การใช้ซิลิกอนคาร์ไบด์ที่เป็นของแข็ง

ซิลิคอนของแข็งคาร์ไบด์ SIC เป็นวัสดุเซรามิกขั้นสูงที่ประกอบด้วยซิลิคอน (SI) และคาร์บอน (C) มันไม่ได้เป็นสารที่พบอย่างกว้างขวางในธรรมชาติและมักจะต้องมีการสังเคราะห์อุณหภูมิสูง การผสมผสานที่เป็นเอกลักษณ์ของคุณสมบัติทางกายภาพและทางเคมีทำให้เป็นวัสดุสำคัญที่ทำงานได้ดีในสภาพแวดล้อมที่รุนแรงโดยเฉพาะอย่างยิ่งในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์

Ⅰ- คุณสมบัติทางกายภาพที่สำคัญของซิลิกอนคาร์ไบด์ที่เป็นของแข็ง (Solid SIC)

▶ความแข็งสูงและความต้านทานการสึกหรอ:

SIC มีความแข็ง Mohs ประมาณ 9-9.5 รองจากเพชรเท่านั้น สิ่งนี้ให้รอยขีดข่วนและการสึกหรอที่ยอดเยี่ยมและทำงานได้ดีในสภาพแวดล้อมที่ต้องทนต่อความเครียดเชิงกลหรือการกัดเซาะของอนุภาค

▶ความแข็งแรงและความมั่นคงอุณหภูมิสูงที่ยอดเยี่ยม

1. SIC สามารถรักษาความแข็งแรงเชิงกลและความสมบูรณ์ของโครงสร้างที่อุณหภูมิสูงมาก (ทำงานที่อุณหภูมิสูงถึง 1600 ° C หรือสูงกว่าขึ้นอยู่กับประเภทและความบริสุทธิ์)

2. ค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อนต่ำหมายความว่ามันมีความเสถียรในมิติที่ดีและไม่ได้มีแนวโน้มที่จะเสียรูปหรือแตกเมื่ออุณหภูมิเปลี่ยนแปลงอย่างมาก

▶การนำความร้อนสูง:

ซึ่งแตกต่างจากวัสดุเซรามิกอื่น ๆ SIC มีค่าการนำความร้อนค่อนข้างสูง สิ่งนี้ช่วยให้สามารถดำเนินการและกระจายความร้อนได้อย่างมีประสิทธิภาพซึ่งเป็นสิ่งสำคัญสำหรับการใช้งานที่ต้องใช้การควบคุมอุณหภูมิที่แม่นยำและความสม่ำเสมอ

ความเฉื่อยทางเคมีที่เหนือกว่าและความต้านทานการกัดกร่อน:

SIC แสดงความต้านทานต่อกรดที่แข็งแรงมากที่สุดฐานที่แข็งแรงและก๊าซกัดกร่อนที่ใช้กันทั่วไปในกระบวนการเซมิคอนดักเตอร์ (เช่นก๊าซที่ใช้ฟลูออรีนและคลอรีนในสภาพแวดล้อมพลาสมา) แม้ที่อุณหภูมิสูง สิ่งนี้มีความสำคัญต่อการป้องกันไม่ให้ส่วนประกอบของห้องกระบวนการถูกสึกกร่อนหรือปนเปื้อน

▶ศักยภาพสำหรับความบริสุทธิ์สูง:

การเคลือบ SIC ที่มีความบริสุทธิ์สูงมากหรือชิ้นส่วน SIC ที่เป็นของแข็งสามารถผลิตได้ผ่านกระบวนการผลิตเฉพาะ (เช่นการสะสมไอเคมี - CVD) ในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ความบริสุทธิ์ของวัสดุส่งผลโดยตรงต่อระดับการปนเปื้อนของเวเฟอร์และผลผลิตของผลิตภัณฑ์ขั้นสุดท้าย

▶ความแข็งสูง (โมดูลัสของ Young):

SIC มีโมดูลัสของ Young High ซึ่งหมายความว่ามันยากมากและไม่ง่ายต่อการเปลี่ยนรูปภายใต้การโหลด สิ่งนี้สำคัญมากสำหรับส่วนประกอบที่จำเป็นต้องรักษารูปร่างและขนาดที่แม่นยำ (เช่นผู้ให้บริการเวเฟอร์)

▶คุณสมบัติไฟฟ้าที่ปรับได้:

แม้ว่ามันมักจะใช้เป็นฉนวนหรือเซมิคอนดักเตอร์ (ขึ้นอยู่กับรูปแบบคริสตัลและยาสลบ) ความต้านทานสูงช่วยจัดการพฤติกรรมพลาสมาหรือป้องกันการปล่อยอาร์คที่ไม่จำเป็นในแอปพลิเคชันบางส่วน

Ⅱ- แอปพลิเคชันเฉพาะและข้อดีของผลิตภัณฑ์สำเร็จรูปซิลิกอนคาร์ไบด์ (Solid SIC) ในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์

