เครื่องดูดฝุ่น

แอปพลิเคชัน- 

เครื่องดูดฝุ่นที่มีประสิทธิภาพสูงสร้างขึ้นเพื่อการดูดซับที่แม่นยำและการตรึงของเวเฟอร์และแท่ง มันเหมาะสำหรับสถานการณ์รวมถึงการผลิตเซมิคอนดักเตอร์การตัดเวเฟอร์การประมวลผลความแม่นยำสูง epitaxy อุณหภูมิสูงการแกะสลักและการปลูกถ่ายไอออน

พารามิเตอร์หลัก:

●ความพรุนที่ปรับได้ (ตั้งแต่ 10 - 200μm)
●ความสามารถในการทนต่ออุณหภูมิสูงเป็นพิเศษ (สูงถึง≤1600° C) และแสดงความต้านทานต่อความร้อนที่ยอดเยี่ยม
●สูญญากาศการดูดซับ: มาตรฐานคือ - 90kpa (ปรับแต่งได้ถึง 100kpa)

●ขนาดถ้วยดูด: สามารถรองรับ 4/6/8/12 - เวเฟอร์นิ้วและขนาดของแท่งสามารถปรับแต่งตามความต้องการเฉพาะ

ⅰ. คำอธิบาย

Veteksemicon Ceramic Vacuum Chuck ใช้โครงสร้างรวมของเซรามิกที่มีรูพรุนและวงแหวนนอกโลหะ ผ่านการออกแบบช่องอากาศและรูขุมขนส่วนบุคคลจะตระหนักถึงการกระจายตัวของแรงดูดซับและเสถียรภาพสูง ชัคนี้เหมาะสำหรับการผลิตเซมิคอนดักเตอร์การตัดเวเฟอร์การประมวลผลที่แม่นยำ ฯลฯ มันสามารถทำงานได้ในอุณหภูมิสูงและการตั้งค่าการเคลื่อนไหวความเร็วสูงและเป็นไปตามข้อกำหนดความเข้ากันได้ของเวเฟอร์/แท่งในขนาดที่แตกต่างกัน

ⅱ. โครงสร้างหลักและข้อดีของวัสดุ

เลย์เอาต์คอมโพสิตหลายชั้น:

✔ชั้นผิว: ทำจากเซรามิกที่มีรูพรุน (คุณสามารถเลือกระหว่างซิลิกอนคาร์ไบด์ที่มีรูพรุนหรือกราไฟท์ที่มีรูพรุน) เส้นผ่านศูนย์กลางรูขุมขนสามารถปรับได้ (10 - 200μm) ซึ่งรับประกันได้ว่าแรงดูดซับจะถูกถ่ายโอนไปยังพื้นผิวของเวเฟอร์อย่างสม่ำเสมอ

✔เมทริกซ์: ประกอบด้วยกรอบโลหะที่มีความแข็งสูง (ทั้งสแตนเลสหรือโลหะผสมอลูมิเนียม) เพื่อให้การสนับสนุนโครงสร้างและความรุนแรง

✔ทางเดินหายใจและรูขุมขน: ทางเดินหายใจภายในที่มีการกลึงอย่างแม่นยำก่อตัวเป็นเครือข่ายพร้อมกับ micropores ที่เว้นระยะเท่ากัน การตั้งค่านี้รองรับการสกัดสูญญากาศอย่างรวดเร็ว (แรงดูดซับสามารถสูงถึง - 90kpa) และปล่อยทันที

Ⅲ - การเปรียบเทียบ MAลักษณะ terial

1. การเปรียบเทียบคุณสมบัติของวัสดุ

2. สถานการณ์แอปพลิเคชันและกรณี

✔ ผ้าเซมิคอนดักเตอร์

การเจริญเติบโตของ Epitaxial: สามารถดูดซับเวเฟอร์ Sic ได้อย่างแน่นหนาที่อุณหภูมิสูงป้องกันเวเฟอร์จากการแปรปรวนและการปนเปื้อน

การพิมพ์หินและการแกะสลัก: ช่วยให้การวางตำแหน่งที่แม่นยำบนแพลตฟอร์มการเคลื่อนที่ความเร็วสูง (การเร่งความเร็ว≤10g) เพื่อให้มั่นใจถึงความแม่นยำของการจัดตำแหน่งกราฟิก

✔ การประมวลผลแบบแท่ง

การตัดและการบด: มันสามารถดูดซับแท่งหนัก (เช่นไพลินและซิลิกอน - แท่งคาร์ไบด์) ลดการแตกร้าวของขอบเนื่องจากการสั่นสะเทือน

✔ การวิจัยทางวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีพิเศษ

สูง - การหลอมอุณหภูมิ: ซิลิคอนที่มีรูพรุน - ถ้วยดูดคาร์ไบด์สามารถทำงานได้อย่างต่อเนื่องที่ 1600 ° C โดยไม่ต้องเสียรูปหรือการระบายมลพิษ

การเคลือบสูญญากาศ: ด้วยการออกแบบอากาศสูง - ความหนาแน่นสามารถปรับให้เข้ากับสภาพแวดล้อมโพรง PVD/CVD

3. บริการที่กำหนดเอง

✔เราเสนอการปรับแต่งสำหรับขนาดและโหลด

✔ปากใบและทางเดินหายใจสามารถปรับให้เหมาะสมเพื่อตอบสนองความต้องการเฉพาะ

✔สามารถปรับให้เข้ากับสภาพแวดล้อมพิเศษ

ⅳ. คำถามที่พบบ่อย:

สุญญากาศ chucks บรรลุความเข้ากันได้ของเวเฟอร์หลายขนาดได้อย่างไร (เช่น 12/8/6 ")?

ถาม: ชัคเดี่ยวพอดีกับเวเฟอร์ขนาด 12 นิ้ว 8 นิ้วและ 6 นิ้วในเวลาเดียวกัน? การปรับโครงสร้างทางกายภาพจำเป็นหรือไม่?

A:ความเข้ากันได้หลายมิติผ่านทางเดินหายใจแบบปรับตัวและการแบ่งช่องปาก

✔ การควบคุมปากใบแบบไดนามิก: ปากใบบนพื้นผิวของดูดมีการกระจายในพื้นที่วงแหวนและวงจรอากาศในพื้นที่ต่าง ๆ ถูกควบคุมโดยวาล์วภายนอก

ตัวอย่างเช่นเมื่อดูดซับเวเฟอร์ขนาด 8 นิ้วจะเปิดใช้งานรูขุมขนในพื้นที่ส่วนกลางและปิดรูขุมขนด้านนอก (เพื่อหลีกเลี่ยงการรั่วไหลของแรงดูดซับ)

✔ การออกแบบทางเดินหายใจที่ยืดหยุ่น- เครือข่ายพอร์ตมีเค้าโครงแบบแยกส่วนที่ตรงกับโปรไฟล์ขอบของเวเฟอร์ที่มีขนาดแตกต่างกันเพื่อให้แน่ใจว่าครอบคลุมแรงดูดซับที่สม่ำเสมอ และ ข้อดีคือดังต่อไปนี้:

การเปลี่ยนฮาร์ดแวร์เป็นศูนย์: ไม่จำเป็นต้องลบหรือเปลี่ยนถ้วยดูดผ่านซอฟต์แวร์หรือสวิตช์วาล์วแก๊สสามารถปรับให้เข้ากับขนาดที่แตกต่างกัน

การประหยัดต้นทุน: ลดต้นทุนการปรับปรุงอุปกรณ์และการหยุดทำงานและเพิ่มความยืดหยุ่นของสายการผลิต