sic เคลือบ e-chuck

ในขณะที่ Gallium Nitride (GAN) กลายเป็นวัสดุหลักของเซมิคอนดักเตอร์รุ่นที่สามการใช้งานของมันในสนามความถี่สูงพลังงานสูงและออพโตอิเล็กทรอนิกส์ยังคงขยายตัวต่อไปเช่นสถานีฐานการสื่อสาร 5G โมดูลพลังงานและอุปกรณ์ LED อย่างไรก็ตามในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์โดยเฉพาะอย่างยิ่งในกระบวนการแกะสลักเวเฟอร์จะต้องอยู่ภายใต้อุณหภูมิสูงสภาพแวดล้อมการกัดกร่อนทางเคมีสูงและความต้องการกระบวนการที่มีความแม่นยำสูงมากซึ่งนำไปสู่มาตรฐานทางเทคนิคที่สูงมากสำหรับเครื่องมือแบกเวเฟอร์

พาเลทเซรามิก SIC ของ Vetek Semiconductor ได้รับการออกแบบมาสำหรับการแกะสลัก Gan Wafer และให้ความบริสุทธิ์สูงความร้อนและสารเคมีที่ยอดเยี่ยมเพื่อรองรับกระบวนการผลิตของคุณ มันเหมาะสำหรับกระบวนการ Etching Plasma (ICP/RIE) และเป็นตัวเลือกที่เหมาะสำหรับอุปกรณ์การผลิตเซมิคอนดักเตอร์ที่ทันสมัย

จุดแข็งหลัก

1. วัสดุเซรามิกความบริสุทธิ์สูง

ความเสถียรทางเคมี: ความบริสุทธิ์ของวัสดุมากกว่า 99.5%และไม่มีมลพิษต่อ Gan Wafer

ความแข็งและความต้านทานการสึกหรอสูง: ความแข็งใกล้กับเพชรสามารถทนต่อการใช้ความถี่สูงการเปลี่ยนแปลงและรอยขีดข่วนที่มองไม่เห็น

2. ประสิทธิภาพความร้อนที่ยอดเยี่ยม

ค่าการนำความร้อนสูงสัมประสิทธิ์การจับคู่ GAN ของการขยายตัวทางความร้อน (CTE): ลดความเสี่ยงของการแตกของเวเฟอร์ในกระบวนการแกะสลัก

3. ความต้านทานการกัดกร่อนทางเคมีซูเปอร์

มันสามารถทำงานในฟลูออไรด์คลอไรด์และสภาพแวดล้อมการกัดกร่อนอื่น ๆ เป็นเวลานาน

4. การออกแบบและการตัดเฉือนที่แม่นยำ

ความขรุขระและความเรียบของพื้นผิวทำให้มั่นใจได้ว่าการจัดวางเวเฟอร์ที่ราบรื่นและความสม่ำเสมอของการแกะสลักเพื่อให้ตรงตามข้อกำหนดของกระบวนการที่มีความแม่นยำสูง

ขนาด, ร่อง, รูคงที่และโครงสร้างอื่น ๆ สามารถปรับแต่งตามความต้องการของลูกค้า

แอปพลิเคชัน E-Chuck Field Sic Coated

●การแกะสลักพลาสมา (ICP/RIE)

มันให้การตรึงและการสนับสนุนเวเฟอร์ในอุณหภูมิสูงและสภาพแวดล้อมการกัดกร่อนทางเคมีสูงเหมาะสำหรับกระบวนการแกะสลักของ GAN, SIC และวัสดุอื่น ๆ

●เวเฟอร์ถ่ายโอนและจัดเก็บข้อมูล

ให้แพลตฟอร์มที่แบนและปราศจากมลพิษสูงเพื่อปกป้องความปลอดภัยของเวเฟอร์ในกระบวนการผลิต

บริการที่กำหนดเอง

มันเป็นเซมิคอนดักเตอร์เสนอบริการที่กำหนดเองเพื่อตอบสนองความต้องการกระบวนการเฉพาะของคุณ:

●การปรับแต่งขนาด: ขนาดพาเลทสามารถปรับแต่งตามขนาดเวเฟอร์ (Ø4 ~ 12 นิ้ว)

●การเพิ่มประสิทธิภาพโครงสร้าง: สนับสนุนร่อง, หลุมตำแหน่ง, จุดคงที่และการปรับแต่งโครงสร้างอื่น ๆ

มันเป็นเซมิคอนดักเตอร์ร้านขายผลิตภัณฑ์ e-Chuck ที่เคลือบด้วย sic: