แหวนโฟกัสการแกะสลักพลาสมา

ในสาขาการผลิตเวเฟอร์วงแหวนโฟกัสของ Vetek Semiconductor มีบทบาทสำคัญ มันไม่ได้เป็นเพียงแค่องค์ประกอบที่เรียบง่าย แต่มีบทบาทสำคัญในกระบวนการแกะสลักพลาสมา ครั้งแรกแหวนโฟกัสพลาสมา Etchig ได้รับการออกแบบมาเพื่อให้แน่ใจว่าเวเฟอร์นั้นอยู่ในตำแหน่งที่ต้องการอย่างแน่นหนาดังนั้นจึงมั่นใจได้ถึงความแม่นยำและความมั่นคงของกระบวนการแกะสลัก โดยการถือเวเฟอร์เข้าที่แหวนโฟกัสอย่างมีประสิทธิภาพจะรักษาความสม่ำเสมอของความหนาแน่นของพลาสมาซึ่งเป็นสิ่งจำเป็นสำหรับความสำเร็จของกระบวนการแกะสลัก.

นอกจากนี้วงแหวนโฟกัสยังมีบทบาทสำคัญในการป้องกันการปนเปื้อนด้านข้างของเวเฟอร์ คุณภาพและความบริสุทธิ์ของเวเฟอร์มีความสำคัญต่อการผลิตชิปดังนั้นมาตรการที่จำเป็นทั้งหมดจะต้องดำเนินการเพื่อให้แน่ใจว่าเวเฟอร์ยังคงสะอาดตลอดกระบวนการแกะสลัก วงแหวนโฟกัสช่วยป้องกันสิ่งสกปรกภายนอกและสารปนเปื้อนอย่างมีประสิทธิภาพจากการเข้าด้านข้างของพื้นผิวเวเฟอร์ดังนั้นจึงมั่นใจได้ว่าคุณภาพและประสิทธิภาพของผลิตภัณฑ์ขั้นสุดท้าย

ในอดีตที่ผ่านมา,วงแหวนโฟกัสส่วนใหญ่ทำจากควอตซ์และซิลิกอน อย่างไรก็ตามด้วยการเพิ่มขึ้นของการแกะสลักแบบแห้งในการผลิตเวเฟอร์ขั้นสูงความต้องการแหวนโฟกัสที่ทำจากซิลิกอนคาร์ไบด์ (SIC) ก็เพิ่มขึ้นเช่นกัน เมื่อเปรียบเทียบกับแหวนซิลิคอนบริสุทธิ์แหวน SIC มีความทนทานมากขึ้นและมีอายุการใช้งานที่ยาวนานขึ้นซึ่งจะช่วยลดต้นทุนการผลิต ต้องเปลี่ยนแหวนซิลิกอนทุก ๆ 10 ถึง 12 วันในขณะที่แหวน SIC จะถูกแทนที่ทุก ๆ 15 ถึง 20 วัน ในปัจจุบัน บริษัท ขนาดใหญ่บางแห่งเช่น Samsung กำลังศึกษาการใช้เซรามิกโบรอนคาร์ไบด์ (B4C) แทน SIC B4C มีความแข็งสูงกว่าดังนั้นหน่วยจะใช้งานได้นานขึ้น

ในอุปกรณ์การแกะสลักพลาสมาการติดตั้งวงแหวนโฟกัสเป็นสิ่งจำเป็นสำหรับการแกะสลักพลาสมาของพื้นผิวพื้นผิวบนฐานในภาชนะบำบัด วงแหวนโฟกัสล้อมรอบพื้นผิวด้วยพื้นที่แรกที่ด้านในของพื้นผิวที่มีความขรุขระพื้นผิวเฉลี่ยเล็ก ๆ เพื่อป้องกันผลิตภัณฑ์ปฏิกิริยาที่เกิดขึ้นระหว่างการแกะสลักจากการถูกจับและสะสม 

ในเวลาเดียวกันภูมิภาคที่สองนอกภูมิภาคแรกมีความขรุขระพื้นผิวเฉลี่ยขนาดใหญ่เพื่อส่งเสริมผลิตภัณฑ์ปฏิกิริยาที่เกิดขึ้นในระหว่างกระบวนการแกะสลักที่จะถูกจับและฝาก ขอบเขตระหว่างภูมิภาคแรกและภูมิภาคที่สองเป็นส่วนที่ปริมาณการแกะสลักค่อนข้างมีความสำคัญพร้อมกับวงแหวนโฟกัสในอุปกรณ์แกะสลักพลาสมาและการแกะสลักพลาสมาจะดำเนินการบนพื้นผิว

ร้านค้าผลิตภัณฑ์ Veteksemicon: