สินค้า
สินค้า
เชยไฟฟ้าสถิตเซรามิก
  • เชยไฟฟ้าสถิตเซรามิกเชยไฟฟ้าสถิตเซรามิก

เชยไฟฟ้าสถิตเซรามิก

ชัคไฟฟ้าสถิตเซรามิกใช้กันอย่างแพร่หลายในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์และการประมวลผลเพื่อแก้ไขเวเฟอร์ มันเป็นเครื่องมือที่ขาดไม่ได้สำหรับการประมวลผลเวเฟอร์ที่มีความแม่นยำสูง Vetek Semiconductor เป็นผู้ผลิตที่มีประสบการณ์และซัพพลายเออร์ของชัคไฟฟ้าสถิตเซรามิกและสามารถให้ผลิตภัณฑ์ที่ปรับแต่งได้สูงตามความต้องการของลูกค้าที่แตกต่างกัน

กระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์โดยเฉพาะการประมวลผลเวเฟอร์จะดำเนินการในสภาพแวดล้อมสูญญากาศ 

Ceramic Electrostatic Chuck

ความเสี่ยงบางอย่าง เมื่อแรงเข้มข้นบนจุดยึดเวเฟอร์ซิลิคอนเปราะอาจหลั่งเศษเล็ก ๆ ทำให้เกิดความเสียหายอย่างร้ายแรงต่อการผลิตเวเฟอร์


ในกรณีนี้ชัคไฟฟ้าสถิตเซรามิกกลายเป็นตัวเลือกที่ดีกว่าซึ่งจะแก้ไขเวเฟอร์ด้วยแรงไฟฟ้าสถิต แรงไฟฟ้าสถิตทำหน้าที่อย่างสม่ำเสมอบนเวเฟอร์ดังนั้นเวเฟอร์สามารถแก้ไขได้อย่างราบรื่นปรับปรุงความแม่นยำของกระบวนการ


ตามรายงานการวิจัยที่เกี่ยวข้องชัคไฟฟ้าสถิตเซรามิกมีการดูดที่แข็งแกร่งกว่า chucks ไฟฟ้าสถิตอื่น ๆ ตัวอย่างเช่นชัคไฟฟ้าสถิตเซรามิกมีการดูดที่แข็งแกร่งกว่าฟิล์มไฟฟ้าสถิตชัค


Ceramic E-chuck Physical Propertiesชัคเซรามิกมักทำจากวัสดุเซรามิกประสิทธิภาพสูงเช่น Al2O3, Aln หรือ SIC ซึ่งมีความต้านทานความร้อนสูงฉนวนและความต้านทานการกัดกร่อน ชัคเซรามิก sic ที่มีรูพรุนไม่เพียง แต่มีความเสถียรที่อุณหภูมิสูง แต่ยังช่วยป้องกันไม่ให้เซรามิกอิเล็กทรอนิกส์จากการย่อยสลายเนื่องจากสารเคมีและการแกะสลักพลาสมาในระหว่างกระบวนการผลิต


การควบคุมอุณหภูมิ: ค่าการนำความร้อนสูงและคุณสมบัติความร้อนที่เสถียรของวัสดุเซรามิกช่วยให้เครื่องดูดฝุ่นเซรามิกอะลูมินาสามารถควบคุมอุณหภูมิได้อย่างมีประสิทธิภาพดังนั้นจึงปรับการกระจายอุณหภูมิให้เหมาะสมในระหว่างกระบวนการ

Ceramic E-chuck working diagram



การปรับตัวสูญญากาศ: ชัคไฟฟ้าสถิตเซรามิกเหมาะสำหรับสภาพแวดล้อมสูญญากาศโดยเฉพาะอย่างยิ่งในกระบวนการแกะสลักความดันต่ำและความแม่นยำสูง


การสร้างอนุภาคต่ำ: E-Chuck เซรามิก sic ที่มีรูพรุนมีพื้นผิวที่เรียบซึ่งสามารถลดการปนเปื้อนของอนุภาคในระหว่างการแก้ไขแผ่นเวเฟอร์และช่วยปรับปรุงผลผลิตผลิตภัณฑ์


แอปพลิเคชั่น: ใช้เป็นหลักในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์, การปลดปล่อยไฟฟ้าสถิตเซรามิกที่สามารถถอดออกได้ซึ่งให้ตำแหน่งและเสถียรภาพที่แม่นยำซึ่งเป็นประโยชน์อย่างมากสำหรับการพิมพ์หินการแกะสลักและกระบวนการผลิตแผ่นเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์อื่น ๆ ตรวจสอบให้แน่ใจว่าเวเฟอร์ยังคงอยู่ระหว่างการประมวลผลและปรับปรุงคุณภาพของการผลิตชิป


มันเป็นเซมิคอนดักเตอร์ร้านค้าผลิต E-Chuck เซรามิก:


Semiconductor EquipmentGraphite epitaxial substrateGraphite ring assemblySemiconductor process equipment


แท็กยอดนิยม: เชยไฟฟ้าสถิตเซรามิก
ส่งคำถาม
ข้อมูลติดต่อ
  • ที่อยู่

    Wangda Road, Ziyang Street, Wuyi County, Jinhua City, มณฑลเจ้อเจียง, จีน, จีน

  • โทร

    +86-18069220752

  • อีเมล

    anny@veteksemi.com

หากมีข้อสงสัยเกี่ยวกับการเคลือบซิลิคอนคาร์ไบด์ การเคลือบแทนทาลัมคาร์ไบด์ กราไฟท์พิเศษ หรือรายการราคา โปรดฝากอีเมลของคุณมาหาเรา แล้วเราจะติดต่อกลับภายใน 24 ชั่วโมง
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept