หัวฝักบัว sic

Vetek Semiconductor ให้บริการฝักบัวอาบน้ำ SIC ขั้นสูงให้กับอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ วัสดุซิลิกอนคาร์ไบด์มีการผสมผสานที่เป็นเอกลักษณ์ของคุณสมบัติความร้อนไฟฟ้าและเคมีที่ยอดเยี่ยมทำให้เหมาะสำหรับการใช้งานในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ซึ่งจำเป็นต้องใช้วัสดุที่มีประสิทธิภาพสูง Vetek Semiconductor มีประสบการณ์สะสมมานานในเทคโนโลยี CVD Solid SIC เทคโนโลยีการปฏิวัติของ Vetek Semiconductor ช่วยให้สามารถผลิต SIC SHOWER Head ซึ่งเป็นวัสดุซิลิกอนคาร์ไบด์ที่มีความบริสุทธิ์สูงเป็นพิเศษที่สร้างขึ้นผ่านกระบวนการสะสมไอสารเคมี

หัวฝักบัว sic เป็นองค์ประกอบสำคัญในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ออกแบบมาโดยเฉพาะสำหรับระบบ MOCVD, silicon epitaxy และsicกระบวนการ epitaxy- ทำจากความแข็งแกร่งซิลิกอนคาร์ไบด์ที่เป็นของแข็ง (SIC)ส่วนประกอบนี้สามารถทนต่อเงื่อนไขที่รุนแรงของการประมวลผลพลาสมาและแอพพลิเคชั่นอุณหภูมิสูง

ซิลิกอนคาร์ไบด์ (SIC)เป็นที่รู้จักกันดีในเรื่องการนำความร้อนสูงความต้านทานการกัดกร่อนทางเคมีและความแข็งแรงเชิงกลที่ยอดเยี่ยมทำให้เป็นวัสดุที่เหมาะสำหรับส่วนประกอบ SIC จำนวนมากเช่นหัวฝักบัว sic หัวฝักบัวแก๊สช่วยให้มั่นใจได้ถึงการกระจายของก๊าซกระบวนการเหนือพื้นผิวเวเฟอร์ซึ่งเป็นสิ่งจำเป็นสำหรับการผลิตชั้น epitaxial คุณภาพสูง วงแหวนโฟกัสและวงแหวนขอบมักทำจาก CVD-SIC รักษาการกระจายพลาสมาสม่ำเสมอและปกป้องห้องจากการปนเปื้อนเพิ่มประสิทธิภาพและผลผลิตของการเจริญเติบโตของ epitaxial

ด้วยการควบคุมการไหลของก๊าซที่แม่นยำและคุณสมบัติของวัสดุที่โดดเด่นหัวฝักบัว sic เป็นองค์ประกอบสำคัญในการประมวลผลเซมิคอนดักเตอร์ที่ทันสมัยรองรับการใช้งานขั้นสูงใน silicon epitaxy และ sic epitaxy

Vetek Semiconductor นำเสนอความต้านทานต่ำซิลิกอนคาร์ไบด์เซมิคอนดักเตอร์หัวฝักบัว เรามีความสามารถในการจัดหาวิศวกรและอุปทานที่กำหนดเองวัสดุเซรามิกขั้นสูงใช้ประโยชน์จากความสามารถที่เป็นเอกลักษณ์ที่หลากหลาย