เรือกราไฟท์ Pecvd คืออะไร?

ⅰ. วัสดุของเรือกราไฟท์ PECVD คืออะไร?

วัสดุหลักของเรือกราไฟท์ Pecvd(พลาสมาที่ปรับปรุงการสะสมไอน้ำกราไฟท์เรือ) ทำจากความบริสุทธิ์สูงวัสดุกราไฟท์ isotropic(ความบริสุทธิ์มักจะเป็น≥99.999%) และได้รับการแก้ไขโดยกระบวนการพิเศษ (เช่นการสะสมไอสารเคมี CVD หรือการเคลือบผิว) กราไฟท์ที่มีความบริสุทธิ์สูงนั้นใช้กันอย่างแพร่หลายในระบบ PECVD เนื่องจากการนำไฟฟ้าที่ยอดเยี่ยมและการนำความร้อนสูง (80 ~ 150 W/m · K) นี้วัสดุกราไฟท์ที่มีความบริสุทธิ์สูงสามารถรักษาเสถียรภาพของโครงสร้างที่ดีและความเสถียรทางเคมีในสภาพแวดล้อมที่อุณหภูมิสูงและสามารถต้านทานการกัดกร่อนจากก๊าซปฏิกิริยาและพลาสมา

ⅱ. คุณสมบัติทางกายภาพของเรือกราไฟท์คืออะไร?

คุณสมบัติทางกายภาพของเรือกราไฟท์ PECVD รวมถึง:

 การนำไฟฟ้า: กราไฟท์ Isostatic มีการนำไฟฟ้าที่ยอดเยี่ยมซึ่งช่วยให้สามารถจัดการพลังงานไฟฟ้าได้อย่างมีประสิทธิภาพและส่งเสริมการสร้างและการบำรุงรักษาพลาสมาในระหว่างกระบวนการ PECVD

 การนำความร้อน: ค่าการนำความร้อนสูงของกราไฟท์ (ประมาณ 80 ~ 150 W/m · K) ช่วยรักษาสภาพแวดล้อมที่มีความเสถียรในระหว่างกระบวนการ PECVD และตรวจสอบให้แน่ใจว่ามีการสะสมของฟิล์มบาง ๆ อย่างสม่ำเสมอ

 ความหนาแน่น: ความหนาแน่นของกราไฟท์ polycrystalline ในเชิงพาณิชย์มีตั้งแต่ 1.30 g/cm³ถึง 1.88 g/cm³ ยิ่งความหนาแน่นสูงเท่าใดคุณสมบัติทางกายภาพและเชิงกลก็จะดีขึ้นซึ่งสามารถปรับปรุงอายุการใช้งานของผลิตภัณฑ์ได้ดีขึ้น

ⅲ. อะไรคือข้อดีของเรือกราไฟท์ PECVD เมื่อเทียบกับเรือกราไฟท์ธรรมดา?

เมื่อเปรียบเทียบกับเรือกราไฟท์ธรรมดาเรือกราไฟท์ PECVD มีข้อได้เปรียบดังต่อไปนี้:

ⅳ. ทำไมต้องเลือกเรือกราไฟท์ Pecvd ของ Veteksemicon?

อย่างที่เราทราบกันดีว่า Veteksemicon เป็นผู้ผลิตชั้นนำและซัพพลายเออร์ของผลิตภัณฑ์เคลือบเซมิคอนดักเตอร์และผลิตภัณฑ์กราไฟท์ในประเทศจีน ของเราเรือกราไฟท์ Pecvdส่วนใหญ่จะใช้ในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์และโซลาร์เซลล์โดยเฉพาะอย่างยิ่งในกระบวนการ PECVD และ CVD

เรือกราไฟท์มักจะใช้เป็นผู้ให้บริการในการพกพาเวเฟอร์ซิลิคอนหรือวัสดุอื่น ๆ เพื่อให้แน่ใจว่าการจัดการที่ปลอดภัยและการขนส่งวัสดุเหล่านี้ในสภาพแวดล้อมที่อุณหภูมิสูงและพลาสมา ตัวอย่างเช่นในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์เรือกราไฟท์ PECVD ของ Veteksemicon ได้รับการออกแบบมาสำหรับกระบวนการสะสมไอสารเคมีที่เพิ่มขึ้นในพลาสมา เรือกราไฟท์มีบทบาทในการสะสมชั้นซิลิกอนไนไตรด์ (SINₓ) และฟิล์มคงที่ไดอิเล็กตริกต่ำ (ต่ำ K)

ในสนามไฟฟ้าโซลาร์เซลล์เรือกราไฟท์ PECVD ใช้ในการเตรียมเซลล์แสงอาทิตย์แบบฟิล์มบางที่ใช้ซิลิกอน (เช่นซิลิคอน A-SI: H) และ PERC เซลล์กลับ เรือกราไฟท์ PECVD ของ Veteksemicon ปรับกระบวนการเคลือบให้เหมาะสมโดยการเว้นระยะห่างของเวเฟอร์ซิลิคอนอย่างมีประสิทธิภาพ

ที่สำคัญกว่านั้น Veteksemicon สามารถให้บริการผลิตภัณฑ์และบริการทางเทคนิคที่กำหนดเองและสามารถออกแบบและผลิตผลิตภัณฑ์เรือกราไฟท์ตามข้อกำหนดที่แตกต่างกันตามข้อกำหนดของกระบวนการจริงของคุณ การเลือก Veteksemicon หมายถึงการเลือกผู้นำอุตสาหกรรมที่มีความแข็งแกร่งในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์และโซลาร์เซลล์ เราหวังเป็นอย่างยิ่งว่าจะได้เป็นหุ้นส่วนระยะยาวของคุณ