ผู้ให้บริการเวเฟอร์เคลือบ sic

การผลิตชิปแยกออกจากเวเฟอร์ ในกระบวนการเตรียมเวเฟอร์มีการเชื่อมโยงหลักสองประการ: หนึ่งคือการเตรียมสารตั้งต้นและอื่น ๆ คือการใช้งานกระบวนการ epitaxial สารตั้งต้นสามารถนำไปใช้โดยตรงในกระบวนการผลิตเวเฟอร์เพื่อผลิตอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์หรือปรับปรุงเพิ่มเติมผ่านกระบวนการ epitaxial- 

Epitaxy คือการเติบโตชั้นใหม่ของผลึกเดี่ยวบนพื้นผิวคริสตัลเดี่ยวที่ได้รับการประมวลผลอย่างประณีต (การตัด, การบด, การขัด, ฯลฯ ) เนื่องจากเลเยอร์คริสตัลเดี่ยวที่เพิ่งปลูกใหม่จะขยายตัวตามเฟสคริสตัลของสารตั้งต้นจึงเรียกว่าชั้น epitaxial เมื่อเลเยอร์ epitaxial เติบโตบนพื้นผิวทั้งหมดจะเรียกว่าแผ่นเวเฟอร์ epitaxial การแนะนำเทคโนโลยี epitaxial แก้ปัญหาข้อบกพร่องมากมายของสารตั้งต้นเดียว

ในเตาหลอมการเจริญเติบโตของ epitaxial สารตั้งต้นไม่สามารถวางแบบสุ่มและกผู้ให้บริการเวเฟอร์จำเป็นต้องวางซับสเตรตบนตัวยึดเวเฟอร์ก่อนจึงจะสามารถทำการสะสมอีพิแทกเซียลบนพื้นผิวได้ ที่ยึดเวเฟอร์นี้เป็นตัวพาเวเฟอร์ที่เคลือบ SiC

มุมมองภาคตัดขวางของเครื่องปฏิกรณ์ EPI

คุณภาพสูงการเคลือบ SICถูกนำไปใช้กับพื้นผิวของ SGL Graphite โดยใช้เทคโนโลยี CVD:

ด้วยความช่วยเหลือของการเคลือบ sic คุณสมบัติมากมายของที่วางเวเฟอร์เคลือบ SiCได้รับการปรับปรุงอย่างมีนัยสำคัญ:

●คุณสมบัติต้านอนุมูลอิสระ- การเคลือบ SiC มีความต้านทานการเกิดออกซิเดชันที่ดี และสามารถปกป้องเมทริกซ์กราไฟท์จากการเกิดออกซิเดชันที่อุณหภูมิสูง และยืดอายุการใช้งานได้

●ความต้านทานอุณหภูมิสูง: จุดหลอมเหลวของการเคลือบ SiC สูงมาก (ประมาณ 2,700°C) หลังจากเพิ่มการเคลือบ SiC ลงในเมทริกซ์กราไฟท์แล้ว ก็สามารถทนต่ออุณหภูมิที่สูงขึ้นได้ ซึ่งเป็นประโยชน์ต่อการใช้งานในสภาพแวดล้อมของเตาเติบโตแบบเอพิแทกเซียล

●ความต้านทานการกัดกร่อน: กราไฟท์มีแนวโน้มที่จะเกิดการกัดกร่อนทางเคมีในสภาพแวดล้อมที่เป็นกรดหรือด่าง ในขณะที่การเคลือบ SiC มีความต้านทานต่อการกัดกร่อนของกรดและด่างได้ดี ดังนั้นจึงสามารถใช้ในเตาเผาการเจริญเติบโตแบบเอพิแทกเซียลได้เป็นเวลานาน

●  ทนต่อการสึกหรอ: วัสดุ SiC มีความแข็งสูง หลังจากเคลือบกราไฟท์ด้วย SiC แล้ว จะไม่เกิดความเสียหายได้ง่ายเมื่อใช้ในเตาเร่งการเจริญเติบโตแบบเอปิแทกเซียล ซึ่งช่วยลดอัตราการสึกหรอของวัสดุ

Vetek Semiconductor ใช้วัสดุที่ดีที่สุดและเทคโนโลยีการประมวลผลที่ทันสมัยที่สุดเพื่อให้ลูกค้าได้รับผลิตภัณฑ์เวเฟอร์ที่เคลือบด้วย SIC ชั้นนำของอุตสาหกรรม ทีมเทคนิคที่แข็งแกร่งของ Vetek Semiconductor มุ่งมั่นที่จะปรับแต่งผลิตภัณฑ์ที่เหมาะสมที่สุดและโซลูชั่นระบบที่ดีที่สุดสำหรับลูกค้า

ข้อมูล SEM ของฟิล์ม CVD SIC

มันเป็นเซมิคอนดักเตอร์ร้านค้าผู้ให้บริการเวเฟอร์เคลือบ SiC