จากคุณสมบัติทางกายภาพข้างต้น Solid SIC ผลิตขึ้นเป็นส่วนประกอบที่มีความแม่นยำต่าง ๆ และใช้กันอย่างแพร่หลายในการเชื่อมโยงคีย์หลายรายการของกระบวนการส่วนหน้าเซมิคอนดักเตอร์

1) ผู้ให้บริการเวเฟอร์ SIC ของแข็ง (Solid SIC WAFER CARRIER / BOAT):

แอปพลิเคชัน:

ใช้ในการพกพาและถ่ายโอนเวเฟอร์ซิลิกอนในกระบวนการอุณหภูมิสูง (เช่นการแพร่กระจายออกซิเดชัน LPCVD-การสะสมไอสารเคมีแรงดันต่ำ)

การวิเคราะห์ข้อดี:

1. ความเสถียรของอุณหภูมิสูง: ที่อุณหภูมิของกระบวนการเกิน 1,000 ° C ผู้ให้บริการ SIC จะไม่อ่อนนุ่มผิดรูปหรือลดลงอย่างง่ายดายเท่ากับควอตซ์และสามารถรักษาระยะห่างของเวเฟอร์ได้อย่างแม่นยำ

2. ชีวิตที่ยาวนานและการสร้างอนุภาคต่ำ: ความแข็งและความต้านทานการสึกหรอของ SIC เกินกว่าควอตซ์และมันไม่ใช่เรื่องง่ายที่จะผลิตอนุภาคเล็ก ๆ เพื่อปนเปื้อนเวเฟอร์ อายุการใช้งานของมันมักจะเป็นหลายครั้งหรือหลายสิบครั้งของผู้ให้บริการควอตซ์ลดความถี่ทดแทนและค่าบำรุงรักษา

3. ความเฉื่อยทางเคมี: สามารถต้านทานการพังทลายของสารเคมีในบรรยากาศของกระบวนการและลดการปนเปื้อนของแผ่นเวเฟอร์ที่เกิดจากการตกตะกอนของวัสดุของตัวเอง

4. การนำความร้อน: การนำความร้อนที่ดีช่วยให้เกิดความร้อนอย่างรวดเร็วและสม่ำเสมอและการระบายความร้อนของผู้ให้บริการและเวเฟอร์การปรับปรุงประสิทธิภาพของกระบวนการและความสม่ำเสมอของอุณหภูมิ

5. ความบริสุทธิ์สูง: ผู้ให้บริการ SIC ที่มีความบริสุทธิ์สูงสามารถผลิตได้เพื่อให้เป็นไปตามข้อกำหนดที่เข้มงวดของโหนดขั้นสูงสำหรับการควบคุมการเจือปน

มูลค่าผู้ใช้:

ปรับปรุงเสถียรภาพของกระบวนการเพิ่มผลผลิตผลิตภัณฑ์ลดการหยุดทำงานที่เกิดจากความล้มเหลวของส่วนประกอบหรือการปนเปื้อนและลดต้นทุนโดยรวมของการเป็นเจ้าของในระยะยาว

2) หัวฝักบัวรูปแผ่นดิสก์ / แก๊สของแข็ง:

แอปพลิเคชัน:

ติดตั้งที่ด้านบนของห้องปฏิกิริยาของอุปกรณ์เช่นการแกะสลักพลาสมาการสะสมไอสารเคมี (CVD) การสะสมชั้นอะตอม (ALD) ฯลฯ รับผิดชอบการกระจายก๊าซกระบวนการอย่างสม่ำเสมอไปยังพื้นผิวเวเฟอร์ด้านล่าง

การวิเคราะห์ข้อได้เปรียบ:

1. ความทนทานต่อพลาสมา: ในสภาพแวดล้อมพลาสม่าที่ใช้งานทางเคมีสูงหัวฝักบัว sic มีความต้านทานต่อการระเบิดของพลาสมาและการกัดกร่อนทางเคมีซึ่งเหนือกว่าควอตซ์หรืออลูมินา

2. ความสม่ำเสมอและความเสถียร: หัวฝักบัว SIC ที่มีความแม่นยำสามารถมั่นใจได้ว่าการไหลของก๊าซมีการกระจายอย่างสม่ำเสมอทั่วทั้งพื้นผิวเวเฟอร์ซึ่งมีความสำคัญต่อความสม่ำเสมอของความหนาของฟิล์มความสม่ำเสมอขององค์ประกอบหรืออัตราการแกะสลัก มันมีเสถียรภาพระยะยาวที่ดีและไม่ใช่เรื่องง่ายที่จะเปลี่ยนรูปหรืออุดตัน

3. การจัดการความร้อน: การนำความร้อนที่ดีช่วยรักษาความสม่ำเสมอของอุณหภูมิบนพื้นผิวฝักบัวซึ่งเป็นสิ่งสำคัญสำหรับการสะสมที่ไวต่อความร้อนหรือกระบวนการแกะสลัก

4. การปนเปื้อนต่ำ: ความบริสุทธิ์และความเฉื่อยชาของสารเคมีลดการปนเปื้อนของวัสดุของฝักบัวในกระบวนการ

มูลค่าผู้ใช้:

ปรับปรุงความสม่ำเสมอและความสามารถในการทำซ้ำของผลลัพธ์กระบวนการขยายอายุการใช้งานของหัวฝักบัวลดเวลาการบำรุงรักษาและปัญหาอนุภาคและสนับสนุนเงื่อนไขกระบวนการขั้นสูงและเข้มงวดมากขึ้น

3) วงแหวนการแกะสลักของ SICH SIC

แอปพลิเคชัน:

ส่วนใหญ่ใช้ในห้องของอุปกรณ์การแกะสลักพลาสมา (เช่นพลาสมาคู่ CCP หรือพลาสมา etcher พลาสมาคู่แบบเหนี่ยวนำ) ซึ่งมักจะวางอยู่บนขอบของผู้ให้บริการเวเฟอร์ (ชัค) รอบเวเฟอร์ ฟังก์ชั่นของมันคือการ จำกัด และนำทางพลาสมาเพื่อให้ทำงานได้อย่างสม่ำเสมอบนพื้นผิวเวเฟอร์มากขึ้นในขณะที่ปกป้องส่วนประกอบอื่น ๆ ของห้อง

การวิเคราะห์ข้อได้เปรียบ:

1. การต่อต้านการพังทลายของพลาสมาอย่างมาก: นี่เป็นข้อได้เปรียบที่โดดเด่นที่สุดของแหวนโฟกัส SIC ในพลาสม่าการแกะสลักที่ก้าวร้าวอย่างมาก (เช่นสารเคมีที่มีฟลูออรีนหรือคลอรีน) SIC จะช้ากว่าควอตซ์อลูมินาหรือแม้กระทั่ง Yttria (Yttrium ออกไซด์) และมีอายุยืนยาวมาก

2. การรักษาขนาดที่สำคัญ: ความแข็งสูงและความแข็งแกร่งสูงช่วยให้แหวนโฟกัส SIC สามารถรักษารูปร่างและขนาดที่แม่นยำได้ดีขึ้นในระยะเวลาการใช้งานเป็นเวลานาน

3. การสร้างอนุภาคต่ำ: เนื่องจากความต้านทานการสึกหรอจึงช่วยลดอนุภาคที่เกิดจากการชราภาพของส่วนประกอบจึงช่วยเพิ่มผลผลิต

4. ความบริสุทธิ์สูง: หลีกเลี่ยงการแนะนำโลหะหรือสิ่งสกปรกอื่น ๆ

มูลค่าผู้ใช้:

ขยายวงจรการเปลี่ยนส่วนประกอบอย่างมากลดค่าใช้จ่ายในการบำรุงรักษาและการหยุดทำงานของอุปกรณ์อย่างมีนัยสำคัญ ปรับปรุงความเสถียรและความสามารถในการทำซ้ำของกระบวนการแกะสลัก ลดข้อบกพร่องและปรับปรุงผลผลิตของการผลิตชิประดับสูง

ⅲ.สรุป

ซิลิกอนคาร์ไบด์ที่เป็นของแข็งได้กลายเป็นหนึ่งในวัสดุสำคัญที่ขาดไม่ได้ในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ที่ทันสมัยเนื่องจากการรวมกันของคุณสมบัติทางกายภาพที่เป็นเอกลักษณ์ - ความแข็งสูงจุดหลอมเหลวสูงการนำความร้อนสูงความเสถียรทางเคมีที่ยอดเยี่ยมและความต้านทานการกัดกร่อน ไม่ว่าจะเป็นพาหะสำหรับการพกพาเวเฟอร์หัวฝักบัวสำหรับควบคุมการกระจายก๊าซหรือแหวนโฟกัสสำหรับการชี้นำพลาสมาผลิตภัณฑ์ SIC ที่เป็นของแข็งช่วยให้ผู้ผลิตชิปรับมือกับกระบวนการที่เข้มงวดมากขึ้นด้วยประสิทธิภาพที่ยอดเยี่ยมและความน่าเชื่อถือปรับปรุงประสิทธิภาพการผลิตและผลผลิตผลิตภัณฑ์และส่งเสริมการพัฒนาอย่างยั่งยืน

ในฐานะผู้ผลิตชั้นนำและซัพพลายเออร์ของ Solid Silicon Carbide ผลิตภัณฑ์ในประเทศจีนเซมินอนผลิตภัณฑ์ของSolid SiC Wafer Carrier / Boat, หัวฝักบัวรูปแผ่นดิสก์ / แก๊ส, แหวนวงแหวนโฟกัส / ขอบของ SICH SICมีการขายอย่างกว้างขวางในยุโรปและสหรัฐอเมริกาและได้รับการยกย่องอย่างสูงและได้รับการยอมรับจากลูกค้าเหล่านี้ เราหวังเป็นอย่างยิ่งว่าจะได้เป็นหุ้นส่วนระยะยาวของคุณในประเทศจีน ยินดีต้อนรับสู่การปรึกษา

mob/whatsapp: +86-180 6922 0752

อีเมล: anny@veteksemi.com