ข่าวอุตสาหกรรม

ในโลกที่เปลี่ยนแปลงตลอดเวลาของเครื่องใช้ในครัวเรือนและในครัว ผลิตภัณฑ์หนึ่งได้รับความสนใจอย่างมากเมื่อเร็วๆ นี้ในด้านนวัตกรรมและการใช้งานจริง นั่นก็คือถังเก็บความร้อนแบบควอตซ์

ผลิตภัณฑ์ควอตซ์มีการใช้กันอย่างแพร่หลายในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์เนื่องจากความบริสุทธิ์สูงความต้านทานอุณหภูมิสูงและความเสถียรทางเคมีที่แข็งแกร่ง

เตาหลอมการเจริญเติบโตของซิลิกอนคาร์ไบด์ (SIC) มีบทบาทสำคัญในการผลิตเวเฟอร์ SIC ที่มีประสิทธิภาพสูงสำหรับอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์รุ่นต่อไป อย่างไรก็ตามกระบวนการของผลึก SIC คุณภาพสูงที่เพิ่มขึ้นนำเสนอความท้าทายที่สำคัญ จากการจัดการการไล่ระดับสีความร้อนที่รุนแรงไปจนถึงการลดข้อบกพร่องของผลึกทำให้มั่นใจได้ว่าการเติบโตอย่างสม่ำเสมอและการควบคุมต้นทุนการผลิตแต่ละขั้นตอนต้องใช้โซลูชั่นวิศวกรรมขั้นสูง บทความนี้จะวิเคราะห์ความท้าทายทางเทคนิคของเตาหลอมการเจริญเติบโตของคริสตัล SIC จากหลายมุมมอง

Smart Cut เป็นกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ขั้นสูงโดยใช้การฝังไอออนและการลอกเวเฟอร์ซึ่งออกแบบมาโดยเฉพาะสำหรับการผลิตเวเฟอร์ 3C-SIC (ลูกบาศก์ซิลิกอนคาร์ไบด์) มันสามารถถ่ายโอนวัสดุคริสตัลบางเฉียบจากพื้นผิวหนึ่งไปยังอีกวัสดุหนึ่งซึ่งจะทำลายข้อ จำกัด ทางกายภาพดั้งเดิมและเปลี่ยนอุตสาหกรรมสารตั้งต้นทั้งหมด

ในการเตรียมสารตั้งต้นซิลิกอนคาร์ไบด์คุณภาพสูงและคุณภาพสูงแกนกลางต้องมีการควบคุมอุณหภูมิการผลิตที่แม่นยำโดยวัสดุสนามความร้อนที่ดี ปัจจุบันชุดเบ้าหลอมสนามความร้อนที่ใช้เป็นส่วนใหญ่เป็นส่วนประกอบโครงสร้างกราไฟท์ที่มีความบริสุทธิ์สูงซึ่งฟังก์ชั่นคือความร้อนผงคาร์บอนหลอมเหลวและผงซิลิกอนเช่นเดียวกับการรักษาความร้อน

เมื่อคุณเห็นเซมิคอนดักเตอร์รุ่นที่สามคุณจะสงสัยว่าคนรุ่นแรกและรุ่นที่สองคืออะไร "รุ่น" ที่นี่จัดขึ้นตามวัสดุที่ใช้ในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์

Chuck ไฟฟ้าสถิต (ESC) หรือที่เรียกว่า Chuck ไฟฟ้าสถิต (ESC, E-Chuck) เป็นอุปกรณ์ติดตั้งที่ใช้หลักการของการดูดซับไฟฟ้าสถิตเพื่อเก็บและแก้ไขวัสดุที่ดูดซับ เหมาะสำหรับสภาพแวดล้อมสูญญากาศและพลาสมา

ผู้ให้บริการเวเฟอร์ SIC ซึ่งเป็นวัสดุสิ้นเปลืองที่สำคัญในห่วงโซ่อุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์รุ่นที่สามลักษณะทางเทคนิคของพวกเขาส่งผลโดยตรงต่อผลผลิตของการเติบโตของ epitaxial และการผลิตอุปกรณ์ ด้วยความต้องการที่เพิ่มขึ้นสำหรับอุปกรณ์ที่มีแรงดันสูงและอุณหภูมิสูงในอุตสาหกรรมเช่นสถานีฐาน 5G และยานพาหนะพลังงานใหม่การวิจัยและการประยุกต์ใช้ผู้ให้บริการ SIC Werfer กำลังเผชิญกับโอกาสในการพัฒนาที่สำคัญ

อลูมินาเซรามิกเป็น "workhorse" สำหรับการผลิตส่วนประกอบเซรามิก พวกเขาแสดงคุณสมบัติเชิงกลที่ยอดเยี่ยมจุดหลอมเหลวและความแข็งสูงเป็นพิเศษความต้านทานการกัดกร่อนความเสถียรทางเคมีที่แข็งแกร่งความต้านทานสูงและฉนวนไฟฟ้าที่เหนือกว่า พวกเขามักจะใช้ในการประดิษฐ์แผ่นขัด, chucks สุญญากาศ, แขนเซรามิกและชิ้นส่วนที่คล้ายกัน

วัสดุเซมิคอนดักเตอร์สามารถแบ่งออกเป็นสามชั่วอายุคนตามลำดับเวลา รุ่นแรกประกอบด้วยวัสดุองค์ประกอบทั่วไปเช่นเจอร์เมเนียมและซิลิคอนซึ่งมีลักษณะโดยการสลับที่สะดวกและโดยทั่วไปจะใช้ในวงจรรวม สารประกอบเซมิคอนดักเตอร์รุ่นที่สองเช่น Gallium Arsenide และ Indium Phosphide ส่วนใหญ่จะใช้ในการเรืองแสงและวัสดุการสื่อสาร

อุปกรณ์ควอตซ์มีบทบาทสำคัญในการผลิตเซลล์แสงอาทิตย์นำเสนอความต้านทานความร้อนที่ยอดเยี่ยมความบริสุทธิ์ทางเคมีและความเสถียรของโครงสร้างที่จำเป็นในกระบวนการอุณหภูมิสูง จากหลอดการแพร่กระจายของควอตซ์และไม้กางเขนไปจนถึงเรือควอตซ์และส่วนประกอบเตาเผาวัสดุที่มีความบริสุทธิ์สูงเหล่านี้มีความจำเป็นสำหรับการบรรลุประสิทธิภาพที่ดีที่สุดในการแพร่กระจาย CVD และขั้นตอนการแกะสลักแบบเปียก

การเคลือบ TAC เกือบจะกำจัดปรากฏการณ์การห่อหุ้มคาร์บอนโดยการแยกการสัมผัสโดยตรงระหว่างเบ้าหลอมกราไฟท์และ SIC ละลายอย่างมีนัยสำคัญลดความหนาแน่นของข้อบกพร่องของ microtubes อย่างมีนัยสำคัญ

Sic Ceramic เป็นวัสดุเซรามิกที่เกิดจากปฏิกิริยาของซิลิคอน (SI) และองค์ประกอบคาร์บอน (C) ซึ่งมีความแข็งสูงมากความต้านทานความร้อนและความเสถียรทางเคมี

ในโลกที่มีเดิมพันสูงของการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ความแม่นยำและความมั่นคงเป็นทุกอย่าง-และนั่นคือที่ที่ชัคไฟฟ้าสถิต (ESC) ก้าวเข้ามามากกว่าเครื่องมือที่ถือครอง ESC ใช้แรงไฟฟ้าสถิต แต่มันทำงานอย่างไร? ทำไมมันถึงดีกว่าการยึดกลแบบดั้งเดิม? และมีบทบาทอย่างไรในการบรรลุความแม่นยำระดับนาโนและประสิทธิภาพของปริมาณงาน? ยินดีต้อนรับสู่การอ่าน

หลักการหลั่งไหลของชัคไฟฟ้าสถิตเป็นส่วนสำคัญของเวิร์กโฟลว์ที่เกี่ยวข้องกับการกำจัดแรงไฟฟ้าสถิตและกลไกการปลดปล่อยเวเฟอร์

Glassy Carbon เป็นคาร์บอนที่ไม่มีกราฟที่รวมคุณสมบัติของแก้วและเซรามิก มันมีคุณสมบัติมากมายเช่นความต้านทานอุณหภูมิสูงความต้านทานการกัดกร่อนการนำไฟฟ้าที่ดี ฯลฯ บล็อกนี้วิเคราะห์ประวัติการวิจัยและแนวโน้มการพัฒนาในอนาคตของคาร์บอนแก้วซึ่งคุ้มค่าที่จะอ่าน