หัวฝักบัวซิลิคอนคาร์ไบด์

Vetek Semiconductor Silicon Carbide Shower Head ส่วนใหญ่ทำจาก SIC ในการประมวลผลเซมิคอนดักเตอร์ฟังก์ชั่นหลักของหัวฝักบัวซิลิคอนคาร์ไบด์คือการกระจายก๊าซปฏิกิริยาอย่างสม่ำเสมอเพื่อให้แน่ใจว่าการก่อตัวของฟิล์มสม่ำเสมอการสะสมไอสารเคมี (CVD)หรือการสะสมไอทางกายภาพ (PVD)กระบวนการ เนื่องจากคุณสมบัติที่ยอดเยี่ยมของ SIC เช่นการนำความร้อนสูงและความเสถียรทางเคมีหัวฝักบัว SIC สามารถทำงานได้อย่างมีประสิทธิภาพที่อุณหภูมิสูงลดความไม่สม่ำเสมอของการไหลของก๊าซในระหว่างกระบวนการสะสมและปรับปรุงคุณภาพของชั้นภาพยนตร์

หัวฝักบัวซิลิคอนคาร์ไบด์สามารถกระจายก๊าซปฏิกิริยาผ่านหัวฉีดหลายตัวที่มีรูรับแสงเดียวกันตรวจสอบให้แน่ใจว่ามีการไหลของก๊าซสม่ำเสมอหลีกเลี่ยงความเข้มข้นในท้องถิ่นที่สูงหรือต่ำเกินไปและปรับปรุงคุณภาพของฟิล์ม เมื่อรวมกับความต้านทานอุณหภูมิสูงและความเสถียรทางเคมีที่ยอดเยี่ยมของCVD sicไม่มีการปล่อยอนุภาคหรือสารปนเปื้อนในระหว่างกระบวนการสะสมฟิล์มซึ่งเป็นสิ่งสำคัญในการรักษาความบริสุทธิ์ของการสะสมภาพยนตร์

เมทริกซ์ประสิทธิภาพหลัก

ตัวชี้วัดที่สำคัญข้อกำหนดทางเทคนิคมาตรฐานการทดสอบ

วัสดุพื้นฐาน 6n การสะสมไอสารเคมีเกรดซิลิกอนคาร์ไบด์กึ่ง F47-0703

การนำความร้อน (25 ℃) 330 W/(M · K) ± 5%ASTM E1461

ช่วงอุณหภูมิการทำงาน -196 ℃ ~ 1650 ℃ความเสถียรของวงจร MIL-STD-883 วิธีการ

ความแม่นยำของการตัดเฉือนรูรับแสง± 0.005 มม. (เทคโนโลยีการตัดเฉือนของเลเซอร์ไมโครฮูล) ISO 286-2

ความขรุขระพื้นผิว RA ≤0.05μm (การรักษาเกรดกระจก) JIS B 0601: 2013

ความได้เปรียบด้านนวัตกรรมสามกระบวนการ

การควบคุมการไหลเวียนของอากาศระดับนาโน

1080 Hole Matrix Design: ใช้โครงสร้างรังผึ้งแบบอสมมาตรเพื่อให้ได้ความสม่ำเสมอของการกระจายก๊าซ 95.7% (ข้อมูลที่วัดได้)

เทคโนโลยีรูรับแสงแบบไล่ระดับสี: วงแหวนรอบนอก 0.35 มม

การป้องกันการปนเปื้อนเป็นศูนย์

การรักษาพื้นผิวที่สะอาดเป็นพิเศษ:

การแกะสลักลำแสงไอออนจะลบชั้นใต้ผิวดินที่เสียหาย

การทับถมของชั้นอะตอม (ALD) Al₂o₃ฟิล์มป้องกัน (ไม่บังคับ)

ความเสถียรทางกลร้อน

ค่าสัมประสิทธิ์การเสียรูปความร้อน: ≤0.8μm/m ·℃ (ต่ำกว่าวัสดุดั้งเดิม 73%)

ผ่านการทดสอบช็อตความร้อน 3000 ครั้ง (RT↔1450℃รอบ)

ข้อมูล SEM ของโครงสร้างผลึกฟิล์ม CVD SIC：

คุณสมบัติทางกายภาพพื้นฐานของ CVD การเคลือบ SIC：

Vetek Semiconductor Silicon Carbide Shows Head Shops：：