ลูกบาศก์เซรามิกที่มีรูพรุน

ช้อนสเซรามิก sic ที่มีรูพรุนที่นำเสนอโดย Veteksemicon ทำจากซิลิคอนคาร์ไบด์ที่มีรูพรุนสูง (SIC) ชัคเซรามิกนี้ช่วยให้มั่นใจได้ว่าการไหลของก๊าซสม่ำเสมอความเรียบที่ยอดเยี่ยมและความเสถียรทางความร้อนภายใต้สภาวะสูญญากาศสูงและอุณหภูมิ เหมาะอย่างยิ่งสำหรับระบบหนีบสูญญากาศที่ซึ่งการจัดการเวเฟอร์แบบไม่ติดต่อกับอนุภาคเป็นสิ่งสำคัญ

ⅰ. คุณสมบัติวัสดุสำคัญและประโยชน์ด้านประสิทธิภาพ

1. ค่าการนำความร้อนที่ยอดเยี่ยมและความต้านทานอุณหภูมิ

ซิลิกอนคาร์ไบด์มีการนำความร้อนสูง (120–200 w/m · k) และสามารถทนต่ออุณหภูมิการทำงานที่สูงกว่า 1,600 ° C ทำให้ชัคเหมาะสำหรับการแกะสลักพลาสมาการประมวลผลลำแสงไอออนและกระบวนการสะสมอุณหภูมิสูง

บทบาท: ทำให้มั่นใจได้ว่าการกระจายความร้อนที่สม่ำเสมอลดเว้นวาเป้และปรับปรุงความสม่ำเสมอของกระบวนการ

2. ความต้านทานความแข็งแรงเชิงกลและการสึกหรอที่เหนือกว่า

โครงสร้างจุลภาคที่หนาแน่นของ SIC ให้ความแข็งที่ยอดเยี่ยม (> 2000 HV) และความทนทานทางกลซึ่งจำเป็นสำหรับการทำซ้ำเวเฟอร์การโหลด/การขนถ่ายและสภาพแวดล้อมกระบวนการที่รุนแรง

บทบาท: ยืดอายุการใช้งานของชัคในขณะที่รักษาเสถียรภาพมิติและความแม่นยำของพื้นผิว

3. รูพรุนควบคุมสำหรับการกระจายสูญญากาศแบบสม่ำเสมอ

โครงสร้างที่มีรูพรุนที่ปรับแต่งอย่างประณีตของเซรามิกช่วยให้การดูดสูญญากาศที่สอดคล้องกันทั่วพื้นผิวเวเฟอร์ทำให้มั่นใจได้ว่าการจัดวางเวเฟอร์ที่ปลอดภัยด้วยการปนเปื้อนของอนุภาคน้อยที่สุด

บทบาท: เพิ่มความเข้ากันได้ของห้องทำความสะอาดและทำให้มั่นใจได้ถึงการประมวลผลเวเฟอร์ที่ปราศจากความเสียหาย

4. ความต้านทานทางเคมีที่ยอดเยี่ยม

ความเฉื่อยของ SIC ต่อก๊าซกัดกร่อนและสภาพแวดล้อมในพลาสมาช่วยปกป้องชัคจากการย่อยสลายในระหว่างการแกะสลักไอออนปฏิกิริยาหรือการทำความสะอาดทางเคมี

บทบาท: ลดความถี่ในการหยุดทำงานและการทำความสะอาดลดต้นทุนการดำเนินงาน

ⅱ. บริการปรับแต่งและสนับสนุนของ Veteksemicon

ที่ Veteksemicon เราให้บริการเต็มรูปแบบของบริการที่ปรับแต่งเพื่อตอบสนองความต้องการที่เข้มงวดของผู้ผลิตเซมิคอนดักเตอร์:

●รูปทรงเรขาคณิตที่กำหนดเองและการออกแบบขนาดรูขุมขน: เรานำเสนอ chucks ในขนาดความหนาและความหนาแน่นของรูขุมขนที่ปรับแต่งตามข้อกำหนดของอุปกรณ์และความต้องการสูญญากาศของคุณ

●การสร้างต้นแบบการฟื้นฟูอย่างรวดเร็ว: เวลานำสั้นและการสนับสนุนการผลิต MOQ ต่ำสำหรับ R&D และสายนำร่อง

●บริการหลังการขายที่เชื่อถือได้: จากคำแนะนำการติดตั้งไปจนถึงการตรวจสอบวงจรชีวิตเรามั่นใจได้ว่าประสิทธิภาพการทำงานในระยะยาวและการสนับสนุนทางเทคนิค

ⅲ. แอปพลิเคชัน

●อุปกรณ์แปรรูปการแกะสลักและพลาสมา

●การฝังไอออนและห้องหลอม

●ระบบการขัดกลไกเคมี (CMP)

●มาตรวิทยาและแพลตฟอร์มการตรวจสอบ

●ระบบการถือครองสูญญากาศและการหนีบในสภาพแวดล้อมห้องสะอาด

ร้านขายผลิตภัณฑ์ Vekekemeicon: