วงแหวนด้านบนอีพิแทกซีเคลือบ CVD ซิลิคอนคาร์ไบด์ (SiC) ขนาด 8 นิ้ว

คุณสมบัติที่สำคัญของแหวน SiC Epi Top ขนาด 8 นิ้ว

● ความบริสุทธิ์สูง: ขั้นต่ำ 99.9995% โลหะจะไม่เคลื่อนเข้าสู่ชั้นอีพิเลเยอร์ สิ่งนี้จะรักษาความเข้มข้นของตัวพาเวเฟอร์ในจุดที่ต้องการ

● การปราบปรามอนุภาค: โครงสร้าง CVD มีความหนาแน่น ไม่มีรูขุมขน มันจะไม่ทำให้อนุภาคหลุดออกมาในขณะที่เครื่องมือกำลังทำงาน โรงงานต่างๆ มองเห็นผลตอบแทนที่ดีกว่าด้วยวิธีนี้

● ทนความร้อน: แหวนคงตัวที่อุณหภูมิ 1500°C CTE ต่ำ (การขยายตัวทางความร้อน) หมายถึงไม่มีการบิดงอระหว่างรอบการทำความร้อนขึ้น/เย็นลงอย่างรวดเร็ว

● ความเสถียรทางเคมี: CVD SiC ที่เป็นของแข็งต้านทานก๊าซ H2 และ HCl นอกจากนี้ยังต้านทาน NH3 มันไม่มีสารเคลือบให้ลอกออก ไม่เสื่อมสภาพในสภาพแวดล้อม CVD ที่รุนแรง

● อายุการใช้งานของส่วนประกอบ: พื้นผิวมีความแข็งมาก สามารถทนต่อการทำความสะอาดสารเคมี HF/HCl ซ้ำๆ ได้ ซึ่งจะช่วยลดความถี่ในการเปลี่ยน นอกจากนี้ยังช่วยลดต้นทุนรวมในการเป็นเจ้าของโรงงานอีกด้วย

ข้อมูลจำเพาะทางเทคนิค

ความสม่ำเสมอของความหนาของการเคลือบระหว่างแบทช์ถูกควบคุมที่ 10um

การใช้งาน

วงแหวนด้านบน CVD SiC epi ใช้กันอย่างแพร่หลายใน:

● เครื่องปฏิกรณ์ซิลิคอนอีพิแทกซี (Si Epi)

● ซิลิกอนคาร์ไบด์เอพิแทกซี (SiC Epi)

● ระบบ MOCVD

● อุปกรณ์สะสม CVD

มักจับคู่กับ:

● ตัวรับ

● ผู้ให้บริการเวเฟอร์

● เปิดแหวนให้ร้อน

● เครื่องปฏิกรณ์เอพิแทกซี

เหตุใดจึงเลือก VETEK SiC Epi Top Ring

● ความสามารถในการผลิตเต็มรูปแบบ: 

ตั้งแต่การทำให้วัตถุดิบบริสุทธิ์ไปจนถึงการตัดเฉือนที่มีความแม่นยำและการเคลือบ CVD VETEK ควบคุมกระบวนการผลิตทั้งหมดเพื่อให้มั่นใจในคุณภาพเกรดเซมิคอนดักเตอร์ที่สม่ำเสมอ

● ความแม่นยำสูง: 

เราใช้เครื่องจักรระดับไมครอน ความหนาของ CVD มีความสม่ำเสมอมาก ทำให้วงแหวนทุกวงทำงานในลักษณะเดียวกันทุกประการ

คำถามที่พบบ่อย

(1) วงแหวนด้านบนของ SiC epi ทำหน้าที่อะไร

วงแหวนจัดการความร้อนและการไหลของก๊าซ ทำให้แน่ใจว่าฟิล์มบางจะเติบโตเท่าๆ กันทั่วทั้งแผ่นเวเฟอร์

(2) เหตุใด CVD SiC จึงดีกว่ากราไฟท์

กราไฟท์มีรูพรุน กราไฟท์มีรูพรุนและปล่อยก๊าซออกมา Solid CVD SiC มีความหนาแน่นและสะอาด มีอายุการใช้งานยาวนานกว่ามากในเครื่องมือที่มีฤทธิ์กัดกร่อน

(3) สามารถปรับแต่งวงแหวนด้านบน SiC ขนาด 8 นิ้วได้หรือไม่

ใช่. เราสร้างตามแบบเครื่องมือเฉพาะของคุณ เราสามารถปรับรูปทรงตามกระบวนการของคุณได้

(4) อุตสาหกรรมใดบ้างที่ใช้วงแหวน epitaxy SiC

ส่วนใหญ่จะใช้ในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ รวมถึงอุปกรณ์ไฟฟ้า อุปกรณ์ RF และการผลิตเวเฟอร์ SiC