สินค้า
สินค้า
CMP ขัดเงา
  • CMP ขัดเงาCMP ขัดเงา

CMP ขัดเงา

CMP Polishing Slurry (สารละลายสารเคมีขัดเงา) เป็นวัสดุที่มีประสิทธิภาพสูงที่ใช้ในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์และการประมวลผลวัสดุที่มีความแม่นยำ ฟังก์ชั่นหลักของมันคือการบรรลุความเรียบที่ดีและการขัดพื้นผิววัสดุภายใต้ผลเสริมฤทธิ์กันของการกัดกร่อนทางเคมีและการบดเชิงกลเพื่อให้ตรงกับความเรียบและความต้องการคุณภาพพื้นผิวในระดับนาโน รอคอยการปรึกษาหารือเพิ่มเติมของคุณ

สารละลายขัดเงา CMP ของ Veteksemicon ส่วนใหญ่จะใช้เป็นสารขัดขัดขัดเงาในสารละลายกลไกการขัดกลไกเคมี CMP สำหรับวัสดุเซมิคอนดักเตอร์แบบระนาบ มีข้อดีดังต่อไปนี้:

ระดับเส้นผ่านศูนย์กลางและอนุภาคของอนุภาคสามารถควบคุมได้อย่างอิสระ
อนุภาคมี monodispersed และการกระจายขนาดอนุภาคมีความสม่ำเสมอ
ระบบการกระจายมีความเสถียร
มาตราส่วนการผลิตมวลมีขนาดใหญ่และความแตกต่างระหว่างแบทช์มีขนาดเล็ก
ไม่ใช่เรื่องง่ายที่จะควบแน่นและชำระ


ตัวบ่งชี้ประสิทธิภาพสำหรับผลิตภัณฑ์ซีรี่ส์ความบริสุทธิ์สูงเป็นพิเศษ

พารามิเตอร์
หน่วย
ตัวบ่งชี้ประสิทธิภาพสำหรับผลิตภัณฑ์ซีรี่ส์ความบริสุทธิ์สูงเป็นพิเศษ

บาทหลวง
บาทหลวง2
บาทหลวง3
บาทหลวง4
บาทหลวง-5
บาทหลวง6
บาทหลวง7
ขนาดอนุภาคซิลิกาโดยเฉลี่ย
NM
35 ± 5
45 ± 5
65 ± 5
75 ± 5
85 ± 5
100 ± 5
120 ± 5
การกระจายขนาดอนุภาคนาโน (PDI)
1 <0.15
<0.15
<0.15
<0.15
<0.15
<0.15
<0.15
โซลูชัน pH
1 7.2-7.4
7.2-7.4
7.2-7.4
7.2-7.4
7.2-7.4
7.2-7.4
7.2-7.4
เนื้อหาที่เป็นของแข็ง
% 20.5 ± 0.5
20.5 ± 0.5
20.5 ± 0.5
20.5 ± 0.5
20.5 ± 0.5
20.5 ± 0.5
20.5 ± 0.5
รูปร่าง
-
สีฟ้าอ่อน
สีฟ้า
สีขาว
สีขาว
สีขาว
สีขาว
สีขาว
สัณฐานวิทยาอนุภาค x
x: S- Pherical; B- โค้ง; p- รูปถั่วลิสง; t- หลอด; c- chain-like (รวมสถานะ)
ไอออนที่มีเสถียรภาพ
เอมีนอินทรีย์ / อนินทรีย์
องค์ประกอบวัตถุดิบ y
และ: m-tmos; e-you; me-tamos+teos; em-ezos+tmos
ปริมาณสารเจือปนโลหะ
≤ 300ppb


แอปพลิเคชั่นผลิตภัณฑ์ Slurry Polishing CMP:


●วัสดุ ILD วงจรรวม CMP

●วัสดุโพลีซีซีวงจรรวม CMP

●วัสดุเวเฟอร์ซิลิคอนซิลิกอนเดี่ยว CMP

●วัสดุซิลิกอนคาร์ไบด์เซมิคอนดักเตอร์ CMP

●วัสดุวงจร STI แบบบูรณาการ CMP

●วัสดุโลหะวงจรรวมและวัสดุเลเยอร์โลหะ CMP


แท็กยอดนิยม: CMP ขัดเงา
ส่งคำถาม
ข้อมูลติดต่อ
  • ที่อยู่

    Wangda Road, Ziyang Street, Wuyi County, Jinhua City, มณฑลเจ้อเจียง, จีน, จีน

  • โทร

    +86-18069220752

  • อีเมล

    anny@veteksemi.com

หากมีข้อสงสัยเกี่ยวกับการเคลือบซิลิคอนคาร์ไบด์ การเคลือบแทนทาลัมคาร์ไบด์ กราไฟท์พิเศษ หรือรายการราคา โปรดฝากอีเมลของคุณมาหาเรา แล้วเราจะติดต่อกลับภายใน 24 ชั่วโมง
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept