เนื่องจากค่าการนำความร้อนที่ยอดเยี่ยมของวัสดุควอตซ์และ SIC ที่ยอดเยี่ยมเรือเวเฟอร์แนวตั้งและแท่นสามารถมั่นใจได้ว่าความร้อนจะถูกถ่ายโอนอย่างเท่าเทียมกันไปยังเวเฟอร์แต่ละอันในระหว่างกระบวนการบำบัดความร้อนเช่นการแพร่กระจายออกซิเดชันและการหลอม การกระจายความร้อนที่สม่ำเสมอนี้ช่วยปรับปรุงความสอดคล้องของกระบวนการประมวลผลอย่างมากเพื่อให้มั่นใจว่าเวเฟอร์แต่ละตัวสามารถทำตามมาตรฐานการผลิตที่เข้มงวดซึ่งจะช่วยเพิ่มผลผลิตผลิตภัณฑ์
ทนต่อการกัดกร่อนทางเคมีและป้องกันการปนเปื้อน:
วัสดุควอตซ์ที่มีความบริสุทธิ์สูงและ SIC มีความต้านทานการกัดกร่อนทางเคมีที่ยอดเยี่ยมและสามารถรักษาความมั่นคงในสภาพแวดล้อมทางเคมีที่อุณหภูมิสูงโดยไม่ปล่อยสิ่งสกปรกที่เป็นอันตราย คุณลักษณะนี้ช่วยให้เรือเวเฟอร์แนวตั้งและแท่นเพื่อป้องกันไม่ให้เวเฟอร์จากการปนเปื้อนในระหว่างการแปรรูปทำให้มั่นใจได้ถึงความบริสุทธิ์และความมั่นคงด้านประสิทธิภาพของผลิตภัณฑ์สำเร็จรูปและตอบสนองความต้องการที่เข้มงวดของอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์เพื่อความสะอาดและความบริสุทธิ์
For inquiries about Silicon Carbide Coating, Tantalum Carbide Coating, Special Graphite or price list, please leave your email to us and we will be in touch within 24 hours.