ออกซิเดชั่นและเตาหลอม

●ความต้านทานอุณหภูมิสูง (สูงถึง 1600 ℃)

●ค่าการนำความร้อนที่ยอดเยี่ยมและความเสถียรทางความร้อน

●ความต้านทานการกัดกร่อนทางเคมีที่ดี

●ค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อนต่ำ

●ความแข็งแรงและความแข็งสูง

●อายุการใช้งานที่ยาวนาน

ในการเกิดออกซิเดชันและการแพร่กระจายเนื่องจากการปรากฏตัวของอุณหภูมิสูงและก๊าซกัดกร่อนส่วนประกอบจำนวนมากจำเป็นต้องใช้วัสดุที่มีอุณหภูมิสูงและทนต่อการกัดกร่อนซึ่งในหมู่ซิลิกอนคาร์ไบด์ (SIC) เป็นตัวเลือกที่ใช้กันทั่วไป ต่อไปนี้เป็นส่วนประกอบของซิลิกอนคาร์ไบด์ทั่วไปที่พบในเตาหลอมออกซิเดชั่นและเตาเผาการแพร่กระจาย:

●เรือเวเฟอร์

Silicon Carbide Wafer Boat เป็นภาชนะที่ใช้ในการพกเวเฟอร์ซิลิคอนซึ่งสามารถทนต่ออุณหภูมิสูงและจะไม่ทำปฏิกิริยากับเวเฟอร์ซิลิคอน

●หลอดเตา

หลอดเตาเป็นส่วนประกอบหลักของเตาหลอมที่ใช้เพื่อรองรับเวเฟอร์ซิลิคอนและควบคุมสภาพแวดล้อมของปฏิกิริยา หลอดเตาซิลิกอนคาร์ไบด์มีประสิทธิภาพการทนต่ออุณหภูมิสูงและการกัดกร่อนที่ยอดเยี่ยม

●แผ่นกั้น

ใช้เพื่อควบคุมการไหลเวียนของอากาศและการกระจายอุณหภูมิภายในเตาเผา

●ท่อป้องกันเทอร์โมคัปเปิล

ใช้เพื่อป้องกันอุณหภูมิที่วัดอุณหภูมิจากการสัมผัสโดยตรงกับก๊าซกัดกร่อน

●ไม้พายเท้าแขน

แผ่นไม้คานซิลิกอนคาร์ไบด์ทนต่ออุณหภูมิและการกัดกร่อนสูงและใช้ในการขนส่งเรือซิลิคอนหรือเรือควอตซ์ที่มีเวเฟอร์ซิลิกอนเข้าไปในหลอดเตาแบบกระจาย

●หัวฉีดแก๊ส

ใช้ในการแนะนำก๊าซปฏิกิริยาเข้าไปในเตาจะต้องทนต่ออุณหภูมิและการกัดกร่อนสูง

●ผู้ให้บริการเรือ

ผู้ให้บริการเรือเวเฟอร์ซิลิคอนคาร์ไบด์ใช้เพื่อแก้ไขและสนับสนุนเวเฟอร์ซิลิคอนซึ่งมีข้อดีเช่นความแข็งแรงสูงความต้านทานการกัดกร่อนและความมั่นคงของโครงสร้างที่ดี

●ประตูเตา

อาจใช้การเคลือบซิลิกอนคาร์ไบด์หรือส่วนประกอบที่ด้านในของประตูเตา

●องค์ประกอบความร้อน

องค์ประกอบความร้อนของซิลิกอนคาร์ไบด์เหมาะสำหรับอุณหภูมิสูงพลังงานสูงและสามารถเพิ่มอุณหภูมิได้อย่างรวดเร็วถึง 1,000 ℃

● sic liner

ใช้เพื่อปกป้องผนังด้านในของหลอดเตามันสามารถช่วยลดการสูญเสียพลังงานความร้อนและทนต่อสภาพแวดล้อมที่รุนแรงเช่นอุณหภูมิสูงและแรงดันสูง