Sic Cantilever Paddles

ⅰภาพรวมการใช้งานผลิตภัณฑ์

SIC Cantilever Paddles ส่วนใหญ่จะใช้ในอุปกรณ์การผลิตเซมิคอนดักเตอร์เป็นส่วนประกอบรองรับเวเฟอร์และการส่งสัญญาณ ฟังก์ชั่นหลักของมันคือการประมวลผลเวเฟอร์ซิลิคอนอย่างเสถียรและแม่นยำภายใต้สภาวะกระบวนการที่รุนแรงเช่นอุณหภูมิสูงและการกัดกร่อนสูงทำให้มั่นใจได้ว่ากระบวนการผลิตที่ราบรื่นและมีประสิทธิภาพ

ⅱข้อดีและลักษณะของวัสดุ SIC

SIC เป็นวัสดุเซรามิกขั้นสูงที่มีคุณสมบัติทางกายภาพที่ยอดเยี่ยมทำให้ได้เปรียบในสนามเซมิคอนดักเตอร์ ต่อไปนี้เป็นพารามิเตอร์ทางกายภาพที่สำคัญที่เกี่ยวข้องกับ Sic Cantilever Paddles:

●ความบริสุทธิ์สูง: การใช้วัสดุ SIC ที่มีความบริสุทธิ์สูงสามารถลดการปนเปื้อนของกระบวนการและปรับปรุงผลผลิตผลิตภัณฑ์

●ความต้านทานอุณหภูมิสูงที่ยอดเยี่ยม: SIC มีจุดหลอมเหลวสูงถึง 2830 ° C ซึ่งช่วยให้สามารถรักษาความสมบูรณ์ของโครงสร้างในสภาพแวดล้อมที่อุณหภูมิสูงเช่นการแกะสลักพลาสมาและการหลอมอุณหภูมิสูงและอุณหภูมิการทำงานระยะยาวสามารถเข้าถึงได้มากกว่า 1,000 ° C

●ความแข็งสูงและความต้านทานการสึกหรอ: ความแข็งของ Mohs คือ 9-9.5 รองจากเพชรเท่านั้นให้พายคานคาน Sic ที่ยอดเยี่ยมความต้านทานการสึกหรอที่ยอดเยี่ยมและการรักษาเสถียรภาพมิติในระหว่างการส่งเวเฟอร์ความถี่สูง

●ค่าการนำความร้อนที่ยอดเยี่ยม: ค่าการนำความร้อนของเซรามิก SIC สูงถึง 120-250 W/(M · K) (ค่าทั่วไป) ซึ่งสามารถกระจายความร้อนและหลีกเลี่ยงความร้อนสูงเกินไปในท้องถิ่นที่อาจทำลายเวเฟอร์

●ค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อนต่ำ: ค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อนต่ำ (ประมาณ 4.0 ×10⁻⁶ /K) ช่วยให้มั่นใจได้ถึงความเสถียรของมิติเมื่ออุณหภูมิเปลี่ยนแปลงหลีกเลี่ยงความเครียดที่เกิดจากการขยายตัวทางความร้อนและการหดตัวและลดความเสี่ยงของความเสียหายของเวเฟอร์

ⅲ. สถานการณ์แอปพลิเคชันของ sic cantilever paddles

คุณสมบัติที่เป็นเอกลักษณ์ของพาย sic Cantilever ช่วยให้พวกเขามีบทบาทสำคัญในหลายลิงก์ของการผลิตเซมิคอนดักเตอร์:

●อุปกรณ์แกะสลักพลาสมา: ในห้องแกะสลักพลาสมาพายเรือคาน sic ทำหน้าที่เป็นส่วนสนับสนุนเวเฟอร์ซึ่งสามารถทนต่อการระเบิดของพลาสมาและการกัดเซาะของก๊าซกัดกร่อนในขณะที่รักษาเสถียรภาพมิติ

●อุปกรณ์การสะสมฟิล์มบาง (CVD/PVD): ในกระบวนการของการสะสมไอสารเคมี (CVD) และการสะสมไอทางกายภาพ (PVD), พายคาน sic ถูกใช้เพื่อรองรับเวเฟอร์ ความต้านทานอุณหภูมิสูงที่ยอดเยี่ยมและการนำความร้อนช่วยให้เกิดความร้อนอย่างสม่ำเสมอและป้องกันการปนเปื้อนของอนุภาคที่เกิดขึ้นในระหว่างกระบวนการสะสมฟิล์มบาง

●ระบบถ่ายโอนเวเฟอร์: ในระบบการถ่ายโอนเวเฟอร์อัตโนมัติพาย sic Cantilever สามารถทนต่อการเคลื่อนไหวทางกลสูงเนื่องจากความแข็งและความต้านทานการสึกหรอสูงทำให้มั่นใจได้ว่าการถ่ายโอนเวเฟอร์ที่แม่นยำและรวดเร็วระหว่างห้องกระบวนการต่าง ๆ ลดความเสี่ยงของความเสียหายจากแผ่นเวเฟอร์

●กระบวนการหลอมอุณหภูมิสูง: ในเตาหลอมที่มีอุณหภูมิสูงพายเรือคาน sic สามารถทนต่อสภาพแวดล้อมที่อุณหภูมิสูงเป็นพิเศษให้การสนับสนุนที่มั่นคงสำหรับเวเฟอร์และตรวจสอบให้แน่ใจว่ามีความสม่ำเสมอและประสิทธิผลของกระบวนการหลอม

Veteksemicon ตระหนักดีถึงข้อกำหนดที่เข้มงวดของกระบวนการเซมิคอนดักเตอร์เพื่อคุณภาพผลิตภัณฑ์ ดังนั้นเราจึงสนับสนุนบริการที่กำหนดเองและสามารถให้การออกแบบและการผลิต SIC Cantilever ที่กำหนดเองตามความต้องการเฉพาะของคุณและข้อกำหนดกระบวนการ และเราจะควบคุมการควบคุมคุณภาพอย่างเข้มงวดเพื่อให้แน่ใจว่าแต่ละผลิตภัณฑ์ได้รับการตรวจสอบคุณภาพอย่างเข้มงวดเพื่อให้แน่ใจว่าเป็นไปตามมาตรฐานอุตสาหกรรมสูงสุด

ที่สำคัญกว่านั้นทีมงานด้านเทคนิคของ Vetek Semiconductor จะให้คำปรึกษาด้านเทคนิคและโซลูชั่นผลิตภัณฑ์ที่ครอบคลุมแก่คุณ การเลือกไม้พาย sic Cantile ของเราหมายถึงการเลือกประสิทธิภาพการผลิตที่สูงขึ้นอายุการใช้งานอุปกรณ์ที่ยาวนานขึ้นและผลผลิตผลิตภัณฑ์ที่ดีขึ้น รอคอยการปรึกษาหารือเพิ่มเติมของคุณ