ผู้สนับสนุน EPI

Vetek Semiconductor เป็นผู้นำระดับมืออาชีพ China EPI ที่ดำเนินการ, ALD Planetary Tugor และผู้ผลิตกราไฟท์ที่เคลือบด้วย TAC และ การสนับสนุน EPI ของเราเป็นองค์ประกอบสำคัญของการเจริญเติบโตของ epitaxialในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ ฟังก์ชั่นหลักของมันคือการสนับสนุนและให้ความร้อนเวเฟอร์เพื่อให้ชั้น epitaxial คุณภาพสูงสามารถปลูกได้อย่างสม่ำเสมอบนพื้นผิวเวเฟอร์

Vetek Semiconductors ’EPI ensceptors มักจะทำจากกราไฟท์ที่มีความบริสุทธิ์สูงและเคลือบด้วยชั้นของซิลิกอนคาร์ไบด์ (SIC)การออกแบบนี้มีข้อได้เปรียบที่สำคัญดังต่อไปนี้:

●ความเสถียรของอุณหภูมิสูง: EPI venceptor ยังคงมีความเสถียรในสภาพแวดล้อมที่อุณหภูมิสูงทำให้มั่นใจได้ว่าการเติบโตอย่างสม่ำเสมอของชั้น epitaxial

●ความต้านทานการกัดกร่อน: การเคลือบ SIC มีความต้านทานการกัดกร่อนที่ดีเยี่ยมและสามารถต้านทานการกัดเซาะของก๊าซเคมียืดอายุการใช้งานของถาด

●ค่าการนำความร้อน: ค่าการนำความร้อนสูงของวัสดุ SIC ช่วยให้มั่นใจได้ว่าการกระจายอุณหภูมิที่สม่ำเสมอของเวเฟอร์ในระหว่างการให้ความร้อนซึ่งจะเป็นการปรับปรุงคุณภาพของชั้น epitaxial

●การจับคู่สัมประสิทธิ์การขยายความร้อน: ค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวของความร้อนของ SIC นั้นคล้ายกับของกราไฟท์หลีกเลี่ยงปัญหาการหลั่งการเคลือบเนื่องจากการขยายตัวทางความร้อนและการหดตัว

คุณสมบัติทางกายภาพพื้นฐานของCVD SIC:

ร้านขายเครื่องเคลือบ CVD SIC:

ภาพรวมของห่วงโซ่อุตสาหกรรมชิปชิปเซมิคอนดักเตอร์: