อลูมินาเซรามิกชัค

ALUMINA CERAMIC VACUUM Chuck เป็นผู้ถือเวเฟอร์สำหรับกระบวนการ epitaxial ในการประมวลผลเซมิคอนดักเตอร์ มันเป็นเครื่องมือสำคัญสำหรับการทำให้เวเฟอร์ที่มีเสถียรภาพและสร้างความมั่นใจในการเติบโตอย่างสม่ำเสมอของชั้น epitaxial มีการใช้กันอย่างแพร่หลายในอุปกรณ์ epitaxial เช่นmocvdและLPCVD.

Vetek Semiconductor Alumina Ceramic Vacuum Chuck มีบทบาทสำคัญในขั้นตอนการทำให้ผอมบางของเวเฟอร์และการบดของการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ ขั้นตอนเหล่านี้เกี่ยวข้องกับการลดความหนาของสารตั้งต้นของเวเฟอร์เพื่อเพิ่มการกระจายความร้อนชิปซึ่งเป็นสิ่งจำเป็นในการปรับปรุงประสิทธิภาพและชีวิตของอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์

เข้ากันได้กับหลายขนาดเวเฟอร์: Vetek Semiconductor Alumina Ceramic Vacuum Chuck ได้รับการออกแบบมาเพื่อรองรับขนาดเวเฟอร์ที่หลากหลายรวมถึง 2, 3, 4, 5, 6, 8 และ 12 นิ้ว การปรับตัวนี้ทำให้เหมาะสำหรับสภาพแวดล้อมการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ที่หลากหลายเพื่อให้มั่นใจถึงประสิทธิภาพที่สอดคล้องและเชื่อถือได้ในขนาดเวเฟอร์ที่แตกต่างกัน

องค์ประกอบวัสดุที่เหนือกว่า: ฐานของเครื่องดูดฝุ่นเซรามิกอะลูมินาทำจากอลูมินา 99.9999% (AL₂O₃) ซึ่งมีความต้านทานต่อการโจมตีทางเคมีและความเสถียรทางความร้อนที่ยอดเยี่ยม พื้นผิวชัคทำจากรูพรุนซิลิกอนคาร์ไบด์ (SIC)- วัสดุเซรามิกที่มีรูพรุนมีโครงสร้างที่หนาแน่นและสม่ำเสมอซึ่งช่วยเพิ่มความทนทานและประสิทธิภาพ

ประโยชน์ของเทคโนโลยีเซรามิกที่มีรูพรุน：

ความบริสุทธิ์และความทนทานของวัสดุ: ทำจากอลูมินาบริสุทธิ์ 99.99% อลูมินาสุญญากาศของเราชัคจะต่อต้านการโจมตีทางเคมีและให้ความเสถียรทางความร้อนที่ยอดเยี่ยมทำให้เหมาะสำหรับสภาพแวดล้อมการผลิตที่ต้องการอย่างมาก

ความพรุนที่ดีที่สุดและการซึมผ่านของอากาศ: micropores ที่กระจายอย่างสม่ำเสมอให้การซึมผ่านของอากาศที่ดีเยี่ยมและแรงดูดซับที่สม่ำเสมอทำให้การทำงานราบรื่นและสม่ำเสมอ

เพิ่มความเรียบและความเท่าเทียมกัน: chucks สุญญากาศของอลูมินา microporous มีความเรียบและความเท่าเทียมที่ยอดเยี่ยมทำให้มั่นใจได้ว่าการจัดการเวเฟอร์และเสถียรภาพที่แม่นยำ

ความสามารถในการบริการที่กำหนดเอง: Veteksemi สามารถให้รูปทรงที่ปรับแต่งได้หลากหลายรวมถึงกลมสี่เหลี่ยมแหวนและการออกแบบอื่น ๆ ที่มีความหนาตั้งแต่ 3 มม. ถึง 10 มม. การปรับแต่งนี้ช่วยให้มั่นใจได้ว่า chucks สุญญากาศของอลูมินาเซรามิกของเราตอบสนองความต้องการเฉพาะของกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ที่แตกต่างกันและเป็นตัวเลือกในอุดมคติของคุณอย่างแน่นอน

Vetek Semiconductor มุ่งมั่นที่จะจัดหาโซลูชั่นเทคโนโลยีและผลิตภัณฑ์ขั้นสูงสำหรับอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์และเราหวังเป็นอย่างยิ่งว่าจะได้เป็นหุ้นส่วนระยะยาวของคุณในประเทศจีน

ที่สูตรเคมีของเซรามิกอลูมินา：

มันเป็นเซมิคอนดักเตอร์ร้านขายเครื่องดูดฝุ่นเซรามิกอลูมินา: