เตาออกซิเดชันและการแพร่กระจาย

เตาออกซิเดชันและการแพร่กระจายถูกนำมาใช้ในด้านต่างๆ เช่น อุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ อุปกรณ์แยก อุปกรณ์ออปโตอิเล็กทรอนิกส์ อุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์กำลัง เซลล์แสงอาทิตย์ และการผลิตวงจรรวมขนาดใหญ่ ใช้สำหรับกระบวนการต่างๆ รวมถึงการแพร่กระจาย ออกซิเดชัน การหลอม การผสม และการเผาผนึกของเวเฟอร์

VeTek Semiconductor เป็นผู้ผลิตชั้นนำที่เชี่ยวชาญในการผลิตส่วนประกอบกราไฟท์ ซิลิคอนคาร์ไบด์ และควอตซ์ที่มีความบริสุทธิ์สูงในเตาออกซิเดชันและการแพร่กระจาย เรามุ่งมั่นที่จะจัดหาส่วนประกอบเตาเผาคุณภาพสูงสำหรับอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์และเซลล์แสงอาทิตย์ และอยู่ในระดับแนวหน้าของเทคโนโลยีการเคลือบพื้นผิว เช่น CVD-SiC, CVD-TaC, ไพโรคาร์บอน ฯลฯ

ข้อดีของส่วนประกอบซิลิคอนคาร์ไบด์ VeTek Semiconductor:

ทนต่ออุณหภูมิสูง (สูงถึง 1,600 ℃)

การนำความร้อนที่ดีเยี่ยมและเสถียรภาพทางความร้อน

ทนต่อการกัดกร่อนของสารเคมีได้ดี

ค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อนต่ำ

มีความแข็งแรงและความแข็งสูง

อายุการใช้งานยาวนาน

ในเตาออกซิเดชั่นและเตาแพร่กระจาย เนื่องจากมีอุณหภูมิสูงและมีก๊าซที่มีฤทธิ์กัดกร่อน ส่วนประกอบจำนวนมากจึงจำเป็นต้องใช้วัสดุที่มีอุณหภูมิสูงและทนต่อการกัดกร่อน โดยมีซิลิคอนคาร์ไบด์ (SiC) เป็นตัวเลือกที่ใช้กันทั่วไป ต่อไปนี้เป็นส่วนประกอบซิลิคอนคาร์ไบด์ทั่วไปที่พบในเตาออกซิเดชั่นและเตาแพร่:

เรือเวเฟอร์

เรือเวเฟอร์ซิลิคอนคาร์ไบด์เป็นภาชนะที่ใช้ในการบรรทุกเวเฟอร์ซิลิกอน ซึ่งสามารถทนต่ออุณหภูมิสูงและจะไม่ทำปฏิกิริยากับเวเฟอร์ซิลิกอน

ท่อเตา

ท่อเตาหลอมเป็นส่วนประกอบหลักของเตาหลอมที่ใช้เพื่อรองรับเวเฟอร์ซิลิคอนและควบคุมสภาพแวดล้อมของปฏิกิริยา ท่อเตาซิลิกอนคาร์ไบด์มีประสิทธิภาพการต้านทานต่ออุณหภูมิสูงและการกัดกร่อนได้ดีเยี่ยม

แผ่นกั้น

ใช้เพื่อควบคุมการไหลเวียนของอากาศและการกระจายอุณหภูมิภายในเตาเผา

ท่อป้องกันเทอร์โมคัปเปิล

ใช้เพื่อป้องกันเทอร์โมคัปเปิ้ลวัดอุณหภูมิจากการสัมผัสโดยตรงกับก๊าซที่มีฤทธิ์กัดกร่อน

พายเท้าแขน

ไม้พายยื่นยื่นออกมาของซิลิคอนคาร์ไบด์ทนทานต่ออุณหภูมิสูงและการกัดกร่อน และใช้ในการขนส่งเรือซิลิคอนหรือเรือควอทซ์ที่บรรทุกเวเฟอร์ซิลิคอนเข้าไปในท่อเตาหลอม

หัวฉีดแก๊ส

ใช้ในการนำก๊าซปฏิกิริยาเข้าสู่เตาเผา จะต้องทนต่ออุณหภูมิสูงและการกัดกร่อน

เรือบรรทุก

เรือบรรทุกเรือเวเฟอร์ซิลิคอนคาร์ไบด์ใช้เพื่อยึดและรองรับเวเฟอร์ซิลิคอน ซึ่งมีข้อดี เช่น มีความแข็งแรงสูง ทนต่อการกัดกร่อน และมีเสถียรภาพทางโครงสร้างที่ดี

ประตูเตา

อาจใช้การเคลือบหรือส่วนประกอบซิลิคอนคาร์ไบด์ที่ด้านในของประตูเตาหลอม

องค์ประกอบความร้อน

องค์ประกอบความร้อนซิลิคอนคาร์ไบด์เหมาะสำหรับอุณหภูมิสูง กำลังไฟสูง และสามารถเพิ่มอุณหภูมิสูงกว่า 1,000°C ได้อย่างรวดเร็ว

SiC ไลเนอร์

ใช้เพื่อปกป้องผนังด้านในของท่อเตาหลอม ช่วยลดการสูญเสียพลังงานความร้อน และทนทานต่อสภาพแวดล้อมที่รุนแรง เช่น อุณหภูมิสูง และแรงดันสูง