้าที่เสถียร ดังนั้นผลิตภัณฑ์นี้จึงมักใช้ในกระบวนการแพร่หรือออกซิเดชันของการประมวลผลเซมิคอนดักเตอร์เป็นแหล่งแพร่หรือวัสดุอิเล็กโทรด

โครงสร้างที่มีรูพรุนของ Porous Graphite สามารถกรองและทำให้ก๊าซที่ใช้ในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์บริสุทธิ์ ลดการปนเปื้อนของอนุภาคที่อาจเกิดขึ้น และรับประกันความสะอาดสูงในระหว่างการประมวลผล ด้วยโครงสร้างที่มีรูพรุนและการซึมผ่านของอากาศที่ดี ชิ้นส่วนกราไฟท์ที่มีรูพรุนยังสามารถใช้เป็นฐานและฟิกซ์เจอร์ในระบบดูดซับสุญญากาศเพื่อยึดแผ่นเวเฟอร์หรือส่วนประกอบอื่น ๆ ผ่านการดูดซับสุญญากาศที่มีประสิทธิภาพ

ด้วยการปรับกระบวนการเผาผนึกของกราไฟท์ VeTek Semiconductor สามารถทำได้ปรับแต่งวัสดุกราไฟท์ที่มีรูพรุนด้วยขนาดรูพรุนและความพรุนที่แตกต่างกัน เพื่อให้ตรงตามข้อกำหนดการใช้งานที่แตกต่างกัน.

                                                                                                  กราไฟท์ที่มีรูพรุน                 SiC Crystal Growth กราไฟท์ที่มีรูพรุน           เบ้าหลอมกราไฟท์สามกลีบ

ในความเป็นจริง VeTek Semiconductor เป็นผู้นำตลาดโดยสมบูรณ์ในตลาดตัวรับกราไฟท์เคลือบ sic ของจีน ตลาดเบ้าหลอมกราไฟท์เคลือบแทค และตลาดถาดกราไฟท์เคลือบซิลิคอนคาร์ไบด์ VeTek Semiconductor เป็นผู้ผลิตมืออาชีพ ซัพพลายเออร์ โรงงานของผลิตภัณฑ์กราไฟท์พิเศษ เช่นSiC Crystal Growth กราไฟท์ที่มีรูพรุน, การเคลือบคาร์บอนไพโรไลติก, การเคลือบคาร์บอนแก้ว, ไอโซโทรปิกกราไฟท์, กราไฟท์ซิลิโคนและแผ่นกราไฟท์ที่มีความบริสุทธิ์สูง. เรามุ่งมั่นที่จะนำเสนอโซลูชั่นขั้นสูงสำหรับผลิตภัณฑ์กราไฟท์พิเศษต่างๆ สำหรับอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์

หากคุณมีข้อสงสัยหรือต้องการรายละเอียดเพิ่มเติม โปรดอย่าลังเลที่จะติดต่อเรา

ม็อบ/WhatsAPP: +86-180 6922 0752

อีเมล์: anny@veteksemi.com