วัสดุอะไรที่ใช้ในส่วนประกอบเซรามิกเซมิคอนดักเตอร์?

เซรามิกอลูมินา (al₂o₃) ‌

อลูมินาเซรามิกเป็น "workhorse" สำหรับการผลิตส่วนประกอบเซรามิก พวกเขาแสดงคุณสมบัติเชิงกลที่ยอดเยี่ยมจุดหลอมเหลวและความแข็งสูงเป็นพิเศษความต้านทานการกัดกร่อนความเสถียรทางเคมีที่แข็งแกร่งความต้านทานสูงและฉนวนไฟฟ้าที่เหนือกว่า พวกเขามักจะใช้ในการประดิษฐ์แผ่นขัด, chucks สุญญากาศ, แขนเซรามิกและชิ้นส่วนที่คล้ายกัน

‌aluminum Nitride Ceramics (Aln)

เซรามิกอลูมิเนียมไนไตรด์มีค่าการนำความร้อนสูงค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อนที่จับคู่กับซิลิคอนและค่าคงที่ไดอิเล็กตริกต่ำและการสูญเสีย ด้วยข้อดีเช่นจุดหลอมเหลวสูงความแข็งการนำความร้อนและฉนวนกันความร้อนพวกเขาจะใช้เป็นหลักในการลดความร้อน, หัวฉีดเซรามิกและ chucks ไฟฟ้าสถิต

‌yttria เซรามิกส์ (y₂o₃)

เซรามิก YTTRIA มีจุดหลอมเหลวสูงความเสถียรทางเคมีและโฟโตเคมีที่ยอดเยี่ยมพลังงานโฟนอนต่ำการนำความร้อนสูงและความโปร่งใสที่ดี ในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์พวกเขามักจะรวมกับเซรามิกอลูมินา - ตัวอย่างเช่นการเคลือบ YTTRIA จะถูกนำไปใช้กับเซรามิกอลูมินาเพื่อผลิตหน้าต่างเซรามิก

‌silicon Nitride Ceramics (Si₃n₄) ‌

เซรามิกซิลิคอนไนไตรด์มีลักษณะเป็นจุดหลอมเหลวสูงความแข็งที่ยอดเยี่ยมความเสถียรทางเคมีสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อนต่ำค่าการนำความร้อนสูงและความต้านทานแรงกระแทกด้วยความร้อนที่แข็งแกร่ง พวกเขารักษาความต้านทานต่อแรงกระแทกและความแข็งแรงที่ต่ำกว่า 1,200 ° C ทำให้เหมาะอย่างยิ่งสำหรับพื้นผิวเซรามิก, ตะขอที่รับน้ำหนัก, หมุดวางตำแหน่งและหลอดเซรามิก

‌ Silicon Carbide Ceramics (SIC) ‌

เซรามิกซิลิกอนคาร์ไบด์เพชรที่มีลักษณะคล้ายกันในคุณสมบัติมีน้ำหนักเบาสูงเป็นพิเศษและมีความแข็งแรงสูง ด้วยประสิทธิภาพที่ครอบคลุมเป็นพิเศษความต้านทานการสึกหรอและความต้านทานการกัดกร่อนพวกเขาจะใช้กันอย่างแพร่หลายในที่นั่งวาล์วตลับลูกปืนแบบเลื่อนเตาหัวฉีดและเครื่องแลกเปลี่ยนความร้อน

‌zirconia เซรามิก (zro₂) ‌

เซรามิกเซอร์โคเนียมีความแข็งแรงเชิงกลสูงความต้านทานความร้อนความต้านทานกรด/อัลคาไลและฉนวนที่ยอดเยี่ยม ขึ้นอยู่กับเนื้อหาเซอร์โคเนียจะถูกจัดหมวดหมู่เป็น:

• ความแม่นยำเซรามิกส์ (เนื้อหาเกิน 99.9%ใช้สำหรับพื้นผิววงจรรวมและวัสดุฉนวนความถี่สูง)
• เซรามิกธรรมดา (สำหรับผลิตภัณฑ์เซรามิกที่มีวัตถุประสงค์ทั่วไป)

ลักษณะโครงสร้างของเซมิคอนดักเตอร์เซมิคอนดักเตอร์ ส่วนประกอบ

ceramics

เซรามิกหนาแน่นถูกนำมาใช้กันอย่างแพร่หลายในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ พวกเขาบรรลุความหนาแน่นโดยการลดรูขุมขนและเตรียมผ่านวิธีการต่าง ๆ เช่นการเผาปฏิกิริยา, การเผาไหม้แบบไม่แรงดัน, การเผาแบบเฟสของเหลว, การกดร้อนและการกด isostatic ร้อน

‌ เซรามิกที่มีพร

ตรงกันข้ามกับเซรามิกที่หนาแน่นเซรามิกที่มีรูพรุนมีปริมาณการควบคุมของช่องว่าง พวกเขาถูกจำแนกตามขนาดรูขุมขนเป็นเซรามิก microporous, mesoporous และ macroporous ด้วยความหนาแน่นจำนวนมากโครงสร้างที่มีน้ำหนักเบาพื้นที่พื้นผิวเฉพาะขนาดใหญ่การกรองที่มีประสิทธิภาพ/ฉนวนกันความร้อน/คุณสมบัติการหน่วงอะคูสติกและสมบัติทางเคมี/ร่างกายที่มั่นคงพวกเขาจะใช้ในการผลิตส่วนประกอบต่างๆในอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์