เชยไฟฟ้าสถิตเซรามิก

กระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์โดยเฉพาะการประมวลผลเวเฟอร์จะดำเนินการในสภาพแวดล้อมสูญญากาศ 

ความเสี่ยงบางอย่าง เมื่อแรงเข้มข้นบนจุดยึดเวเฟอร์ซิลิคอนเปราะอาจหลั่งเศษเล็ก ๆ ทำให้เกิดความเสียหายอย่างร้ายแรงต่อการผลิตเวเฟอร์

ในกรณีนี้ชัคไฟฟ้าสถิตเซรามิกกลายเป็นตัวเลือกที่ดีกว่าซึ่งจะแก้ไขเวเฟอร์ด้วยแรงไฟฟ้าสถิต แรงไฟฟ้าสถิตทำหน้าที่อย่างสม่ำเสมอบนเวเฟอร์ดังนั้นเวเฟอร์สามารถแก้ไขได้อย่างราบรื่นปรับปรุงความแม่นยำของกระบวนการ

ตามรายงานการวิจัยที่เกี่ยวข้องชัคไฟฟ้าสถิตเซรามิกมีการดูดที่แข็งแกร่งกว่า chucks ไฟฟ้าสถิตอื่น ๆ ตัวอย่างเช่นชัคไฟฟ้าสถิตเซรามิกมีการดูดที่แข็งแกร่งกว่าฟิล์มไฟฟ้าสถิตชัค

ชัคเซรามิกมักทำจากวัสดุเซรามิกประสิทธิภาพสูงเช่น Al2O3, Aln หรือ SIC ซึ่งมีความต้านทานความร้อนสูงฉนวนและความต้านทานการกัดกร่อน ชัคเซรามิก sic ที่มีรูพรุนไม่เพียง แต่มีความเสถียรที่อุณหภูมิสูง แต่ยังช่วยป้องกันไม่ให้เซรามิกอิเล็กทรอนิกส์จากการย่อยสลายเนื่องจากสารเคมีและการแกะสลักพลาสมาในระหว่างกระบวนการผลิต

การควบคุมอุณหภูมิ: ค่าการนำความร้อนสูงและคุณสมบัติความร้อนที่เสถียรของวัสดุเซรามิกช่วยให้เครื่องดูดฝุ่นเซรามิกอะลูมินาสามารถควบคุมอุณหภูมิได้อย่างมีประสิทธิภาพดังนั้นจึงปรับการกระจายอุณหภูมิให้เหมาะสมในระหว่างกระบวนการ

การปรับตัวสูญญากาศ: ชัคไฟฟ้าสถิตเซรามิกเหมาะสำหรับสภาพแวดล้อมสูญญากาศโดยเฉพาะอย่างยิ่งในกระบวนการแกะสลักความดันต่ำและความแม่นยำสูง

การสร้างอนุภาคต่ำ: E-Chuck เซรามิก sic ที่มีรูพรุนมีพื้นผิวที่เรียบซึ่งสามารถลดการปนเปื้อนของอนุภาคในระหว่างการแก้ไขแผ่นเวเฟอร์และช่วยปรับปรุงผลผลิตผลิตภัณฑ์

แอปพลิเคชั่น: ใช้เป็นหลักในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์, การปลดปล่อยไฟฟ้าสถิตเซรามิกที่สามารถถอดออกได้ซึ่งให้ตำแหน่งและเสถียรภาพที่แม่นยำซึ่งเป็นประโยชน์อย่างมากสำหรับการพิมพ์หินการแกะสลักและกระบวนการผลิตแผ่นเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์อื่น ๆ ตรวจสอบให้แน่ใจว่าเวเฟอร์ยังคงอยู่ระหว่างการประมวลผลและปรับปรุงคุณภาพของการผลิตชิป

มันเป็นเซมิคอนดักเตอร์ร้านค้าผลิต E-Chuck เซรามิก: