ข่าวอุตสาหกรรม

ในโลกของเซมิคอนดักเตอร์แบบแถบความถี่กว้าง (WBG) หากกระบวนการผลิตขั้นสูงคือ "จิตวิญญาณ" ตัวรับกราไฟต์ก็คือ "แกนหลัก" และการเคลือบผิวของมันคือ "ผิวหนัง" ที่สำคัญ

ในโลกของอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์กำลังที่มีเดิมพันสูง ซิลิคอนคาร์ไบด์ (SiC) และแกลเลียมไนไตรด์ (GaN) กำลังเป็นหัวหอกในการปฏิวัติ ตั้งแต่ยานพาหนะไฟฟ้า (EV) ไปจนถึงโครงสร้างพื้นฐานด้านพลังงานหมุนเวียน อย่างไรก็ตาม ความแข็งและความเฉื่อยทางเคมีในตำนานของวัสดุเหล่านี้ทำให้เกิดปัญหาคอขวดในการผลิตที่น่าเกรงขาม

ในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ กระบวนการเคมีเชิงกล Planarization (CMP) เป็นขั้นตอนหลักในการบรรลุการจัดระนาบพื้นผิวเวเฟอร์ ซึ่งเป็นตัวกำหนดความสำเร็จหรือความล้มเหลวของขั้นตอนการพิมพ์หินที่ตามมาโดยตรง เนื่องจากเป็นวัสดุสิ้นเปลืองที่สำคัญใน CMP ประสิทธิภาพของ Polishing Slurry จึงเป็นปัจจัยที่ดีที่สุดในการควบคุมอัตราการกำจัด (RR) ลดข้อบกพร่องให้เหลือน้อยที่สุด และเพิ่มผลผลิตโดยรวม