ตัวรับถังเคลือบ SiC สำหรับ LPE PE2061S

Vetek Semiconductor เป็นมืออาชีพของ China Sic Sic Coated Barrel Barrelแอลพีอี พีอี2061Sผู้ผลิตและผู้จำหน่าย

Vetek Semiconductor SIC-coated Barrel vensceptor สำหรับ LPE PE2061S เป็นผลิตภัณฑ์ประสิทธิภาพสูงที่สร้างขึ้นโดยการใช้ชั้นดีของซิลิกอนคาร์ไบด์ลงบนพื้นผิวของกราไฟท์ isotropic บริสุทธิ์สูง นี่คือความสำเร็จผ่านกรรมสิทธิ์ของ Vetek Semiconductorการสะสมไอสารเคมี (CVD)กระบวนการ.

SiC Coated Barrel Susceptor ของเราสำหรับ LPE PE2061S เป็นเครื่องปฏิกรณ์แบบบาร์เรลแบบเคลือบอีพิแทกเซียล CVD ชนิดหนึ่ง ได้รับการออกแบบมาเพื่อมอบประสิทธิภาพที่เชื่อถือได้ในสภาพแวดล้อมที่รุนแรง การยึดเกาะของการเคลือบที่ยอดเยี่ยม ความต้านทานการเกิดออกซิเดชันที่อุณหภูมิสูง และความต้านทานการกัดกร่อน ทำให้เป็นตัวเลือกที่ยอดเยี่ยมสำหรับการใช้งานในสภาวะที่ไม่เอื้ออำนวย นอกจากนี้ รูปแบบการระบายความร้อนที่สม่ำเสมอและรูปแบบการไหลของก๊าซแบบลามินาร์ยังป้องกันการปนเปื้อน จึงรับประกันการเติบโตของอีปิแอกเซียลคุณภาพสูง

การออกแบบรูปทรงถังของเซมิคอนดักเตอร์ของเราเครื่องปฏิกรณ์ epitaxisปรับรูปแบบการไหลของก๊าซลามินาร์ให้เหมาะสมเพื่อให้มั่นใจว่าการกระจายความร้อนสม่ำเสมอ สิ่งนี้จะช่วยป้องกันการปนเปื้อนหรือการแพร่กระจายของสิ่งสกปรกรับประกันการเจริญเติบโตของ epitaxis คุณภาพสูงบนพื้นผิวเวเฟอร์.

เราทุ่มเทเพื่อให้ลูกค้าของเราได้รับผลิตภัณฑ์คุณภาพสูงและคุ้มค่า ตัวรับท่อแบบเคลือบ CVD SiC ของเรามอบข้อได้เปรียบด้านความสามารถในการแข่งขันด้านราคา ในขณะเดียวกันก็รักษาความหนาแน่นที่ดีเยี่ยมสำหรับทั้งสองแบบพื้นผิวกราไฟท์และการเคลือบซิลิกอนคาร์ไบด์ให้การป้องกันที่เชื่อถือได้ในสภาพแวดล้อมการทำงานที่อุณหภูมิสูงและมีฤทธิ์กัดกร่อน

ข้อมูล SEM ของโครงสร้างคริสตัลฟิล์ม CVD SIC:

ตัวรับแบบบาร์เรลที่เคลือบด้วย SiC สำหรับการเจริญเติบโตของผลึกเดี่ยวมีความเรียบของพื้นผิวที่สูงมาก

ช่วยลดความแตกต่างของค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อนระหว่างพื้นผิวกราไฟท์และ

การเคลือบซิลิกอนคาร์ไบด์ช่วยเพิ่มความแข็งแรงในการยึดเกาะได้อย่างมีประสิทธิภาพและป้องกันการแตกร้าวและการหลุดร่อน

ทั้งสารตั้งต้นกราไฟท์และการเคลือบซิลิกอนคาร์ไบด์มีค่าการนำความร้อนสูงและความสามารถในการกระจายความร้อนที่ยอดเยี่ยม

มีจุดหลอมเหลวสูงอุณหภูมิสูงความต้านทานต่อการเกิดออกซิเดชัน, และความต้านทานการกัดกร่อน.