สินค้า
สินค้า
แผ่นเซรามิกที่มีรูพรุน
  • แผ่นเซรามิกที่มีรูพรุนแผ่นเซรามิกที่มีรูพรุน
  • แผ่นเซรามิกที่มีรูพรุนแผ่นเซรามิกที่มีรูพรุน
  • แผ่นเซรามิกที่มีรูพรุนแผ่นเซรามิกที่มีรูพรุน

แผ่นเซรามิกที่มีรูพรุน

แผ่นเซรามิก sic ที่มีรูพรุนของเราเป็นวัสดุเซรามิกที่มีรูพรุนที่ทำจากซิลิกอนคาร์ไบด์เป็นองค์ประกอบหลักและประมวลผลโดยกระบวนการพิเศษ พวกเขาเป็นวัสดุที่ขาดไม่ได้ในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์, การสะสมไอสารเคมี (CVD) และกระบวนการอื่น ๆ

แผ่นเซรามิก sic ที่มีรูพรุนเป็นโครงสร้างที่มีรูพรุนวัสดุเซรามิกที่ทำจากซิลิกอนคาร์ไบด์เป็นองค์ประกอบหลักและรวมกับกระบวนการเผาแบบพิเศษ ความพรุนของมันสามารถปรับได้ (โดยปกติ 30%-70%) การกระจายขนาดรูขุมขนนั้นสม่ำเสมอมีความต้านทานอุณหภูมิสูงที่ยอดเยี่ยมความเสถียรทางเคมีและการซึมผ่านของก๊าซที่ยอดเยี่ยมและใช้กันอย่างแพร่หลายในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์การสะสมไอสารเคมี (CVD) การกรองก๊าซอุณหภูมิสูง


และสำหรับข้อมูลเพิ่มเติมเกี่ยวกับแผ่นเซรามิก sic ที่มีรูพรุนโปรดตรวจสอบบล็อกนี้


แผ่นเซรามิก sic ที่มีรูพรุนคุณสมบัติทางกายภาพที่ยอดเยี่ยม


●ความต้านทานอุณหภูมิสูงมาก:


จุดหลอมเหลวของเซรามิก SIC สูงถึง 2700 ° C และยังสามารถรักษาเสถียรภาพของโครงสร้างได้สูงกว่า 1600 ° C ซึ่งอยู่ไกลเกินกว่าเซรามิกอลูมินาแบบดั้งเดิม (ประมาณ 2,000 ° C) โดยเฉพาะอย่างยิ่งเหมาะสำหรับกระบวนการอุณหภูมิสูงเซมิคอนดักเตอร์


●ประสิทธิภาพการจัดการความร้อนที่ยอดเยี่ยม:


✔การนำความร้อนสูง: การนำความร้อนของ SIC หนาแน่นอยู่ที่ประมาณ 120 W/(M · K) แม้ว่าโครงสร้างที่มีรูพรุนจะช่วยลดค่าการนำความร้อนได้เล็กน้อย แต่ก็ยังดีกว่าเซรามิกส่วนใหญ่และรองรับการกระจายความร้อนที่มีประสิทธิภาพ

✔ค่าสัมประสิทธิ์การขยายความร้อนต่ำ (4.0 ×10⁻⁶/° C): เกือบจะไม่มีการเสียรูปที่อุณหภูมิสูงหลีกเลี่ยงความล้มเหลวของอุปกรณ์ที่เกิดจากความเครียดจากความร้อน


●เสถียรภาพทางเคมีที่ยอดเยี่ยม


ความต้านทานการกัดกร่อนของกรดและอัลคาไล (โดยเฉพาะอย่างยิ่งที่โดดเด่นในสภาพแวดล้อม HF) ความต้านทานต่อการเกิดออกซิเดชันของอุณหภูมิสูงเหมาะสำหรับสภาพแวดล้อมที่รุนแรงเช่นการแกะสลักและการทำความสะอาด


●คุณสมบัติเชิงกลที่โดดเด่น


✔ความแข็งสูง (Mohs Hardness 9.2, รองจาก Diamond เท่านั้น), ความต้านทานการสึกหรอที่แข็งแกร่ง

✔ความแข็งแรงของการดัดสามารถเข้าถึง 300-400 MPa และการออกแบบโครงสร้างรูขุมขนคำนึงถึงความแข็งแรงของน้ำหนักเบาและกลไก


●โครงสร้างรูพรุนที่ใช้งานได้


พื้นที่ผิวจำเพาะที่เฉพาะเจาะจงสูง: เพิ่มประสิทธิภาพการแพร่กระจายของก๊าซเหมาะกับแผ่นกระจายก๊าซปฏิกิริยา

✔รูพรุนที่ควบคุมได้: เพิ่มประสิทธิภาพการเจาะของเหลวและประสิทธิภาพการกรองเช่นการสร้างฟิล์มแบบสม่ำเสมอในกระบวนการ CVD


บทบาทเฉพาะในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์


●สนับสนุนกระบวนการอุณหภูมิสูงและฉนวนกันความร้อน


เป็นแผ่นรองรับเวเฟอร์มันถูกใช้ในอุปกรณ์อุณหภูมิสูง (> 1200 ° C) เช่นเตาเผาและเตาหลอมเพื่อหลีกเลี่ยงการปนเปื้อนของโลหะ


โครงสร้างที่มีรูพรุนมีทั้งฉนวนและฟังก์ชั่นสนับสนุนลดการสูญเสียความร้อน


●การกระจายก๊าซที่สม่ำเสมอและการควบคุมปฏิกิริยา


ในอุปกรณ์การสะสมไอสารเคมี (CVD) เป็นแผ่นกระจายก๊าซรูขุมขนจะใช้ในการขนส่งก๊าซปฏิกิริยาอย่างสม่ำเสมอ (เช่นSIH₄, NH₃) เพื่อปรับปรุงความสม่ำเสมอของการสะสมของฟิล์มบาง


ในการแกะสลักแบบแห้งโครงสร้างที่มีรูพรุนปรับการกระจายพลาสม่าและปรับปรุงความแม่นยำในการแกะสลัก


●ส่วนประกอบหลักของ Chuck (ESC)


Porous SIC ใช้เป็นสารตั้งต้นชัคไฟฟ้าสถิตซึ่งได้รับการดูดซับสูญญากาศผ่าน micropores แก้ไขเวเฟอร์อย่างแม่นยำและทนต่อการทิ้งระเบิดในพลาสมาและมีอายุการใช้งานที่ยาวนาน


●ส่วนประกอบที่ทนต่อการกัดกร่อน


ใช้สำหรับเยื่อบุโพรงของอุปกรณ์แกะสลักเปียกและการทำความสะอาดมันต่อต้านการกัดกร่อนด้วยกรดที่แข็งแรง (เช่นHno₄, HNO₃) และอัลคาลิสที่แข็งแกร่ง (เช่น KOH)


●การควบคุมความสม่ำเสมอของสนามความร้อน


ในเตาหลอมการเจริญเติบโตของซิลิกอนคริสตัลเดี่ยว (เช่นวิธี Czochralski) เป็นโล่ความร้อนหรือการสนับสนุนเสถียรภาพความร้อนสูงของมันใช้เพื่อรักษาสนามความร้อนที่สม่ำเสมอและลดข้อบกพร่องของตาข่าย


●การกรองและการทำให้บริสุทธิ์


โครงสร้างที่มีรูพรุนสามารถสกัดกั้นสารปนเปื้อนของอนุภาคและใช้ในระบบส่งก๊าซ/ของเหลวเป็นพิเศษเพื่อให้แน่ใจว่ากระบวนการสะอาด


ข้อดีของวัสดุดั้งเดิม


ลักษณะเฉพาะ
แผ่นเซรามิกที่มีรูพรุน
อลูมินาเซรามิก
กราไฟท์
อุณหภูมิการทำงานสูงสุด
1600 ° C
1500 ° C
3000 ° C (แต่ง่ายต่อการออกซิไดซ์)
การนำความร้อน
สูง (ยังคงยอดเยี่ยมในสถานะที่มีรูพรุน)
ต่ำ (~ 30 w/(m · k))
สูง (anisotropy)
ความต้านทานแรงกระแทกด้วยความร้อน
ยอดเยี่ยม (ค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวต่ำ)
ยากจน เฉลี่ย
ความต้านทานการพังทลายของพลาสมา
ยอดเยี่ยม
เฉลี่ย
แย่ (ง่ายต่อการระเหย)
ความสะอาด
ไม่มีการปนเปื้อนโลหะ
อาจมีสิ่งสกปรกโลหะร่องรอย
ง่ายต่อการปลดปล่อยอนุภาค

แท็กยอดนิยม: แผ่นเซรามิกที่มีรูพรุน
ส่งคำถาม
ข้อมูลติดต่อ
  • ที่อยู่

    Wangda Road, Ziyang Street, Wuyi County, Jinhua City, มณฑลเจ้อเจียง, จีน, จีน

  • โทร

    +86-18069220752

  • อีเมล

    anny@veteksemi.com

หากมีข้อสงสัยเกี่ยวกับการเคลือบซิลิคอนคาร์ไบด์ การเคลือบแทนทาลัมคาร์ไบด์ กราไฟท์พิเศษ หรือรายการราคา โปรดฝากอีเมลของคุณมาหาเรา แล้วเราจะติดต่อกลับภายใน 24 ชั่วโมง
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept