ชัคไฟฟ้าสถิต (ESC) คืออะไร?

Chuck ไฟฟ้าสถิต (ESC) หรือที่เรียกว่า Chuck ไฟฟ้าสถิต (ESC, E-Chuck) เป็นอุปกรณ์ติดตั้งที่ใช้หลักการของการดูดซับไฟฟ้าสถิตเพื่อเก็บและแก้ไขวัสดุที่ดูดซับ เหมาะสำหรับสภาพแวดล้อมสูญญากาศและพลาสมา ฟังก์ชั่นหลักคือการดูดซับพิเศษ-ทำความสะอาดแผ่นบาง ๆ (เช่นเวเฟอร์ซิลิคอน) และเก็บวัสดุที่ดูดซับไว้ที่ความเรียบที่ดีซึ่งสามารถยับยั้งการเสียรูปของวัสดุดูดซับในระหว่างกระบวนการและสามารถปรับอุณหภูมิของตัวดูดซับ

Chuck ไฟฟ้าสถิต (ESC) เป็นชัคชนิดพิเศษที่ใช้แรงไฟฟ้าสถิตในการกดกดและหยิบวัตถุ (ชิ้นงาน) วัสดุใด ๆ มีค่าใช้จ่ายในเชิงบวกและลบที่มองไม่เห็นด้วยตาเปล่า เมื่อวัสดุถูกวางไว้บน ESC และแรงดันไฟฟ้าสองขั้วจะถูกนำไปใช้กับขั้วไฟฟ้าภายในของ ESC ประจุบวกและค่าลบจะเคลื่อนที่ภายในวัสดุเพื่อให้ตรงกับขั้วของขั้วไฟฟ้าภายในของ ESC แรงดึงดูดระหว่าง ESC และวัสดุนี้เรียกว่าแรงไฟฟ้าสถิตและยังเป็นหลักการพื้นฐานที่อยู่เบื้องหลัง Chucks ของเรา

ข้อได้เปรียบของผลิตภัณฑ์

มีช่วงอุณหภูมิที่กว้าง (-50 ถึง 700 ℃)

ถ้วยดูดไฟฟ้าสถิตเหล่านี้มีความแข็งแรงที่ยอดเยี่ยมการนำความร้อนและความต้านทานการกระแทกด้วยความร้อนและสามารถปรับให้เข้ากับช่วงอุณหภูมิที่กว้างผ่านการควบคุมความต้านทานปริมาตรเซรามิกที่เป็นกรรมสิทธิ์ของ NGK

ความต้านทานการกัดกร่อนสูง

ถ้วยดูดไฟฟ้าสถิตเหล่านี้มีความต้านทานการกัดกร่อนที่ดีเยี่ยมต่อก๊าซฮาโลเจน

การประมวลผลอนุภาคต่ำ

การรักษาแบบมีอนุภาคต่ำสามารถทำได้ผ่านการรักษาพื้นผิวและการทำความสะอาดพิเศษ

ความบริสุทธิ์สูง

ผลิตภัณฑ์ที่มีความบริสุทธิ์ 99.9% หรือสูงกว่าก็มีให้เช่นกัน

ฟังก์ชั่นการทำความร้อน

เทคโนโลยีการฝังความร้อนที่มีความแม่นยำสูงสามารถรวมเข้ากับฟังก์ชั่นฮีตเตอร์และสามารถควบคุมอุณหภูมิเวเฟอร์ได้ภายใน± 1%

ฟังก์ชั่นการระบายความร้อน

ถ้วยดูดไฟฟ้าสถิตเหล่านี้มีประสิทธิภาพการระบายความร้อนสูงมากโดยยึดแผ่นเซรามิกที่มีค่าการนำความร้อนสูงและแผ่นระบายความร้อน

อิเล็กโทรดคลื่นวิทยุ

อิเล็กโทรดโลหะจำนวนมากสามารถให้แผ่นหนีบเวเฟอร์ที่มีเสถียรภาพและการสร้างพลาสมาความถี่วิทยุ

Pอาร์มิเตอร์

1.ในสนามเซมิคอนดักเตอร์และการผลิตอิเล็กทรอนิกส์: ในระหว่างกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์และอิเล็กทรอนิกส์ถ้วยดูดไฟฟ้าสถิตจะใช้ในการแก้ไขและจัดการเวเฟอร์ซิลิคอนบางและเปราะบางเวเฟอร์ ฯลฯ ข้อดีของมันอยู่ในแรงดูดซับที่แข็งแกร่ง

2. อุตสาหกรรมแก้วและเซรามิก: ในระหว่างกระบวนการตัดการบดและการจัดการแก้วและเซรามิกถ้วยดูดไฟฟ้าสถิตสามารถดำเนินการไม่ทำลายบนวัสดุที่เปราะบางลดอัตราการแตกหักของผลิตภัณฑ์

3. การผลิตเครื่องจักรที่มีความแม่นยำและส่วนประกอบทางแสง: สำหรับเครื่องจักรที่มีความแม่นยำและส่วนประกอบออปติคัลถ้วยดูดไฟฟ้าสถิตสามารถให้แรงดูดซับที่มั่นคงป้องกันการเสียรูปหรือรอยขีดข่วนในระหว่างการประมวลผล

4. สายการผลิตอัตโนมัติ: ในสายการผลิตอัตโนมัติถ้วยดูดไฟฟ้าสถิตถูกนำมาใช้อย่างกว้างขวางในการวางตำแหน่งการจัดการและการประกอบชิ้นส่วน ฯลฯ เพิ่มระดับของระบบอัตโนมัติและประสิทธิภาพของสายการผลิต