เรือเวเฟอร์เซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์

ข้อดีของการใช้เรือเวเฟอร์เซรามิก Veteksemi ซิลิคอนคาร์ไบด์

●  ทนต่ออุณหภูมิที่สูงมากถึง 3000 F ( 1650 ℃ )

●ความต้านทานต่อการกัดกร่อนของกรดตัวทำละลายเกลือและสารอินทรีย์ทนต่อการสึกหรอ  

●  ทำความสะอาดง่าย

●ความต้านทานต่อแรงกระแทกที่แข็งแกร่ง

●สลิปฟรี

อุตสาหกรรมการผลิตของ VeTek Semiconductor โดยทั่วไปจะประมวลผลเวเฟอร์เหล่านี้ในตัวพาเวเฟอร์แนวนอนหรือตัวพาแนวตั้ง

●ผู้ให้บริการแนวนอนโดยทั่วไปเรียกว่า "เรือ" มีแท่งที่ถูกกำจัดในแนวนอนสามหรือสี่แห่งในการออกแบบครึ่งวงกลมโดยแต่ละแถบจะหันหน้าเข้าหาร่องที่ตั้งอยู่ในนั้นในช่วงเวลาปกติ ร่องแต่ละชุดกำหนดพื้นที่แนวตั้งสำหรับการพกเวเฟอร์ที่ถูกกำจัดในแนวตั้ง

●  ผู้ให้บริการแนวตั้งโดยทั่วไปเรียกว่า "ชั้นวางแนวตั้ง" มีแท่ง (หรือเสา) ที่จัดวางในแนวตั้งสามหรือสี่อันจัดเรียงเป็นรูปครึ่งวงกลม โดยแต่ละเสาจะมีช่องติดตั้งไว้ตามช่วงเวลาปกติเพื่อกำหนดช่องว่างสำหรับรองรับเวเฟอร์ที่วางในแนวนอน

เพื่อประกันความแม่นยำทางเรขาคณิตที่จำเป็นในฟิลด์นี้แท่งสามหรือสี่คันจะถูกจับจ้องไปที่แผ่นด้านบนและแผ่นด้านล่าง ส่วนของโพสต์ระหว่างแต่ละช่องที่เรียกว่า "ฟัน" มีระยะห่างเท่ากันเพื่อรองรับเวเฟอร์ในช่วงเวลาปกติจากและขนานกับแผ่นด้านล่าง จากนั้นชั้นวางทั้งหมดจะถูกวางไว้ในเตาเผาในแนวตั้งสำหรับการแปรรูปเวเฟอร์

เนื่องจากเวเฟอร์ที่แปรรูปบนชั้นวางแนวตั้งจะมีอุณหภูมิไล่ระดับบนพื้นผิวน้อยกว่า (เมื่อเทียบกับเวเฟอร์ที่แปรรูปในเรือแนวนอน) ผู้ผลิตเซมิคอนดักเตอร์จึงหันมาใช้เตาเผาแนวตั้งมากขึ้น อย่างไรก็ตาม มีข้อเสียเปรียบในการตกแต่งแนวตั้ง เวเฟอร์ที่จำหน่ายบนชั้นวางแนวตั้งทั่วไปรองรับที่ขอบด้านนอกเท่านั้น ด้วยเหตุนี้ พื้นที่ของแผ่นเวเฟอร์ที่วางอยู่บนฟันเหล่านี้จึงมีแรงกดสูงกว่าส่วนอื่นๆ ของแผ่นเวเฟอร์

เมื่ออุณหภูมิในเตาเผาสูงกว่าประมาณ 1,000°C ความเค้นเหล่านี้มักจะมีความสำคัญ และส่วนของเวเฟอร์ผลึกเดี่ยวจะเคลื่อนที่สัมพันธ์กันไปตามแผ่นผลึกศาสตร์เพื่อตอบสนองต่อความเครียดนั้น ปรากฏการณ์นี้เรียกว่า "สลิป" จะทำลายมูลค่าของอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ที่อยู่ในบริเวณแผ่นเวเฟอร์ที่เกิดสลิปได้อย่างมีประสิทธิภาพ

ในฐานะซัพพลายเออร์และผู้ผลิตเรือเวเฟอร์เซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์ชั้นนำในประเทศจีน VeTek Semiconductor มุ่งมั่นที่จะนำเสนอเทคโนโลยีขั้นสูงและโซลูชั่นผลิตภัณฑ์ Wafer Boat สำหรับอุตสาหกรรมแปรรูปเซมิคอนดักเตอร์มาโดยตลอด เราหวังเป็นอย่างยิ่งว่าจะได้เป็นพันธมิตรระยะยาวของคุณในประเทศจีน

เวเทค เซมิคอนดักเตอร์ร้านผลิตเรือเวเฟอร์เซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์: