วงแหวนโฟกัส SiC ที่เป็นของแข็ง

6. ฟิลด์แอปพลิเคชันหลัก

7. ข้อดีของแกนโฟกัส SiC ของ Veteksemi ที่เป็นของแข็ง

ทนต่อการกัดกร่อนของพลาสมาได้ดีเยี่ยม

ภายใต้การสัมผัสพลาสมาความหนาแน่นสูงที่มีฤทธิ์กัดกร่อนสูงเป็นเวลานาน เช่น CF4, O2 และ Cl2 วัสดุทั่วไปจะไวต่อการสึกหรออย่างรวดเร็วและการปนเปื้อนของอนุภาค วงแหวนโฟกัส SiC ที่แข็งแกร่งของเรามีความต้านทานการกัดกร่อนได้ดีเยี่ยม โดยมีอัตราการกัดกร่อนต่ำกว่าวัสดุ เช่น ควอตซ์หรืออลูมินามาก ซึ่งหมายความว่าจะรักษาพื้นผิวที่เรียบได้ตลอดเวลา ซึ่งช่วยลดความเสี่ยงของข้อบกพร่องของเวเฟอร์ที่เกิดจากการสึกหรอของส่วนประกอบได้อย่างมาก ช่วยให้มั่นใจได้ถึงการผลิตจำนวนมากอย่างต่อเนื่องและมีเสถียรภาพ

มีเสถียรภาพในอุณหภูมิสูงและประสิทธิภาพการจัดการความร้อนที่ดีเยี่ยม

กระบวนการกัดเซมิคอนดักเตอร์ทำให้เกิดความร้อนอย่างมาก ส่งผลให้ส่วนประกอบของห้องเพาะเลี้ยงต้องเผชิญกับความผันผวนของอุณหภูมิอย่างมาก วงแหวนโฟกัสของเรามีค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวจากความร้อนต่ำมาก สามารถทนต่ออุณหภูมิชั่วคราวได้สูงถึง 1600°C โดยไม่แตกร้าวหรือเสียรูป นอกจากนี้ การนำความร้อนสูงโดยธรรมชาติยังช่วยกระจายความร้อนอย่างสม่ำเสมอและรวดเร็ว ปรับปรุงการกระจายอุณหภูมิที่ขอบเวเฟอร์ได้อย่างมีประสิทธิภาพ จึงช่วยเพิ่มความสม่ำเสมอของการแกะสลักและความสม่ำเสมอของมิติที่สำคัญทั่วทั้งแผ่นเวเฟอร์

ความบริสุทธิ์ของวัสดุและความหนาแน่นของโครงสร้างที่ไม่ธรรมดา

เราควบคุมความบริสุทธิ์ของวัตถุดิบซิลิกอนคาร์ไบด์อย่างเข้มงวด (≥99.999%) และกำจัดการปนเปื้อนของโลหะในระหว่างกระบวนการเผาผนึก เพื่อให้เป็นไปตามข้อกำหนดที่เข้มงวดของกระบวนการผลิตขั้นสูงสำหรับการควบคุมสิ่งเจือปนปริมาณเล็กน้อย โครงสร้างหนาแน่นที่เกิดขึ้นจากการเผาผนึกที่อุณหภูมิสูงมีความพรุนต่ำมาก ปิดกั้นการซึมผ่านของก๊าซในกระบวนการและผลิตภัณฑ์พลอยได้เกือบทั้งหมด ซึ่งจะช่วยป้องกันการเสื่อมประสิทธิภาพและการเติบโตของอนุภาคที่เกิดจากการเสื่อมสภาพของวัสดุภายใน ทำให้มั่นใจได้ถึงสภาพแวดล้อมของห้องกระบวนการที่บริสุทธิ์

อายุการใช้งานของเครื่องจักรยาวนานและความคุ้มทุนที่ครอบคลุม

เมื่อเปรียบเทียบกับวัสดุสิ้นเปลืองทั่วไปที่ต้องมีการเปลี่ยนบ่อยครั้ง วงแหวนโฟกัส SiC แบบแข็งของ Veteksemi มีความทนทานเป็นพิเศษ พวกเขารักษาประสิทธิภาพที่มั่นคงตลอดอายุการใช้งาน โดยขยายรอบการเปลี่ยนหลายครั้ง ซึ่งไม่เพียงแต่ช่วยลดต้นทุนการจัดซื้ออะไหล่โดยตรง แต่ยังปรับปรุงการใช้เครื่องจักรอย่างมีนัยสำคัญด้วยการลดเวลาหยุดทำงานของอุปกรณ์เพื่อการบำรุงรักษา ส่งผลให้ลูกค้าได้เปรียบด้านต้นทุนโดยรวมอย่างมีนัยสำคัญ

การควบคุมขนาดที่แม่นยำและบริการปรับแต่งที่ยืดหยุ่น

เราเข้าใจข้อกำหนดที่แม่นยำของเครื่องจักรและกระบวนการต่างๆ สำหรับวัสดุสิ้นเปลือง วงแหวนปรับโฟกัสแต่ละวงผ่านการตัดเฉือนอย่างแม่นยำและการทดสอบอย่างเข้มงวดเพื่อให้มั่นใจถึงพิกัดความเผื่อขนาดวิกฤตภายใน ±0.05 มม. นอกจากนี้เรายังเสนอบริการที่ปรับแต่งได้ รวมถึงขนาดที่กำหนดเอง การตกแต่งพื้นผิว (การขัดเงาถึง Ra ≤ 0.2μm) และการปรับค่าการนำไฟฟ้าเพื่อให้เหมาะกับข้อกำหนดเฉพาะของกระบวนการและสถานการณ์การใช้งานของคุณอย่างสมบูรณ์แบบ

สำหรับข้อกำหนดทางเทคนิคโดยละเอียด เอกสารไวท์เปเปอร์ หรือการเตรียมการทดสอบตัวอย่าง โปรดติดต่อทีมสนับสนุนทางเทคนิคของเราเพื่อสำรวจว่า Veteksemi สามารถเพิ่มประสิทธิภาพกระบวนการของคุณได้อย่างไร